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【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及石英坩堝熔制用遮熱板,具體涉及一種石英坩堝熔制用分體式遮熱板。
技術介紹
1、石英坩堝是拉制太陽能、半導體單晶硅棒的重要輔件。目前,石英坩堝主要采用電弧熔制法配合旋轉塑模法制作,在熔制過程中,通過模具旋轉的離心力使石英砂堆積于模具的內表面,再通過電極放電產生高溫電弧使堆積于模具內表面的石英砂熔融,最終成形為石英坩堝。
2、在熔融過程中,為了保證模具中的溫度和避免異物進入,以及避免電弧焰對石英坩堝熔制設備的其他部件產生光蝕,在模具上方需要加裝遮熱板,現有技術中,遮熱板普遍采用不銹鋼板焊接制作的一體式結構,該種遮熱板對高溫弧光的隔斷效果尚可,但熔融過程中,由于遮熱板內邊緣與電極接近,在電極放電及高溫弧光的作用下,其內邊緣容易被光蝕損壞,損壞后,需要整體更換遮熱板,存在更換不便捷,費時費力,影響生產效率。
技術實現思路
1、有鑒于此,有必要提供一種石英坩堝熔制用分體式遮熱板,以解決現有技術中存在的遮熱板被光蝕損壞后,更換不便捷,費時費力的技術問題。
2、本專利技術解決其技術問題所采用的技術方案是:
3、一種石英坩堝熔制用分體式遮熱板,該石英坩堝熔制用分體式遮熱板安裝在石英坩堝熔融爐的模具上方,用于對石英坩堝溶制過程中電極放電產生的電弧焰進行遮擋,所述石英坩堝熔制用分體式遮熱板包括平行設置的遮熱板本體和隔熱環,所述遮熱板本體的中心設置有供電極穿過的安裝孔,所述隔熱環套設在安裝孔中,在遮熱板本體的安裝孔四周內側壁的下邊緣設置有向該安裝孔中心方
4、優選的,所述隔熱環與遮熱板本體的限位臺階相接觸或相鄰的端面、以及隔熱環的凸臺與遮熱板本體相接觸或相鄰的端面上均設置有絕緣涂層。
5、優選的,所述絕緣涂層為二氧化硅或碳化硅涂層。
6、優選的,所述安裝孔為圓形孔,所述限位臺階沿圓形孔圓周設置,所述隔熱環與安裝孔相匹配。
7、優選的,所述隔熱環的內部沿其圓周方向設置有第一水冷腔,在隔熱環的上端設置有與第一水冷腔相連通的第一進水管和第一回水管,在石英坩堝熔融爐的外側設置有第一水循環裝置,所述第一水循環裝置的出水口和回水口分別與第一進水管和第一回水管相連通,以對隔熱環的第一水冷腔循環供水,進行降溫保護。
8、優選的,所述第一水冷腔包括環形設置的內循環水腔和外循環水腔,所述內循環水腔和外循環水腔相互連通,且內循環水腔靠近隔熱環的內側,所述第一進水管與內循環水腔連通,所述第一回水管與外循環水腔連通。
9、優選的,所述隔熱環的第一水冷腔及第一水循環裝置中通入的水為純水。
10、優選的,所述第一水循環裝置包括第一散熱器和第一循環水泵,所述第一散熱器的出水口和回水口分別與隔熱環上的第一進水管和第一回水管相連通,所述第一循環水泵設置在第一散熱器的出水口或回水口上,以對隔熱環的第一水冷腔進行循環供水,降溫保護。
11、優選的,所述遮熱板本體的內部沿安裝孔的圓周方向設置有第二水冷腔,第二水冷腔上設置有第二進水管和第二回水管,在石英坩堝熔融爐的外側還設置有第二水循環裝置,所述第二水循環裝置包括第二散熱器和第二循環水泵,所述第二散熱器的出水口和回水口分別與第二水冷腔上的第二進水管和第二回水管相連通,所述第二循環水泵設置在第二散熱器的出水口或回水口上,以對遮熱板本體的第二水冷腔進行循環供水,降溫保護。
12、優選的,所述隔熱環的下表面為一體沖壓成型。
13、由上述技術方案可知,本申請提供的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,包括平行設置的遮熱板本體和隔熱環,所述遮熱板本體的中心設置有供電極穿過的安裝孔,所述隔熱環套設在安裝孔中,在遮熱板本體的安裝孔四周內側壁的下邊緣設置有向該安裝孔中心方向凸出的限位臺階,在隔熱環四周外側壁的上邊緣設置有向外凸出的凸臺,所述凸臺與所述安裝孔及限位臺階相匹配,所述隔熱環通過凸臺可拆卸的搭接在限位臺階上,所述電極從隔熱環中心穿過,以利用隔熱環將電極和遮熱板本進行隔離。使用過程中,由于遮熱板本體的安裝孔處靠近電極,容易被電弧侵蝕損壞,采用在遮熱板本體的安裝孔處設置隔熱環,隔熱環與遮熱板本體進行分體式設計,利用隔熱環對遮熱板本體進行保護,當隔熱環損壞后,僅需要更換隔熱環即可,不需要將遮熱板本體進行整體拆除更換,降低了設備維護的成本,而且,隔熱環在自身重力作用下搭接在遮熱板本體上,通過限位臺階進行限位,不需要固定,使拆卸更加便捷,省時省力,大幅縮短了更換時間,作業效率明顯提升。
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1.一種石英坩堝熔制用分體式遮熱板,該石英坩堝熔制用分體式遮熱板安裝在石英坩堝熔融爐的模具上方,用于對石英坩堝溶制過程中電極放電產生的電弧焰進行遮擋,其特征在于:所述石英坩堝熔制用分體式遮熱板包括平行設置的遮熱板本體和隔熱環,所述遮熱板本體的中心設置有供電極穿過的安裝孔,所述隔熱環套設在安裝孔中,在遮熱板本體的安裝孔四周內側壁的下邊緣設置有向該安裝孔中心方向凸出的限位臺階,在隔熱環四周外側壁的上邊緣設置有向外凸出的凸臺,所述凸臺與所述安裝孔及限位臺階相匹配,所述隔熱環通過凸臺可拆卸的搭接在限位臺階上,所述電極從隔熱環中心穿過,以利用隔熱環將電極和遮熱板本進行隔離。
2.如權利要求1所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述隔熱環與遮熱板本體的限位臺階相接觸或相鄰的端面、隔熱環的凸臺與遮熱板本體相接觸或相鄰的端面上均設置有絕緣涂層。
3.如權利要求2所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述絕緣涂層為二氧化硅或碳化硅涂層。
4.如權利要求1或3所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述安裝孔為圓形孔,所述限位臺階沿圓形孔圓
5.如權利要求4所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述隔熱環的內部沿其圓周方向設置有第一水冷腔,在隔熱環的上端設置有與第一水冷腔相連通的第一進水管和第一回水管,在石英坩堝熔融爐的外側設置有第一水循環裝置,所述第一水循環裝置的出水口和回水口分別與第一進水管和第一回水管相連通,以對隔熱環的第一水冷腔循環供水,進行降溫保護。
6.如權利要求5所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述第一水冷腔包括環形設置的內循環水腔和外循環水腔,所述內循環水腔和外循環水腔相互連通,且內循環水腔靠近隔熱環的內側,所述第一進水管與內循環水腔連通,所述第一回水管與外循環水腔連通。
7.如權利要求6所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述隔熱環的第一水冷腔及第一水循環裝置中通入的水為純水。
8.如權利要求7所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述第一水循環裝置包括第一散熱器和第一循環水泵,所述第一散熱器的出水口和回水口分別與隔熱環上的第一進水管和第一回水管相連通,所述第一循環水泵設置在第一散熱器的出水口或回水口上,以對隔熱環的第一水冷腔進行循環供水,降溫保護。
9.如權利要求8所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述遮熱板本體的內部沿安裝孔的圓周方向設置有第二水冷腔,第二水冷腔上設置有第二進水管和第二回水管,在石英坩堝熔融爐的外側還設置有第二水循環裝置,所述第二水循環裝置包括第二散熱器和第二循環水泵,所述第二散熱器的出水口和回水口分別與第二水冷腔上的第二進水管和第二回水管相連通,所述第二循環水泵設置在第二散熱器的出水口或回水口上,以對遮熱板本體的第二水冷腔進行循環供水,降溫保護。
10.如權利要求9所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述隔熱環的下表面為一體沖壓成型。
...【技術特征摘要】
1.一種石英坩堝熔制用分體式遮熱板,該石英坩堝熔制用分體式遮熱板安裝在石英坩堝熔融爐的模具上方,用于對石英坩堝溶制過程中電極放電產生的電弧焰進行遮擋,其特征在于:所述石英坩堝熔制用分體式遮熱板包括平行設置的遮熱板本體和隔熱環,所述遮熱板本體的中心設置有供電極穿過的安裝孔,所述隔熱環套設在安裝孔中,在遮熱板本體的安裝孔四周內側壁的下邊緣設置有向該安裝孔中心方向凸出的限位臺階,在隔熱環四周外側壁的上邊緣設置有向外凸出的凸臺,所述凸臺與所述安裝孔及限位臺階相匹配,所述隔熱環通過凸臺可拆卸的搭接在限位臺階上,所述電極從隔熱環中心穿過,以利用隔熱環將電極和遮熱板本進行隔離。
2.如權利要求1所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述隔熱環與遮熱板本體的限位臺階相接觸或相鄰的端面、隔熱環的凸臺與遮熱板本體相接觸或相鄰的端面上均設置有絕緣涂層。
3.如權利要求2所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述絕緣涂層為二氧化硅或碳化硅涂層。
4.如權利要求1或3所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述安裝孔為圓形孔,所述限位臺階沿圓形孔圓周設置,所述隔熱環與安裝孔相匹配。
5.如權利要求4所述的石英坩堝熔制用分體式遮熱板,其特征在于:所述隔熱環的內部沿其圓周方向設置有第一水冷腔,在隔熱環的上端設置有與第一水冷腔相連通的第一進水管和第一回水管,在石英坩堝熔融爐的外側設置有第一水循環裝置,所述第一水循環裝置的出水口和回水口分別與第一進水管和第...
【專利技術屬性】
技術研發人員:馬萬保,陳榮貴,何玉鵬,王建軍,史海貝,熊歡,
申請(專利權)人:寧夏盾源聚芯半導體科技股份有限公司,
類型:發明
國別省市:
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