【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及晶圓加工，具體而言，涉及一種排風系統。
技術介紹
1、排風系統設有排風柱，內部設有勻膠裝置，便于晶圓的加工，但是，在實際施工過程中，存在這樣一個問題：在取出勻膠裝置時，排風柱與勻膠裝置發生位置干涉，導致勻膠裝置取出較為不便，因此，提供一種排風柱可以翻轉的排風系統，避免排風柱與勻膠裝置發生位置干涉，便于取出勻膠裝置。
技術實現思路
1、因此，本專利技術提供一種排風系統，排風柱能夠翻轉，便于取出勻膠裝置。
2、為解決上述問題，本專利技術提供一種排風系統，排風系統與晶圓加工設備配合，排風系統內設有勻膠裝置，排風系統包括：排風支架，排風支架設有開口，勻膠裝置通過開口脫離排風支架；排風柱；鉸鏈裝置，鉸鏈裝置的一端與排風柱固定連接，鉸鏈裝置的另一端與排風支架固定連接，鉸鏈裝置帶動排風柱在第一狀態和第二狀態之間進行切換，其中，第一狀態為排風柱遮擋開口的至少部分，第二狀態為排風柱避讓開口。
3、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：排風柱與排風支架通過鉸鏈裝置相互連接，排風支架能夠向遠離排風支架的一側翻轉，使得鉸鏈裝置帶動排風柱在第一狀態和第二狀態之間進行切換，在第二狀態時，便于在取出排風系統內部的勻膠裝置，避免排風柱與勻膠裝置發生位置干涉，提高操作的便捷性。
4、進一步的，鉸鏈裝置包括：第一翻轉件；第二翻轉件；轉動軸，第一翻轉件和第二翻轉件通過轉動軸連接。
5、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：第一翻轉件和第二
6、進一步的，鉸鏈裝置還包括：第一連接件，第一連接件的一側與第一翻轉件固定連接，第一連接件的另一側與排風柱固定連接。
7、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：排風柱與第一翻轉件通過第一連接件相連，使得第一翻轉件能夠帶動排風柱翻轉，同時第一連接件增加了排風柱與第一翻轉件之間連接的穩定性，避免在翻轉的過程中，第一翻轉件發生形變而導致排風柱脫落。
8、進一步的，鉸鏈裝置還包括：第二連接件，第二連接件一側與第二翻轉件固定連接，第二連接件的另一側與排風支架固定連接。
9、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：排風支架與第二翻轉件通過第二連接件固定連接，增加了固定連接的穩定性。
10、進一步的，鉸鏈裝置還包括：第一抵靠件，第一抵靠件與第一連接件固定連接；第二抵靠件，第二抵靠件與第二連接件固定連接，其中，在排風柱向遠離排風支架的一側翻轉后，第一抵靠件與第二抵靠件相互抵靠。
11、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：第一抵靠件與第二抵靠件相互抵靠，增加了排風柱的穩定性，提高了排風系統使用時的安全性，避免夾傷。
12、進一步的，鉸鏈裝置還包括：鎖緊件，鎖緊件與第一抵靠件固定連接；其中，鎖緊件設有鎖緊孔和固定銷，第二抵靠件設有配合孔，在第一抵靠件與第二抵靠件相互抵靠時，鎖緊孔與配合孔相互配合，使得固定銷穿過鎖緊孔和配合孔。
13、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：鎖緊件設有鎖緊孔，第二抵靠件設有配合孔，在第一抵靠件與第二抵靠件相互抵靠時，鎖緊孔與配合孔相互配合，固定銷穿過鎖緊孔和配合孔，從而限制排風柱的移動，避免排風柱回彈，增加了排風系統在使用時的安全性。
14、進一步的，排風柱包括：排氣接口，排氣接口設于排風柱上，排風柱內設有排風通道，排氣接口與排風通道連通，以使得氣體能夠通過排氣接口排出。
15、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：排風柱上設有排氣接口，排氣接口用于連接氣管，排氣接口與排風通道連通，使得排風通道內的氣體流進氣管內。
16、進一步的，排風柱內設有管路，管路為中空結構，以形成排風通道。
17、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：排風柱內設有管路，管路的內部空間形成排風通道，使得在清潔維護的過程中，可以直接拆卸管路，對排風通道進行清洗維護，操作更加便利，同時，排風柱內為套管結構，使得排氣接口處的排氣壓力的均一性更好。
18、進一步的，排風柱包括：第一柱件和第二柱件，第一柱件和第二柱件可拆卸地連接。
19、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：排風柱包括第一柱件和第二柱件，第一柱件和第二柱件可拆卸地連接，并包圍管路，在維護清潔時，便于工作人員拆卸，從而進行清洗，使得清洗時更加方便。
20、進一步的，排風柱還包括：可視窗口，可視窗口設于排風柱的外側。
21、與現有技術相比，采用該技術方案所達到的技術效果：排風柱上設有可視窗口，便于工作人員觀察排風柱內的臟污情況，以便及時清理。
22、采用本專利技術的技術方案后，能夠達到如下技術效果：
23、（1）排風柱與排風支架通過鉸鏈裝置相互連接，排風支架能夠向遠離排風支架的一側翻轉，使得鉸鏈裝置帶動排風柱在第一狀態和第二狀態之間進行切換，在第二狀態時，便于在取出排風系統內部的勻膠裝置，避免排風柱與勻膠裝置發生位置干涉，提高操作的便捷性；
24、（2）第一翻轉件和第二翻轉件通過轉動軸可轉動地連接，使得第一翻轉件和第二翻轉件能夠以轉動軸為轉動中心旋轉，從而帶動排風柱向遠離排風支架的一側轉動，從而取出勻膠裝置，第一翻轉件與第二翻轉件通過轉動軸相連，結構較為簡單，拆卸和安裝時較為便捷；
25、（3）排風柱與第一翻轉件通過第一連接件相連，使得第一翻轉件能夠帶動排風柱翻轉，同時第一連接件增加了排風柱與第一翻轉件之間連接的穩定性，避免在翻轉的過程中，第一翻轉件發生形變而脫落。
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1.一種排風系統，其特征在于，所述排風系統（100）與晶圓加工設備配合，所述排風系統（100）內設有勻膠裝置，所述排風系統（100）包括：
2.根據權利要求1所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）包括：
3.根據權利要求2所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）還包括：
4.根據權利要求3所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）還包括：
5.根據權利要求4所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）還包括：
6.根據權利要求5所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）還包括：
7.根據權利要求1所述的排風系統，其特征在于，所述排風柱（120）包括：
8.根據權利要求7所述的排風系統，其特征在于，所述排風柱（120）內設有管路（123），所述管路（123）為中空結構，以形成所述排風通道（122）。
9.根據權利要求8所述的排風系統，其特征在于，所述排風柱（120）還包括：
10.根據權利要求9所述的排風系統，其特征在于，所述排風柱
...【技術特征摘要】
1.一種排風系統，其特征在于，所述排風系統（100）與晶圓加工設備配合，所述排風系統（100）內設有勻膠裝置，所述排風系統（100）包括：
2.根據權利要求1所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）包括：
3.根據權利要求2所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）還包括：
4.根據權利要求3所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）還包括：
5.根據權利要求4所述的排風系統，其特征在于，所述鉸鏈裝置（130）還包括：
<...【專利技術屬性】
技術研發人員：楊新銳，
申請(專利權)人：寧波潤華全芯微電子設備有限公司，
類型：發明
國別省市：
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