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    ITO膜老化結(jié)晶工藝及ITO膜制造技術(shù)

    技術(shù)編號(hào):43674336 閱讀:37 留言:0更新日期:2024-12-18 20:58
    本發(fā)明專利技術(shù)公開了一種ITO膜老化結(jié)晶工藝及ITO膜,ITO膜老化結(jié)晶工藝包括如下步驟:將成卷的膜材以一定張力進(jìn)行放卷;將放卷后的膜材送入烘箱內(nèi)加熱老化,老化溫度為155~160℃,時(shí)間為4~6min,膜材在烘箱內(nèi)以一定張力移動(dòng);膜材出烘箱后以一定張力進(jìn)行收卷;其中,膜材在烘箱內(nèi)的張力大于放卷張力,且小于收卷張力。本發(fā)明專利技術(shù)中的老化結(jié)晶工藝可以有效解決ITO膜的翹曲問題,同時(shí)可以確保結(jié)晶合格,成品良率高。

    【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

    本專利技術(shù)屬于ito膜制備,具體涉及一種ito膜老化結(jié)晶工藝及ito膜。


    技術(shù)介紹

    1、ito膜即銦錫氧化物膜,又稱為ito導(dǎo)電膜,在觸控產(chǎn)品中具有廣泛應(yīng)用,尤其是在液晶顯示屏、觸控屏幕、平板顯示器等電子產(chǎn)品中具有較為廣泛的應(yīng)用。為了進(jìn)一步提高ito膜的性能,在利用真空磁控濺射技術(shù)鍍?cè)O(shè)ito層后,還會(huì)選擇在ito層上再設(shè)置其他層結(jié)構(gòu),而在設(shè)置其他層結(jié)構(gòu)之前,ito層需要進(jìn)行老化結(jié)晶以增加良品率。

    2、目前,針對(duì)ito層的老化結(jié)晶多是將膜材置于紅外爐中進(jìn)行老化,在紅外爐中利用傳送帶移動(dòng)膜材,但是這種老化結(jié)晶方式容易出現(xiàn)膜材翹曲的問題,翹曲嚴(yán)重會(huì)導(dǎo)致ito膜無法正常使用。

    3、公開于該
    技術(shù)介紹
    部分的信息僅僅旨在增加對(duì)本專利技術(shù)的總體背景的理解,而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。


    技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

    1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種ito膜老化結(jié)晶工藝及ito膜,本專利技術(shù)中的老化結(jié)晶工藝能夠有效解決ito膜出現(xiàn)翹曲的問題,保證了成品良率。

    2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本專利技術(shù)一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下:

    3、一種ito膜老化結(jié)晶工藝,包括如下步驟:

    4、將成卷的膜材以一定張力進(jìn)行放卷;

    5、將放卷后的膜材送入烘箱內(nèi)加熱老化,老化溫度為155~160℃,時(shí)間為4~6min,膜材在烘箱內(nèi)以一定張力移動(dòng);

    6、膜材出烘箱后以一定張力進(jìn)行收卷;

    7、其中,膜材在烘箱內(nèi)的張力大于放卷張力,且小于收卷張力。

    8、在本專利技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中,膜材以200~220n張力進(jìn)行放卷。

    9、在本專利技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中,膜材在烘箱內(nèi)的張力為250~350n。

    10、在本專利技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中,沿膜材移動(dòng)方向,膜材的張力在烘箱內(nèi)以10~20n逐級(jí)遞增。

    11、在本專利技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中,沿膜材移動(dòng)方向,烘箱內(nèi)分為第一張力段、第二張力段和第三張力段,在第一張力段膜材張力為250~310n,在第二張力段膜材張力為260~330n,在第三張力段膜材張力為280~350n;

    12、且,第一張力段內(nèi)膜材張力小于第二張力段內(nèi)膜材張力,第二張力段內(nèi)膜材張力小于第三張力段內(nèi)膜材張力。

    13、在本專利技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中,膜材進(jìn)入烘箱后先進(jìn)行預(yù)熱,預(yù)熱溫度為100~120℃。

    14、在本專利技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中,膜材的預(yù)熱時(shí)間為0.5~1min。

    15、在本專利技術(shù)的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例中,膜材以360~450n的張力進(jìn)行收卷。

    16、本專利技術(shù)另一具體實(shí)施例提供的技術(shù)方案如下:

    17、ito膜,由上述ito膜老化結(jié)晶工藝制備得到。

    18、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本專利技術(shù)將膜材在一定張力下進(jìn)行老化結(jié)晶,同時(shí)控制老化溫度和時(shí)間,有效解決了ito膜的翹曲問題,有效增加了良品率。

    本文檔來自技高網(wǎng)...

    【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

    1.一種ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,包括如下步驟:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,膜材以200~220N張力進(jìn)行放卷。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,膜材在烘箱內(nèi)的張力為250~350N。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,沿膜材移動(dòng)方向,膜材的張力在烘箱內(nèi)以10~20N逐級(jí)遞增。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,沿膜材移動(dòng)方向,烘箱內(nèi)分為第一張力段、第二張力段和第三張力段,在第一張力段膜材張力為250~310N,在第二張力段膜材張力為260~330N,在第三張力段膜材張力為280~350N;

    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,膜材進(jìn)入烘箱后先進(jìn)行預(yù)熱,預(yù)熱溫度為100~120℃。

    7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,膜材的預(yù)熱時(shí)間為0.5~1min。

    8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,膜材以360~450N的張力進(jìn)行收卷。

    9.ITO膜,其特征在于,由權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的ITO膜老化結(jié)晶工藝制備得到。

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    【技術(shù)特征摘要】

    1.一種ito膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,包括如下步驟:

    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ito膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,膜材以200~220n張力進(jìn)行放卷。

    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ito膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,膜材在烘箱內(nèi)的張力為250~350n。

    4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ito膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,沿膜材移動(dòng)方向,膜材的張力在烘箱內(nèi)以10~20n逐級(jí)遞增。

    5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的ito膜老化結(jié)晶工藝,其特征在于,沿膜材移動(dòng)方向,烘箱內(nèi)分為第一張力段、第二張力段和第三張力段,在第一張力段...

    【專利技術(shù)屬性】
    技術(shù)研發(fā)人員:高毓康馮燕佳陳超王志堅(jiān)陳濤
    申請(qǐng)(專利權(quán))人:浙江日久新材料科技有限公司
    類型:發(fā)明
    國(guó)別省市:

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