【技術實現步驟摘要】
本技術涉及集成電路制造,尤其涉及一種集成電路制造的電鍍槽結構。
技術介紹
1、電鍍槽是電鍍設備中最基礎的設備,主要功能是裝置溶液。鍍槽的使用方式有按手工操作的工藝流程生產線直線排列,也有因地制宜的根據現場空間分開鍍種排列,如果是機械自動生產線,則基本上是按工藝流程排列的。在電鍍過程中,為提高電鍍質量,避免溶液出現濃度極化,防止鍍件表面出現針孔、麻點等不良現象,需要對電鍍溶液持續進行攪拌。
2、然而,電鍍液使用時需要進行攪拌以保證濃度均一,進而保證電鍍的質量,但是目前的攪拌混合組件結構復雜也難以保證混合的均勻度,如公開號為cn26736191u的一種用于集成電路制造的電鍍槽結構。
3、針對于此,本申請提出一種集成電路制造的電鍍槽結構。
技術實現思路
1、針對現有技術中所存在的不足,本技術提供了一種集成電路制造的電鍍槽結構。
2、本技術的實施例提供了一種集成電路制造的電鍍槽結構,包括:
3、用于盛裝電鍍液的電鍍箱;
4、能夠實現電鍍箱內電鍍液循環流動混合的多功能循環組件;所述多功能循環組件包括能夠拆卸安裝在電鍍箱內的導流筒,所述導流筒內設有共軸且被驅動轉動的轉動桿,所述轉動桿的上端固定有安裝塊,所述安裝塊上固定有用于電鍍液循環流動的螺旋葉,所述導流筒內安裝有位于螺旋葉上方的加熱管,所述導流筒內安裝有位于螺旋葉下方的濾網。
5、進一步地,所述電鍍箱的底部安裝有電機,所述轉動桿貫穿電鍍箱并與其轉動連接,所述轉動桿與電機
6、進一步地,所述電鍍箱的底部安裝有呈環形分布的兩個螺桿和兩個支撐桿,所述導流筒的底部設有兩個插槽和兩個螺紋槽,所述螺桿與螺紋槽嚙合連接,所述支撐桿滑動連接在插槽內。
7、進一步地,所述螺桿與電鍍箱的內底部轉動連接,所述支撐桿與電鍍箱的內底部固定連接。
8、進一步地,所述加熱管通過短桿固定在導流筒上。
9、進一步地,所述濾網的中部貫穿設有通槽,所述轉動桿貫穿通槽設置。
10、相比于現有技術,本技術具有如下有益效果:
11、本技術螺旋葉轉動能夠將電鍍液通過導流筒向上輸送,如此可以實現電鍍液在電鍍箱內循環流動,實現均勻混合,通過濾網能夠對電解液中的雜質進行過濾,避免電鍍產品造成影響。
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1.一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,其中:
3.根據權利要求1所述的一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,其中:
4.根據權利要求3所述的一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,其中:
5.根據權利要求1所述的一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,其中:
6.根據權利要求1所述的一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,其中:
【技術特征摘要】
1.一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,其中:
3.根據權利要求1所述的一種集成電路制造的電鍍槽結構,其特征在于,其中:
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【專利技術屬性】
技術研發人員:王建,
申請(專利權)人:重慶安美科技有限公司,
類型:新型
國別省市:
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