【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及傳感器芯片電鍍，特別涉及基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方及配置方法。
技術介紹
1、磁傳感器芯片可以將磁場、電流、應力應變、溫度和光等外界因素引起的磁信號變化轉換為電信號，從而檢測相應的物理量。用于測量電流、位置、角度和速度等參數，而坡莫合金是一種由約80％鎳和20％鐵組成的合金，是磁傳感器的核心膜層，因此在各種磁傳感器中得到了廣泛應用。
2、在霍爾效應傳感器中，坡莫合金用于增強磁場，提供更高的信號靈敏度。可用于電流傳感器、位置傳感器和速度傳感器。通常，磁傳感器的坡莫合金是通過晶圓電鍍方式制備的，以使合金膜層具有更好的均勻性和更高的質量。
3、由于電鍍坡莫合金需要控制多個金屬離子的濃度，以確保合金成分比例準確(鎳80％，鐵20％)，且又因為不同金屬離子的沉積電位不同，不同金屬的沉積速率也不同，所以容易導致電鍍過程中成分不均勻，且現有的坡莫電鍍液化學穩定性差，在空氣中容易氧化變色，進而使電鍍液失效，且現有的鎳鐵金屬鍍層的應力較大，當鍍層厚度較厚時，容易出現開裂、脫落和褶皺問題，甚至導致襯底的翹曲過大而裂片。因此，提出基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方及配置方法。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方及配置方法，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為實現上述目的，本專利技術提供如下技術方案：基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，由以下原料按照質量份數配置而成：含鎳化學品150—200份、
3、優選的，所述含鎳化學品包括氨基磺酸鎳、氯化鎳、硼酸鎳、醋酸鎳和磷酸鎳中的一種或多種。
4、優選的，所述含鐵化學品包括二硫化亞鐵、氯化亞鐵、草酸亞鐵、硫酸亞鐵銨、硫酸鐵和氯化鐵中的一種或多種。
5、優選的，所述ph調節劑包括硫酸、鹽酸、磷酸、醋酸、硝酸、碳酸氫鈉、檸檬酸鉀和檸檬酸中的一種或多種。
6、優選的，所述光亮劑包括聚乙烯亞胺烷基化合物、聚氧乙烯醚磺酸鈉、聚乙二醇、甲醛和氨基磺酸鉀中的一種或多種。
7、優選的，所述整平劑包括酞菁、健那綠、丁炔二醇和香豆素中的一種或多種。
8、優選的，所述消泡劑包括聚二甲基硅氧烷、聚硅氧烷、聚氧乙烯、聚氧丙烯的共聚物、硬脂酸乙酯、辛醇、癸醇和聚醚硅氧烷共聚物中的一種或多種。
9、優選的，所述表面活性劑包括烷基乙基磺酸鹽和烷基苯磺酸鹽中的一種或多種。
10、優選的，所述排氧添加劑包括亞硫酸鈉、亞硫酸氫鈉和乙二胺四乙酸中的一種或多種。
11、基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方的配置方法，采用所述的電鍍液配方配制而成，其特征在于，所述電鍍液配制方法包括以下幾個步驟：
12、s1，根據去離子水所占用的質量份數，在備用槽內加入2/3體積的去離子水，然后依次加入含鎳化學品、含鐵化學品和消泡劑，以80-110r/min的速度攪拌至完全溶解，完全溶解之后，使用30-60r/min的速度攪拌1.5—2h后靜置過夜；
13、s2，在另一容器內加入剩余去離子水的1/15-11/10，然后加入光亮劑、整平劑和表面活性劑并以80-110r/min的速度攪拌至完全溶解，并將該混合溶液導入s1靜置后的備用槽中；
14、s3，向融合了s1和s2的溶液內加入排氧添加劑，并以30-40r/min的速度攪拌45—65min；
15、s4，向加入排氧添加劑后的溶液內加入ph調節劑，并將ph調節至4；
16、s5，將剩余質量份數的去離子水加入至調好ph值后的溶液內，以30-40r/min的速度攪拌均勻，得到電鍍液。
17、本專利技術的技術效果和優點：
18、(1)本專利技術針對坡莫合金電鍍液氧化問題，通過加入排氧添加劑除去電鍍液中含有的氧氣，削弱坡莫合金電鍍液的氧化，使得電鍍液的化學性能更加穩定，同時加入了表面活性劑讓晶圓的各組分化學品溶解時能夠形成明亮，穩定的溶液體系。
19、(2)本專利技術針對鎳鐵應力過大的問題，采用以鍍層應力較小的氨基磺酸鎳、硼酸鎳、醋酸鎳、氯化鎳和磷酸鎳中的一種或多種化學藥品作為鎳鐵鍍層中鎳的來源，該鎳鍍層內應力較小，鍍層光滑，均勻，具有良好的附著力和耐磨性。
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1.基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，由以下原料按照質量份數配置而成：含鎳化學品150—200份、含鐵化學品30—40份、PH調節劑5—10份、光亮劑0.1—5份、整平劑0.1—5份、消泡劑0.01—0.05份、表面活性劑2—5份、排氧添加劑0.01—0.02份和去離子水500—800份。
2.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述含鎳化學品包括氨基磺酸鎳、氯化鎳、硼酸鎳、醋酸鎳和磷酸鎳中的一種或多種。
3.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述含鐵化學品包括二硫化亞鐵、氯化亞鐵、草酸亞鐵、硫酸亞鐵銨、硫酸鐵和氯化鐵中的一種或多種。
4.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述PH調節劑包括硫酸、鹽酸、磷酸、醋酸、硝酸、碳酸氫鈉、檸檬酸鉀和檸檬酸中的一種或多種。
5.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述光亮劑包括聚乙烯亞胺烷基化合物、聚氧乙烯醚磺酸鈉、聚乙二醇、甲醛和氨基磺酸
6.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述整平劑包括酞菁、健那綠、丁炔二醇和香豆素中的一種或多種。
7.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述消泡劑包括聚二甲基硅氧烷、聚硅氧烷、聚氧乙烯、聚氧丙烯的共聚物、硬脂酸乙酯、辛醇、癸醇和聚醚硅氧烷共聚物中的一種或多種。
8.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述表面活性劑包括烷基乙基磺酸鹽和烷基苯磺酸鹽中的一種或多種。
9.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述排氧添加劑包括亞硫酸鈉、亞硫酸氫鈉和乙二胺四乙酸中的一種或多種。
10.基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方的配置方法，采用包括權利要求1-9任一項所述的電鍍液配方配置而成，其特征在于，所述電鍍液配制方法包括以下幾個步驟：
...【技術特征摘要】
1.基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，由以下原料按照質量份數配置而成：含鎳化學品150—200份、含鐵化學品30—40份、ph調節劑5—10份、光亮劑0.1—5份、整平劑0.1—5份、消泡劑0.01—0.05份、表面活性劑2—5份、排氧添加劑0.01—0.02份和去離子水500—800份。
2.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述含鎳化學品包括氨基磺酸鎳、氯化鎳、硼酸鎳、醋酸鎳和磷酸鎳中的一種或多種。
3.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述含鐵化學品包括二硫化亞鐵、氯化亞鐵、草酸亞鐵、硫酸亞鐵銨、硫酸鐵和氯化鐵中的一種或多種。
4.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述ph調節劑包括硫酸、鹽酸、磷酸、醋酸、硝酸、碳酸氫鈉、檸檬酸鉀和檸檬酸中的一種或多種。
5.根據權利要求1所述的基于磁傳感器的坡莫合金晶圓電鍍液配方，其特征在于，所述光亮...
【專利技術屬性】
技術研發人員：湯飛凡，林立宇，
申請(專利權)人：深圳芯淼半導體材料有限公司，
類型：發明
國別省市：
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