【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及半導(dǎo)體設(shè)備，特別涉及一種控制裝置及特殊氣體控制系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
1、半導(dǎo)體制造過程中需要用到很多毒性腐蝕性等氣體，目前市場上常用的特氣設(shè)備需要人員操作閥門實現(xiàn)鋼瓶上線的條件，由于一些列外部因素干擾，極有可能出現(xiàn)在操作閥門過程中有大量氣體泄漏，造成生產(chǎn)影響甚至危害人員安全。
2、因此亟需研發(fā)一種操作設(shè)備，能夠有效避免人員直接操作閥門而可能引起的人員傷害，保護操作人員的人身安全。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本申請要解決的技術(shù)問題是如何避免人員直接操作閥門而引起人員傷害，保護操作人員的人身安全。
2、為解決上述技術(shù)問題，本申請?zhí)峁┝艘环N控制裝置，用于控制閥門，包括旋轉(zhuǎn)臂、控制器和驅(qū)動部件；所述旋轉(zhuǎn)臂的第一端被配置為固定在預(yù)設(shè)位置，所述旋轉(zhuǎn)臂的第二端與所述驅(qū)動部件連接，所述旋轉(zhuǎn)臂用于調(diào)整所述驅(qū)動部件的位置和姿態(tài)；所述控制器與所述驅(qū)動部件通信連接，用于控制所述驅(qū)動部件旋轉(zhuǎn)；所述驅(qū)動部件被配置為能夠與所述閥門卡接，并帶動所述閥門旋轉(zhuǎn)。
3、在本申請的一些實施例中，所述驅(qū)動部件包括：旋轉(zhuǎn)電機，所述旋轉(zhuǎn)電機與所述控制器通信連接，且所述旋轉(zhuǎn)電機與所述旋轉(zhuǎn)臂的第二端連接；以及扭矩扳手，所述扭矩扳手的一端連接所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸，所述扭矩扳手的另一端用于卡接所述閥門。
4、在本申請的一些實施例中，所述扭矩扳手包括：底座，所述底座的一側(cè)與所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接；卡接部，所述卡接部設(shè)置在所述底座的另一側(cè)，所述卡接部與所述閥門的形狀和尺寸適配，用于卡接所述閥
5、在本申請的一些實施例中，所述卡接部包括多個分別與所述底座固定連接的爪齒。
6、在本申請的一些實施例中，所述底座為圓盤狀，多個所述爪齒沿所述底座的周向均勻分布。
7、在本申請的一些實施例中，所述旋轉(zhuǎn)臂包括依次連接的第一臂體、第一動力機構(gòu)和第二臂體；所述第一臂體用于固定在預(yù)設(shè)位置，所述第二臂體與所述驅(qū)動部件連接；所述第一動力機構(gòu)與所述控制器通信連接，用于在所述控制器的控制下使所述第一臂體和所述第二臂體之間產(chǎn)生相對運動。
8、在本申請的一些實施例中，所述第一臂體通過第二動力機構(gòu)固定在所述預(yù)設(shè)位置，所述第二動力機構(gòu)與所述控制器通信連接，用于在所述控制器的控制下使所述第一臂體相對所述預(yù)設(shè)位置運動。
9、本申請實施例之一提供了一種特殊氣體控制系統(tǒng)，包括：帶有閥門的容器，用于盛放所述特殊氣體；本申請所述的控制裝置，用于控制所述閥門開啟或者關(guān)閉；密閉的箱體，所述容器以及所述控制裝置均設(shè)置在所述箱體內(nèi)；控制臺，所述控制臺與所述控制裝置的控制器通信連接，用于控制所述控制裝置開啟或關(guān)閉所述閥門。
10、在本申請的一些實施例中，所述箱體與排風(fēng)系統(tǒng)連接。
11、在本申請的一些實施例中，還包括偵測器，所述偵測器與所述排風(fēng)系統(tǒng)連接，并與所述控制器通信連接，用于檢測所述箱體中是否發(fā)生所述特殊氣體的泄漏，并將檢測結(jié)果發(fā)送給所述控制器；當(dāng)所述檢測結(jié)果為所述箱體中所述特殊氣體的泄漏量大于設(shè)定值時，所述控制器控制所述驅(qū)動部件旋轉(zhuǎn)，以關(guān)閉所述閥門。
12、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請技術(shù)方案至少具有如下有益效果：
13、1.所述控制裝置通過旋轉(zhuǎn)臂調(diào)整驅(qū)動部件的位置和姿態(tài)，便于驅(qū)動部件與閥門卡接，通過控制器控制驅(qū)動部件旋轉(zhuǎn)，從而帶動閥門旋轉(zhuǎn)。所述控制裝置可替代人工對閥門進行開啟或關(guān)閉的操作，大大降低了人員直接操作閥門的作業(yè)風(fēng)險，有效保護了操作人員的安全。
14、2.將所述控制裝置應(yīng)用到特殊氣體控制系統(tǒng)中，可實現(xiàn)在不打開氣柜門的情況下實現(xiàn)閥門的自動開啟或關(guān)閉，避免了人員在直接操作閥門的過程中由于氣體泄漏造成的環(huán)境污染和人員傷害。
15、3.通過在特殊氣體控制系統(tǒng)中設(shè)置偵測器檢測氣柜中是否發(fā)生特殊氣體的泄漏，當(dāng)發(fā)生泄漏時，通過控制器發(fā)出報警，并控制驅(qū)動部件旋轉(zhuǎn)及時關(guān)閉閥門，能夠有效避免有毒有害氣體向空氣中擴散，造成危害進一步擴大。
16、4.運行成本低，設(shè)備功耗和運行成本低，安全系數(shù)高，免維護，經(jīng)濟實用。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護點】
1.一種控制裝置，用于控制閥門，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)臂、控制器和驅(qū)動部件；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于，所述驅(qū)動部件包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制裝置，其特征在于，所述扭矩扳手包括：底座，所述底座的一側(cè)與所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接；卡接部，所述卡接部設(shè)置在所述底座的另一側(cè)，所述卡接部與所述閥門的形狀和尺寸適配，用于卡接所述閥門。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的控制裝置，其特征在于，所述卡接部包括多個分別與所述底座固定連接的爪齒。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的控制裝置，其特征在于，所述底座為圓盤狀，多個所述爪齒沿所述底座的周向均勻分布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臂包括依次連接的第一臂體、第一動力機構(gòu)和第二臂體；所述第一臂體用于固定在預(yù)設(shè)位置，所述第二臂體與所述驅(qū)動部件連接；所述第一動力機構(gòu)與所述控制器通信連接，用于在所述控制器的控制下使所述第一臂體和所述第二臂體之間產(chǎn)生相對運動。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的控制裝置，其特征在于，所述第一臂體通過第二動力機構(gòu)固定在所述預(yù)設(shè)位
8.一種特殊氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的特殊氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，所述箱體與排風(fēng)系統(tǒng)連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的特殊氣體控制系統(tǒng)，其特征在于，還包括偵測器，所述偵測器與所述排風(fēng)系統(tǒng)連接，并與所述控制器通信連接，用于檢測所述箱體中是否發(fā)生所述特殊氣體的泄漏，并將檢測結(jié)果發(fā)送給所述控制器；當(dāng)所述檢測結(jié)果為所述箱體中所述特殊氣體的泄漏量大于設(shè)定值時，所述控制器控制所述驅(qū)動部件旋轉(zhuǎn)，以關(guān)閉所述閥門。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種控制裝置，用于控制閥門，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)臂、控制器和驅(qū)動部件；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于，所述驅(qū)動部件包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的控制裝置，其特征在于，所述扭矩扳手包括：底座，所述底座的一側(cè)與所述旋轉(zhuǎn)電機的輸出軸連接；卡接部，所述卡接部設(shè)置在所述底座的另一側(cè)，所述卡接部與所述閥門的形狀和尺寸適配，用于卡接所述閥門。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的控制裝置，其特征在于，所述卡接部包括多個分別與所述底座固定連接的爪齒。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的控制裝置，其特征在于，所述底座為圓盤狀，多個所述爪齒沿所述底座的周向均勻分布。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臂包括依次連接的第一臂體、第一動力機構(gòu)和第二臂體；所述第一臂體用于固定在預(yù)設(shè)位置，所述第二臂體與所述驅(qū)動部件連接；所...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：王仕杰，
申請(專利權(quán))人：中芯北方集成電路制造北京有限公司，
類型：新型
國別省市：
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