【技術實現步驟摘要】
本申請屬于半導體基板清洗，更具體地說，是涉及一種毛刷預清洗裝置及基板清洗設備。
技術介紹
1、在芯片的制造工序中，基板表面的清潔度對芯片的性能有很大的影響，若基板表面被污染，或者基板的表面的清潔度達不到預設要求，則會給芯片品質帶來不可忽視的影響。因此，在芯片的制作過程中，對基本表面的清洗十分重要。
2、目前，在對基板進行清洗時，多采用非金屬毛刷對基板進行清洗，在清洗過程中毛刷本身也會被基板污染，且在多次使用后，由于毛刷自身潔凈度下降，也會對基板造成二次污染。為了避免因為毛刷自身潔凈度下降對基板造成的二次污染情況，在毛刷使用一段時間后，需要更換新毛刷，且新更換的毛刷自身潔凈度也很難直接用于基板清洗。
3、目前，在對完成一個基板清洗后以及在對下一個基板清洗前，需要采用次品基板摩擦多次使用后的毛刷或者新毛刷，同時通過大量清水對毛刷進行預清洗，如此，所產生的問題是：上述清洗方式致使毛刷的預清潔時間比較長，從而導致的了基板的清洗時間耗費時間長，且上述清洗方式只能沖洗毛刷表面輕度附著的灰塵，清洗效果較差，不能滿足對毛刷的清洗要求。
技術實現思路
1、本申請實施例的目的在于提供一種毛刷預清洗裝置及集體清洗設備，以解決現有技術針對毛刷的清洗中存在的耗時長且清洗效果差的技術問題。
2、為實現上述目的，本申請的第一方面是提供一種毛刷預清洗裝置，用于在目標毛刷處于非工作時間時預清洗所述目標毛刷，包括：
3、第一清潔件，內部形成有清潔腔和注水流道，所述注水流
4、第二清潔件，可拆卸連接于所述清潔腔內，所述第二清潔件用于與目標毛刷的第一清潔面抵接；
5、在所述目標毛刷相對所述第二清潔件轉動時，所述注水流道向所述目標毛刷注入清潔水體以清潔所述目標毛刷。
6、可選地，所述第二清潔件上設有第二清潔面，所述第二清潔面與所述第一清潔面抵接，所述第二清潔面的長度尺寸大于所述目標毛刷的直徑尺寸。
7、可選地，所述第二清潔面上設有預設運動路徑，所述預設運動路徑為弧形，在所述目標毛刷在相對所述第二清潔面轉動時，所述目標毛刷的軸線沿所述預設運動路徑運動。
8、可選地，所述毛刷預清洗裝置還包括：
9、連接件，所述清潔腔的側壁上設有卡槽，所述連接件可拆卸連接于所述卡槽內；
10、所述第二清潔件連接于所述連接件。
11、可選地，所述第一清潔件上設有排水口，所述排水口與所述清潔腔連通，用于排放所述清潔水體。
12、可選地，所述毛刷預清洗裝置還包括：
13、注水管，與所述注水流道連通，用于將所述清潔水體注入所述注水流道內。
14、可選地，所述第一清潔件上設有第一連接座，所述第一連接座上設有管道卡槽，所述管道卡槽與所述注水流道連通，沿所述注水管的徑向，所述注水管部分卡接于所述管道卡槽內。
15、可選地，所述注水流道、所述注水管和所述第一連接座關于所述第一清潔件對稱設置。
16、可選地，所述第一清潔件還設有第二連接座，所述第二連接座用于將所述第一清潔件固定在目標基板清洗設備上。
17、本申請提供的一種毛刷的預清洗裝置的有益效果在于：與現有技術相比，本申請所提供的毛刷的預清洗裝置包括第一清潔件和第二清潔件，第二清潔件可拆卸連接于第一清潔件內，可根據需要選擇與目標基板材質相同材質制成的第二清潔件安裝在第一清潔件內，在毛刷處于非工作時間時，用于驅動毛刷轉動的驅動機構驅動毛刷運動至第一清潔件內并與所述第二清潔件抵接，且驅動機構驅動毛刷相對第二清潔件轉動，同時，設置于第一清潔件上的注水流道將清洗水體注入至毛刷上，以將第二清潔件從毛刷上清洗出的灰塵進行沖洗，提高毛刷的清潔速度，實現毛刷快速清潔，減少毛刷的預清潔時間。
18、第二方面，本申請是提供一種基板清洗設備，包括：
19、毛刷預清洗裝置，所述毛刷預清洗裝置為上述任意一項所述的毛刷預清洗裝置。
20、本申請提供的一種基板清洗設備的有益效果在于：與現有技術相比，本申請所提供的基板清洗設備包括上述任意一項所提供的毛刷預清洗裝置，該毛刷預清洗裝置包括第一清潔件和第二清潔件，第二清潔件可拆卸連接于第一清潔件內，可根據需要選擇與目標基板材質相同材質制成的第二清潔件安裝在第一清潔件內，在毛刷處于非工作時間時，用于驅動毛刷轉動的驅動機構驅動毛刷運動至第一清潔件內并與所述第二清潔件抵接，且驅動機構驅動毛刷相對第二清潔件轉動，同時，設置于第一清潔件上的注水流道將清洗水體注入至毛刷上，以將第二清潔件從毛刷上清洗出的灰塵進行沖洗，提高毛刷的清潔速度，實現毛刷快速清潔，減少毛刷的預清潔時間。
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1.毛刷預清洗裝置，用于在目標毛刷處于非工作時間時預清洗所述目標毛刷，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，所述第二清潔件上設有第二清潔面，所述第二清潔面與所述第一清潔面抵接，所述第二清潔面的長度尺寸大于所述目標毛刷的直徑尺寸。
3.如權利要求2所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，
4.如權利要求3所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，還包括：
5.如權利要求1或4所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，
6.如權利要求5所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，還包括：
7.如權利要求6所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，所述第一清潔件上設有第一連接座，所述第一連接座上設有管道卡槽，所述管道卡槽與所述注水流道連通，沿所述注水管的徑向，所述注水管部分卡接于所述管道卡槽內。
8.如權利要求7所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，
9.如權利要求8所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，
10.一種基板清洗設備，其特征在于，包括：
【技術特征摘要】
1.毛刷預清洗裝置，用于在目標毛刷處于非工作時間時預清洗所述目標毛刷，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，所述第二清潔件上設有第二清潔面，所述第二清潔面與所述第一清潔面抵接，所述第二清潔面的長度尺寸大于所述目標毛刷的直徑尺寸。
3.如權利要求2所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，
4.如權利要求3所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于，還包括：
5.如權利要求1或4所述的毛刷預清洗裝置，其特征在于...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙旭，郝巖松，郭生洋，
申請(專利權)人：沈陽芯源微電子設備股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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