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【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術涉及在將工件配置在托盤上的狀態下進行檢查的托盤內方式的工件定位機構及工件檢查裝置。
技術介紹
1、被從半導體的封裝或者晶片切分為多個后的芯片等的檢查大體被分為以下的兩種。第一種是在配置作為被檢查物的工件的托盤中配置有工件的狀態下進行檢查的托盤內方式(例如專利文獻1)。第二種是從托盤將工件運出并載置到檢查臺上進行檢查、在檢查結束后再次運入到托盤上的拾取放置方式(例如專利文獻2)。
2、現有技術文獻
3、專利文獻
4、專利文獻1:日本特開2009-295814號公報
5、專利文獻2:日本特開2003-114251號公報
技術實現思路
1、專利技術要解決的課題
2、順便說一下,在拾取放置方式中,需要將檢查對象的工件從托盤運出/運入的更換作業。因此,在該更換作業中花費較多的時間,有生產量下降的課題。相對于此,托盤內方式能夠克服上述的拾取放置方式的缺點。
3、托盤內方式在托盤的輸送路徑的途中設定有工件的檢查區域。并且,在該檢查區域中,難以總是穩定地維持被斷續地輸送的托盤與工件的檢查器的精密的位置關系。
4、本專利技術是考慮這樣的情況而做出的,目的是提供一種能夠以簡單的構造穩定地維持配置有工件的托盤與工件的檢查器的精密的位置關系的工件定位機構及工件檢查裝置。
5、用來解決課題的手段
6、在有關本專利技術的工件定位機構中,具備:托盤,配置有工件;框架,形成有規定取位在檢查區域的上
7、專利技術效果
8、通過本專利技術,能夠提供能夠以簡單的構造穩定地維持配置有工件的托盤與工件的檢查器的精密的位置關系的工件定位機構及工件檢查裝置。
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1.一種工件定位機構,其特征在于,
2.如權利要求1所述的工件定位機構,其特征在于,
3.如權利要求1或2所述的工件定位機構,其特征在于,
4.一種工件檢查裝置,其特征在于,
5.一種工件檢查裝置,其特征在于,
【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種工件定位機構,其特征在于,
2.如權利要求1所述的工件定位機構,其特征在于,
3.如權利要求1或2...
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