【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及靶材，特別涉及一種ito靶材的綁定方法及ito靶材。
技術介紹
1、磁控濺射的靶材為光電功能材料，現有的ito(indium?tin?oxide)靶材由靶材與背管通過綁定組成。ito靶材目前使用銦為焊料的綁定材料，通過超聲波涂布機對靶材的內表面和背管的外表面進行涂布銦，再將靶材套在背管的外側，將靶材和背管整體放置加熱爐上加熱到適當溫度，倒入銦液并將靶材放置銦層上，進行降溫，使得靶材和背管最終焊接在一起。
2、在磁控濺射過程，電子對靶材表面轟擊，會導致靶材表面升溫，同時濺射過程保持穩定需要靶材保持在溫度穩定狀態，需要背管與靶材之間傳熱散熱均勻良好。這樣靶材在濺射過程中避免因為局部溫度偏高導致開裂或者溢銦的不良發生。
3、而由于綁定時，在靶材和背管之間的銦層存在表面張力等影響，導致銦層流動有一定阻力，銦層的局部位置出現較小氣泡或者間隙，綁定完成后局部位置存在無銦的空隙，靶材和背管無法完全貼合，磁控濺射過程中，空隙位置傳熱不良，靶材的局部溫度偏高，容易產生開裂問題。
技術實現思路
1、本專利技術旨在至少解決現有技術中存在的技術問題之一。為此，本專利技術提出一種ito靶材的綁定方法，能夠提高靶材和背管的貼合率，避免靶材開裂。
2、本專利技術還提成一種通過上述ito靶材的綁定方法制得的ito靶材。
3、根據本專利技術的第一方面實施例的ito靶材的綁定方法，包括以下步驟：
4、步驟一：獲取銦塊、靶材和背管；
6、步驟三:在所述靶材的內表面涂抹摻雜鋅的銦液，且在所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液，將所述靶材套設于所述背管，以使所述靶材與所述背管之間具有間隙，通過綁定工裝固定所述靶材與所述背管；
7、步驟四：將摻雜鋅的銦液澆鑄到所述間隙中，使摻雜鋅的銦液充滿所述間隙，以形成綁定層；
8、步驟五：冷卻所述靶材、所述背管以及所述綁定層。
9、根據本專利技術的第一方面實施例的ito靶材的綁定方法，至少具有如下有益效果：
10、通過在銦液中摻雜鋅，鋅的添加使得銦變成摻雜有鋅的合金銦，含有鋅的銦比純銦的在液態情況下有更好的流動性，在靶材與背管之間的間隙澆鑄摻雜鋅的銦液時，摻雜鋅的銦液的流動阻力減少，能夠方便靶材與背管之間的間隙的氣體排出，排氣更加順暢，以減少靶材與背管之間存在空隙位置的情況，能夠提高靶材與背管的綁定貼合率，在磁控濺射過程中，靶材的傳熱效率提高，且能夠均勻地傳熱，能夠減少靶材產生開裂的問題，從而提高ito靶材的使用壽命。
11、根據本專利技術的一些實施例,在步驟三中，在對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液之前，加熱所述靶材和所述背管，以使所述靶材和所述背管的溫度大于180℃且小于230℃，并保溫60～150min。
12、根據本專利技術的一些實施例,通過超聲波涂布設備，對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液。
13、根據本專利技術的一些實施例,在對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液之后，將所述背管和所述靶材豎立設置，且將所述靶材套設于所述背管，再密封所述背管的底部和所述靶材的底部。
14、根據本專利技術的一些實施例,在摻雜鋅的銦液中，鋅的質量成分占比為0.001％至0.00015％。
15、根據本專利技術的一些實施例,，在步驟三中，升溫速率為0.5-0.8℃/min。
16、根據本專利技術的一些實施例,在填充摻雜鋅的銦液的過程中，控制所述靶材的內表面和所述背管的外表面的溫度為157～200℃。
17、根據本專利技術的一些實施例,在步驟五中，降溫速率為0.3-0.8℃/min，當所述靶材和所述背管的溫度降溫至常溫時，拆卸綁定工裝，即得到綁定好的ito靶材。
18、根據本專利技術的第二方面實施例的ito靶材，包括包括靶材、背管以及綁定層，所述靶材套設于所述背管，所述綁定層設于所述靶材與所述背管之間，且所述綁定層填充滿所述靶材與所述背管之間的間隙，其中，所述綁定層由銦和鋅組成。
19、根據本專利技術的一些實施例,在所述綁定層中，所述鋅的質量成分占比為0.001％至0.00015％。
20、本專利技術的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本專利技術的實踐了解到。
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1.一種ITO靶材的綁定方法,其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的ITO靶材的綁定方法，其特征在于，在步驟三中，在對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液之前，加熱所述靶材和所述背管，以使所述靶材和所述背管的溫度大于180℃且小于230℃，并保溫60～150min。
3.根據權利要求1所述的ITO靶材的綁定方法，其特征在于，通過超聲波涂布設備，對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液。
4.根據權利要求3所述的ITO靶材的綁定方法，其特征在于，在對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液之后，將所述背管和所述靶材豎立設置，且將所述靶材套設于所述背管，再密封所述背管的底部和所述靶材的底部。
5.根據權利要求1所述的ITO靶材的綁定方法，其特征在于，在摻雜鋅的銦液中，鋅的質量成分占比為0.001％至0.00015％。
6.根據權利要求1所述的ITO靶材的綁定方法，其特征在于，在步驟三中，升溫速率為0.5-0.8℃/min。
7.根據權利要求1所述的ITO靶材的綁定方法，其
8.根據權利要求1所述的ITO靶材的綁定方法，其特征在于，在步驟五中，降溫速率為0.3-0.8℃/min，當所述靶材和所述背管的溫度降溫至常溫時，拆卸綁定工裝，即得到綁定好的ITO靶材。
9.一種ITO靶材，其特征在于，包括靶材、背管以及綁定層，所述靶材套設于所述背管，所述綁定層設于所述靶材與所述背管之間，且所述綁定層填充滿所述靶材與所述背管之間的間隙，其中，所述綁定層由銦和鋅組成。
10.根據權利要求9所述的ITO靶材，其特征在于，其特征在于，在所述綁定層中，所述鋅的質量成分占比為0.001％至0.00015％。
...【技術特征摘要】
1.一種ito靶材的綁定方法,其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的ito靶材的綁定方法，其特征在于，在步驟三中，在對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液之前，加熱所述靶材和所述背管，以使所述靶材和所述背管的溫度大于180℃且小于230℃，并保溫60～150min。
3.根據權利要求1所述的ito靶材的綁定方法，其特征在于，通過超聲波涂布設備，對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液。
4.根據權利要求3所述的ito靶材的綁定方法，其特征在于，在對所述靶材的內表面和所述背管的外表面涂抹摻雜鋅的銦液之后，將所述背管和所述靶材豎立設置，且將所述靶材套設于所述背管，再密封所述背管的底部和所述靶材的底部。
5.根據權利要求1所述的ito靶材的綁定方法，其特征在于，在摻雜鋅的銦液中，鋅的質量成分占比為0.001％至0.00015％。
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【專利技術屬性】
技術研發人員：羅杰宇，楊進明，葛春橋，劉虹達，
申請(專利權)人：中山智隆新材料科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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