【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體制造，尤其涉及一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法及系統、晶圓分選裝置。
技術介紹
1、在半導體制造過程中，晶圓搬運是半導體制程工藝中的必要工序，晶圓分選機是實現該功能的關鍵設備。在晶圓分選機中，晶圓搬運依靠機械手手臂將晶圓從晶圓匣取出，經過晶圓對準裝置的校準后再送回晶圓匣。
2、機械手手臂裝配彈性體，通過彈性體與晶圓之間的摩擦來傳遞晶圓是晶圓搬運的一種方式。彈性體由高分子材料加工而成，具有高摩擦力和耐磨的特性。但是，隨著機械手手臂搬運晶圓數量的增加，彈性體接觸面會發生變化。特別是在搬運晶圓數量達到幾十萬片甚至百萬片時，彈性體接觸面與晶圓發生粘黏，必須更換彈性體。
3、目前彈性體接觸面與晶圓是否發生粘黏，是通過人工觀察彈性體是否有粘黏現象或工程經驗來確定，存在判斷不準確或不及時的情況，影響晶圓的分選和制造。
技術實現思路
1、本專利技術提供一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法及系統、晶圓分選裝置，用以解決現有技術中通過人工觀察或工程經驗來確定彈性體是否有粘黏現象存在判斷不準確或不及時的缺陷，實現在線檢測彈性體和晶圓是否有粘黏。
2、本專利技術提供一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，包括s1、通過機械手手臂在晶圓匣和晶圓校準裝置之間進行晶圓轉移；s2、在步驟s1進行晶圓轉移過程中，獲取機械手手臂的振動信號；s3、對步驟s2獲取的機械手手臂的振動信號進行預處理，使其滿足模數轉換輸入條件；s4、對步驟s3預處理后的機械手手臂的振動信號進行模數轉換，
3、根據本專利技術提供的一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，步驟s2中，通過固定在機械手手臂的振動傳感器獲取機械手手臂的振動信號。
4、根據本專利技術提供的一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，步驟s3中，對步驟s2獲取的機械手手臂的振動信號進行預處理的步驟包括：對機械手手臂的振動信號進行濾波、分壓限幅和信號放大處理，消除雜波干擾，增強機械手手臂的振動信號的驅動能力和抗干擾能力。
5、根據本專利技術提供的一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，步驟s4中，對步驟s3預處理后的機械手手臂的振動信號進行模數轉換的步驟包括：通過模擬信號采集器對步驟s3預處理后的機械手手臂的振動信號進行采集，然后通過模擬數字轉換器轉換為數字信號，再通過數字信號處理器進行處理，得到機械手手臂的振動數據。
6、根據本專利技術提供的一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，步驟s2中，獲取的機械手手臂的振動信號包括：機械手手臂空載運動情況下的振動信號、機械手手臂帶著晶圓移動情況下的振動信號以及機械手手臂將晶圓放置于晶圓校準裝置時的振動信號。
7、根據本專利技術提供的一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，還包括s6、基于步驟s5確定的彈性體與晶圓是否發生粘黏的結果，當確定彈性體與晶圓發生粘黏時，在機臺上顯示彈性體與晶圓發生粘黏并發出預警信息和需要更換彈性體信息。
8、本專利技術還提供一種檢測彈性體與晶圓粘黏的系統，適于執行上述任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，檢測彈性體與晶圓粘黏的系統包括振動傳感器、預處理模塊、模數轉換模塊、振動數據庫和比對模塊，其中，所述振動傳感器固定于機械手手臂，用于獲取所述機械手手臂的振動信號；所述預處理模塊連接所述振動傳感器，所述預處理模塊包括濾波電路、限幅電路和放大電路，用于對所述機械手手臂的振動信號進行濾波、分壓限幅和信號放大；所述模數轉換模塊連接所述預處理模塊，所述模數轉換模塊包括模擬信號采集器、模擬數字轉換器和數字信號處理器，所述模數轉換模塊接收所述預處理模塊處理后的信號并進行模數轉換，生成數字信號，得到機械手手臂的振動數據；所述振動數據庫內存儲有機械手手臂的標準振動數據；所述比對模塊分別連接所述模數轉換模塊和所述振動數據庫，用于對所述模數轉換模塊得到機械手手臂的振動數據和所述振動數據庫內存儲的機械手手臂的標準振動數據進行比對，并輸出比對結果。
9、根據本專利技術提供的一種檢測彈性體與晶圓粘黏的系統，還包括機臺顯示模塊，所述機臺顯示模塊連接所述比對模塊，所述機臺顯示模塊包括顯示器和預警器，所述顯示器用于顯示所述比對模塊的比對結果，所述預警器用于在確定彈性體與晶圓發生粘黏時進行預警提示。
10、本專利技術還提供一種晶圓分選裝置，包括上述任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的系統，或可執行上述任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法。
11、根據本專利技術提供的一種晶圓分選裝置，包括機架、晶圓匣、晶圓校準裝置和機械手，其中，所述晶圓匣設置于所述機架側方，用于存放晶圓；所述晶圓校準裝置位于所述機架內；所述機械手活動設置于所述機架內，所述機械手適于在所述晶圓匣和所述晶圓校準裝置之間運動，所述機械手設置有機械手手臂，所述機械手手臂前端裝配彈性體，所述機械手手臂靠近前端的位置固定有振動傳感器。
12、本專利技術提供的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法及系統、晶圓分選裝置，機械手手臂在晶圓匣和晶圓校準裝置之間進行晶圓轉移的時候，通過檢測機械手手臂的振動信號，并進行預處理和模數轉換，生成機械手手臂的振動數據，然后與振動數據庫中的機械手手臂的標準振動數據進行比對，做出彈性體與晶圓是否發生粘黏的判斷，實現彈性體與晶圓發生粘黏的在線檢測，相比于通過人工觀察或工程經驗來確定彈性體是否有粘黏現象，本專利技術的在線檢測判斷更準確和及時。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟S2中，通過固定在機械手手臂的振動傳感器獲取機械手手臂的振動信號。
3.根據權利要求1所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟S3中，對步驟S2獲取的機械手手臂的振動信號進行預處理的步驟包括：對機械手手臂的振動信號進行濾波、分壓限幅和信號放大處理，消除雜波干擾，增強機械手手臂的振動信號的驅動能力和抗干擾能力。
4.根據權利要求1所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟S4中，對步驟S3預處理后的機械手手臂的振動信號進行模數轉換的步驟包括：通過模擬信號采集器對步驟S3預處理后的機械手手臂的振動信號進行采集，然后通過模擬數字轉換器轉換為數字信號，再通過數字信號處理器進行處理，得到機械手手臂的振動數據。
5.根據權利要求1至4中任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟S2中，獲取的機械手手臂的振動信號包括：機械手手臂空載運動情況下的振動信號、機械手手臂帶著晶圓移動情況下的振動信號
6.根據權利要求1至4中任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，還包括：
7.一種檢測彈性體與晶圓粘黏的系統，其特征在于，適于執行權利要求1至6中任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，檢測彈性體與晶圓粘黏的系統包括：
8.根據權利要求7所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的系統，其特征在于，還包括機臺顯示模塊（7），所述機臺顯示模塊（7）連接所述比對模塊（6），所述機臺顯示模塊（7）包括顯示器和預警器，所述顯示器用于顯示所述比對模塊（6）的比對結果，所述預警器用于在確定彈性體與晶圓發生粘黏時進行預警提示。
9.一種晶圓分選裝置，其特征在于，包括權利要求7或8所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的系統，或可執行權利要求1至6中任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法。
10.根據權利要求9所述的晶圓分選裝置，其特征在于，包括：
...【技術特征摘要】
1.一種檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟s2中，通過固定在機械手手臂的振動傳感器獲取機械手手臂的振動信號。
3.根據權利要求1所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟s3中，對步驟s2獲取的機械手手臂的振動信號進行預處理的步驟包括：對機械手手臂的振動信號進行濾波、分壓限幅和信號放大處理，消除雜波干擾，增強機械手手臂的振動信號的驅動能力和抗干擾能力。
4.根據權利要求1所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟s4中，對步驟s3預處理后的機械手手臂的振動信號進行模數轉換的步驟包括：通過模擬信號采集器對步驟s3預處理后的機械手手臂的振動信號進行采集，然后通過模擬數字轉換器轉換為數字信號，再通過數字信號處理器進行處理，得到機械手手臂的振動數據。
5.根據權利要求1至4中任意一項所述的檢測彈性體與晶圓粘黏的方法，其特征在于，步驟s2中，獲取的機械手手臂的振動信號包括：...
【專利技術屬性】
技術研發人員：韓九陽，
申請(專利權)人：北京京儀自動化裝備技術股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。