【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體制造，尤其涉及一種用于半導體設備的執行機構。
技術介紹
1、半導體爐管是用在半導體制造過程中的一種設備，主要用于提供高溫環境，以進行各種半導體制造工藝，如氧化、擴散、退火等。半導體爐管通常由石英、陶瓷或其他耐高溫材料制成，具有高純度、高耐溫性和高穩定性等特點。在半導體制造過程中，爐管需要精確控制溫度和氣氛，以確保制造出的半導體器件具有優良的性能和穩定性。因為半導體爐管在使用過程中，常需要對半導體爐管的高度進行抬升以及抬升后的下降復位。現有技術中主要通過電動升降對半導體爐管的高度進行抬升或下降，即主要使用電機驅動帶動爐管在垂直方向上移動。這種抬升方式具有精度高、速度快、穩定性好等優點。
2、但是現有爐管的電動抬升方式中，沒有斷帶時的應急鎖定結構，這樣在斷帶發生時，抓取爐管的執行部會發生掉落，一方面會導致執行部及爐管掉落時發生損壞，另一方面，也會存在一定的安全風險，容易發生安全事故。
3、因此，有必要提供一種新型的用于半導體設備的執行機構以解決現有技術中存在的上述問題。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種用于半導體設備的執行機構，以解決上述現有技術中存在的至少一種缺陷，避免抓取半導體設備的執行機構遇到斷帶時，發生掉落，避免執行機構及半導體設備發生損壞，以及減少安全隱患，避免安全事故的發生。
2、為實現上述目的，本技術的所述用于半導體設備的執行機構，包括基板、執行件、安裝在所述基板上的絲桿傳動機構、安裝在所述基板上的驅動電機以及
3、進一步地，所述用于半導體設備的執行機構還包括斷帶監測裝置，所述斷帶監測裝置與所述基板連接，用于實時監測采集并反饋所述傳動帶的狀態。其有益效果在于：所述斷帶監測裝置實時監測采集并反饋所述傳動帶的狀態，在所述傳動帶發生斷裂時及時發出信號，提高了安全性。
4、進一步地，所述斷帶監測裝置包括發光器和收光器，所述發光器與所述基板連接并位于所述傳動帶內側；所述收光器與所述基板連接并位于所述基板外側；所述收光器用于接收所述發光器發出的光線并輸出信號。其有益效果在于：所述發光器發出的光線被傳動帶遮擋，所述收光器接收不到光信號，不輸出信號；當所述傳動帶斷裂時，所述收光器收到來自所述發光器發射出的光線，收光器輸出一個信號用于說明或警示所述傳動帶的狀態。
5、進一步地，所述基板上設置有連接件，所述連接件的端部與所述基板連接，所述連接件的側壁與所述發光器、所述收光器連接。
6、進一步地，所述用于半導體設備的執行機構還包括處理器，所述處理器與所述收光器、所述鎖緊裝置均通信連接；所述處理器與所述基板連接。其有益效果在于：所述處理器接受來自所述收光器的信號后，向所述鎖緊裝置發送指令，所述鎖緊裝置接受指令后鎖緊所述絲桿的轉動。
7、進一步地，所述基板上設置有固定板，所述絲桿上設置有軸承，所述固定板上設置有安裝所述軸承的安裝孔，所述軸承通過所述固定板與所述基板連接。其有益效果在于：所述絲桿通過所述軸承和所述固定板與所述基板連接，保證所述絲桿不會因為自身重力發生墜落，且不會影響所述絲桿的轉動。
8、進一步地，所述鎖緊裝置為抱閘。
9、進一步地，所述絲桿的上套設有第一帶輪，所述驅動電機的驅動軸上套設有第二帶輪，所述傳動帶套設在所述第一帶輪和所述第二帶輪上。
10、進一步地，所述鎖緊裝置與所述絲桿的端部對應設置；當所述鎖緊裝置處于工作狀態時，所述鎖緊裝置鎖定所述絲桿的端部以使所述絲桿停止轉動。
11、進一步地，所述基板上還設置有滑軌，所述執行件上對應所述滑軌設置有滑塊，所述滑塊與所述滑軌滑動連接。其有益效果在于：所述執行件在所述內螺旋管的帶動下沿所述絲桿的軸線運動，帶動所述滑塊在所述滑軌上也作直線運動，保證了所述執行件沿所述絲桿的軸線運動，同時節省了所述內螺紋管帶動所述執行件運動的力。
12、進一步地，所述半導體設備為爐管。
13、本技術所述的用于半導體設備的執行機構的有益效果在于：
14、本技術所述的用于半導體設備的執行機構中所述驅動電機通過所述傳動帶帶動所述絲桿轉動，所述內螺紋管與所述執行件連接，所述內螺紋管在所述絲桿的轉動下帶動所述執行件沿所述絲桿的軸線運動，所述執行件帶動被抓取的所述半導體設備沿所述絲桿的軸線運動，所述絲桿上設置有所述鎖緊裝置，所述鎖緊裝置能夠限制所述絲桿的轉動，進而鎖定所述絲桿的位置，使所述絲桿停止運動，從而鎖定所述執行件的位置，避免所述半導體設備遇到斷帶時和所述執行件發生掉落，避免本技術所述的用于半導體設備的執行機構及所述半導體設備發生損壞，減少安全隱患，避免安全事故的發生。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種用于半導體設備的執行機構，其特征在于，包括基板、執行件、安裝在所述基板上的絲桿傳動機構、安裝在所述基板上的驅動電機以及安裝在所述基板上的鎖緊裝置；
2.根據權利要求1所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，還包括斷帶監測裝置，所述斷帶監測裝置與所述基板連接，用于實時監測采集并反饋所述傳動帶的狀態。
3.根據權利要求2所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述斷帶監測裝置包括發光器和收光器，所述發光器與所述基板連接并位于所述傳動帶內側；
4.根據權利要求3所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述基板上設置有連接件，所述連接件的端部與所述基板連接，所述連接件的側壁與所述發光器、所述收光器連接。
5.根據權利要求3所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，還包括處理器，所述處理器與所述收光器、所述鎖緊裝置均通信連接。
6.根據權利要求1所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述基板上設置有固定板，所述絲桿上設置有軸承，所述固定板上設置有安裝所述軸承的安裝孔，所述軸承通過所述固定板與所述基板連接
7.根據權利要求1所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述鎖緊裝置為抱閘。
8.根據權利要求1所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述絲桿的上套設有第一帶輪，所述驅動電機的驅動軸上套設有第二帶輪，所述傳動帶套設在所述第一帶輪和所述第二帶輪上。
9.根據權利要求1所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述鎖緊裝置與所述絲桿的端部對應設置；
10.根據權利要求1所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述基板上還設置有滑軌，所述執行件上對應所述滑軌設置有滑塊，所述滑塊與所述滑軌滑動連接。
...【技術特征摘要】
1.一種用于半導體設備的執行機構，其特征在于，包括基板、執行件、安裝在所述基板上的絲桿傳動機構、安裝在所述基板上的驅動電機以及安裝在所述基板上的鎖緊裝置；
2.根據權利要求1所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，還包括斷帶監測裝置，所述斷帶監測裝置與所述基板連接，用于實時監測采集并反饋所述傳動帶的狀態。
3.根據權利要求2所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述斷帶監測裝置包括發光器和收光器，所述發光器與所述基板連接并位于所述傳動帶內側；
4.根據權利要求3所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，所述基板上設置有連接件，所述連接件的端部與所述基板連接，所述連接件的側壁與所述發光器、所述收光器連接。
5.根據權利要求3所述的用于半導體設備的執行機構，其特征在于，還包括處理器，所述處理器與所述收光器、所述鎖緊...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱玉東，何海龍，孟君燕，常志勇，
申請(專利權)人：中科芯微智能裝備沈陽有限公司，
類型：新型
國別省市：
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