【技術實現步驟摘要】
本申請實施例涉及晶圓切割設備，尤其涉及一種用于晶圓劃片機的測高電路及晶圓劃片機。
技術介紹
1、晶圓劃片機是半導體封裝加工
內重要的加工設備，其包括主軸和工作臺，主軸上設有切割刀片。為了保證測量結果的精準，需要對刀片的磨損程度進行在線檢測，根據刀片磨損量調整主軸相對工作臺的高度，因此需要通過測高裝置對刀片進行測高，及時調整刀片的高度，盡可能保證加工時刀片與工件的相對位置不變。
2、目前的接觸式高度測量方案通過繼電器模組實現，繼電器動作響應無法調節，進而無法對測高響應時間精度進行調節。
技術實現思路
1、有鑒于此，本申請實施例提供一種用于晶圓劃片機的測高電路及晶圓劃片機，能夠提升測高精度，判斷測高線是否斷線。
2、根據本申請實施例提供了一種用于晶圓劃片機的測高電路，其特征在于，所述測高電路包括測高線檢測回路和測高觸發回路，所述測高線檢測回路與所述測高觸發回路之間通過正測高線和負測高線連通，所述測高觸發回路包括定時器芯片，所述定時器芯片的觸發引腳通過調節電阻組，并經過所述正測高線和所述負測高線與所述測高線檢測回路連接，所述定時器芯片的電壓引腳通過所述負測高線與所述測高線檢測回路連接；所述測高線檢測回路的檢測端分別與所述晶圓劃片機的主軸和工作臺連接，在所述晶圓劃片機的主軸與工作臺處于接觸狀態下導通，所述測高線檢測回路通過所述正測高線和所述負測高線輸出觸發信號至所述觸發引腳；所述定時器芯片響應于所述觸發信號輸出測高信號以驅動主軸升降驅動器記錄所述主軸的位置，所
3、可選地，所述測高線檢測回路包括：工作臺檢測回路，所述工作臺檢測回路一端與所述正測高線連接，且通過第一繼電器與所述負測高線之間連接，另一端作為檢測端與所述工作臺連接；主軸檢測回路，所述主軸檢測回路一端與所述負測高線連接，且通過第二繼電器與所述正測高線連接，另一端作為檢測端與所述主軸連接。
4、可選地，所述第一繼電器控制端用于接入主軸檢測信號，所述第二繼電器的控制端用于接入工作臺檢測信號。
5、可選地，所述工作臺檢測回路包括與所述工作臺連接的第一工作臺檢測端和第二工作臺檢測端；當工作臺檢測信號使能，所述第一繼電器的常閉觸點斷開，所述第一繼電器的常開觸點閉合，所述工作臺檢測回路的所述第一工作臺檢測端與所述正測高線連通，所述工作臺檢測回路的所述第二工作臺檢測端通過所述第一繼電器與所述負測高線連通，所述正測高線與所述負測高線之間的電壓降低。
6、可選地，所述主軸檢測回路包括與所述主軸連接的第一主軸檢測端和第二主軸檢測端；當主軸檢測信號使能，所述第二繼電器的常閉觸點斷開，所述第二繼電器的常開觸點閉合，所述主軸檢測回路的所述第一主軸檢測端與所述負測高線連接，所述主軸檢測回路的所述第二主軸檢測端通過所述第二繼電器與所述正測高線連通，所述正測高線與所述負測高線之間的電壓降低，且所述測高觸發回路發出所述測高信號。
7、可選地，所述測高電路還包括傳感器，所述傳感器的傳感器輸出端與所述正測高線連接，所述傳感器的傳感器接地端與所述負測高線連接，所述主軸遮擋所述傳感器信號時，所述傳感器輸出端和所述傳感器接地端之間的電壓降低至小于所述電壓閾值時，所述測高觸發回路發出所述測高信號。
8、可選地，所述測高觸發回路還包括電源轉換器和功放器，所述定時器芯片與所述功放器之間設有電源轉換器，當所述定時器芯片的所述觸發引腳與所述電壓引腳之間的電壓低于所述電壓閾值時，所述定時器芯片發出12vdc高電平，所述電源轉換器將12vdc高電平轉換為24vdc高電平，所述功放器將所述測高信號放大并輸出。
9、可選地，當所述主軸與工作臺接觸，且所述主軸未遮擋所述傳感器，所述正測高線與所述負測高線之間的壓差為高電壓；當所述主軸的高度降低或所述傳感器被遮擋，所述正測高線與所述負測高線之間的壓差減小，且所述觸發引腳與所述電壓引腳之間的電壓低于所述電壓閾值時，所述定時器芯片發出所述測高信號。
10、可選地，所述調節電阻組包括可調電阻、第一固定電阻和第二固定電阻，所述可調電阻與所述第一固定電阻并聯至所述觸發引腳，所述可調電阻與所述第一固定電阻并聯后與所述第二固定電阻串聯連接至電源引腳。
11、根據本申請第一方面實施例提供的用于晶圓劃片機的測高電路，增設測高線檢測回路，可以對測高線是否斷線進行檢測。設置具有調節電阻組的定時器芯片能夠調節正測高線與負測高線之間的電壓閾值，從而能夠調節定時器芯片輸出測高型號的響應情況，從而調整整個測高電路的觸發精度；且測高電路整體穩定性高、安全性好。
本文檔來自技高網...【技術保護點】
1.一種用于晶圓劃片機的測高電路，其特征在于，所述測高電路包括測高線檢測回路和測高觸發回路，所述測高線檢測回路與所述測高觸發回路之間通過正測高線和負測高線連通，所述測高觸發回路包括定時器芯片，所述定時器芯片的觸發引腳通過調節電阻組，并經過所述正測高線和所述負測高線與所述測高線檢測回路連接，所述定時器芯片的電壓引腳通過所述負測高線與所述測高線檢測回路連接；
2.根據權利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高線檢測回路包括：
3.根據權利要求2所述的測高電路，其特征在于，所述第一繼電器控制端用于接入主軸檢測信號，所述第二繼電器的控制端用于接入工作臺檢測信號。
4.根據權利要求3所述的測高電路，其特征在于，所述工作臺檢測回路包括與所述工作臺連接的第一工作臺檢測端和第二工作臺檢測端；
5.根據權利要求3所述的測高電路，其特征在于，所述主軸檢測回路包括與所述主軸連接的第一主軸檢測端和第二主軸檢測端；
6.根據權利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高電路還包括傳感器，所述傳感器的傳感器輸出端與所述正測高線連接，所述傳感器的
7.根據權利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高觸發回路還包括電源轉換器和功放器，所述定時器芯片與所述功放器之間設有電源轉換器，當所述定時器芯片的所述觸發引腳與所述電壓引腳之間的電壓低于所述電壓閾值時，所述定時器芯片發出12VDC高電平，所述電源轉換器將12VDC高電平轉換為24VDC高電平，所述功放器將所述測高信號放大并輸出。
8.根據權利要求6所述的測高電路，其特征在于，
9.根據權利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述調節電阻組包括可調電阻、第一固定電阻和第二固定電阻，所述可調電阻與所述第一固定電阻并聯至所述觸發引腳，所述可調電阻與所述第一固定電阻并聯后與所述第二固定電阻串聯連接至電源引腳。
10.一種晶圓劃片機，其特征在于，所述晶圓劃片機包括主軸和工作臺，所述晶圓劃片機具有權利要求1-9中任一項所述的測高電路。
...【技術特征摘要】
1.一種用于晶圓劃片機的測高電路，其特征在于，所述測高電路包括測高線檢測回路和測高觸發回路，所述測高線檢測回路與所述測高觸發回路之間通過正測高線和負測高線連通，所述測高觸發回路包括定時器芯片，所述定時器芯片的觸發引腳通過調節電阻組，并經過所述正測高線和所述負測高線與所述測高線檢測回路連接，所述定時器芯片的電壓引腳通過所述負測高線與所述測高線檢測回路連接；
2.根據權利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高線檢測回路包括：
3.根據權利要求2所述的測高電路，其特征在于，所述第一繼電器控制端用于接入主軸檢測信號，所述第二繼電器的控制端用于接入工作臺檢測信號。
4.根據權利要求3所述的測高電路，其特征在于，所述工作臺檢測回路包括與所述工作臺連接的第一工作臺檢測端和第二工作臺檢測端；
5.根據權利要求3所述的測高電路，其特征在于，所述主軸檢測回路包括與所述主軸連接的第一主軸檢測端和第二主軸檢測端；
6.根據權利要求1所述的測高電路，其特征在于，所述測高電路還包括傳感器，所述傳感器的傳感器輸出端與所述正測高...
【專利技術屬性】
技術研發人員：趙德文，馮巨震，萬明軍，陳楨，
申請(專利權)人：華海清科股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。