【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體，尤其涉及一種供氣組件、晶圓搬運裝置及氣路的走線方法。
技術介紹
1、大氣機械手是晶圓在生產制造中，晶圓在設備間傳輸的重要構件，用于抓取和轉移晶圓，廣泛應用于集成電路制造行業。
2、現有技術中，通過管路控制機械手中的末端執行機構上的氣缸啟動，推動夾持塊對晶圓進行抓取，因此在末端執行機構轉動過程中，管路會發生纏繞，尤其是對于存在多個末端執行機構的情況下，在末端執行機構轉動過程中，末端執行機構的轉動角度受到限制，在搬運過程中會耗費更多的時間。
3、因此，有必要提供一種新的供氣組件、晶圓搬運裝置及氣路的走線方法，以解決現有技術中存在的上述問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種供氣組件、晶圓搬運裝置及氣路的走線方法，用以對末端執行器上的氣缸進行供氣，能夠保證在末端執行器轉動的過程中進行供氣，至少能夠解決以下技術問題：
2、1、供氣組件至少能夠解決現有技術中供氣管路之間容易發生纏繞的技術問題；
3、2、晶圓搬運裝置至少能夠解決現有技術中供氣管路之間容易發生纏繞、多個末端執行器轉動角度受限的技術問題；
4、3、氣路的走氣體方法至少能夠解決現有技術中氣路的走氣方法會導致氣路在末端執行器轉動過程中發生纏繞的技術問題。
5、為實現上述目的，本專利技術的技術方案如下：
6、第一方面，本專利技術公開了一種供氣組件，應用于晶圓搬運裝置，所述晶圓搬運裝置包括至少兩個可發生相對轉動的末端執行
7、主供應結構和傳輸組件；所述傳輸組件包括供氣管路和傳輸部，所述供氣管路兩端分別連通于主供應結構和傳輸部，所述傳輸部包括至少兩組氣路；
8、其中，所述主供應結構的氣體經過所述供氣管路傳輸至所述傳輸部，所述傳輸部分別為至少兩個末端執行器中的耗氣元件進行供氣，所述傳輸部將所述供氣管路的固定供氣方式轉化為旋轉供氣方式，所述傳輸部中的每組氣路之間可發生相對旋轉，使得每組氣路隨著每個末端執行器的無限回轉進行適應動作。
9、通過采用上述技術方案，供氣組件用于對末端執行器上的耗氣元件進行供氣，同時傳輸部中的每組氣路隨著每個末端執行器的無限回轉進行適應動作，因此在末端執行器轉動過程中，氣路之間不會發生纏繞，在轉動過程中仍可以持續為末端執行器上的耗氣元件供氣。
10、可選的，所述傳輸部包括：
11、心軸件，用于定位所述傳輸部的位置；
12、第一驅動件，與所述心軸件同軸設置，轉動設置于所述心軸件外壁，用于帶動其中一個所述末端執行器運動；
13、所述心軸件上至少開設第一氣道，所述第一驅動件上至少開設有第二氣道，每個所述末端執行器上均固定設置耗氣元件；所述第二氣道用于連通末端執行器的耗氣元件；
14、所述第一驅動件內壁設置有第一連接件，所述第一連接件內壁開設第一環槽，外壁開設有第二環槽，所述第一連接件側壁開設連接孔，所述連接孔兩端分別連通于所述第一環槽和所述第二環槽，所述第一氣道連通于所述第一環槽，所述第二氣道連通于所述第二環槽；所述供氣管路的氣體依次通入所述第一氣道、第一環槽、連接孔、第二環槽、第二氣道進入其中一個所述末端執行器的耗氣元件。
15、通過采用上述技術方案，由于末端執行器會轉動，通過轉動的第一驅動件和第一氣道、第二氣道進行供氣，即在傳輸部先末端執行器傳輸氣體的過程中可以不使用管路，有效減小了在末端執行器轉動時，管路自身扭曲或發生纏繞的情況，不會干涉末端執行器轉動過程的進行，同時可以滿足氣路隨著每個末端執行器的無限回轉進行適應動作。
16、可選的，所述心軸件上開設有第三氣道，所述第一驅動件上開設有第四氣道，所述第三氣道與所述第四氣道通過所述第一連接件連通，所述第一驅動件外部設置有輸出部，所述輸出部用于連接另一個所述末端執行器，所述第四氣道連通于所述輸出部；所述供氣管路的氣體通入所述第三氣道，再通過所述第四氣道后進入所述輸出部，以進入另一個所述末端執行器的耗氣元件。
17、通過采用上述技術方案，由于設置第一氣道和第三氣道，即在傳輸部上設置有兩條氣路，使傳輸部能夠對多個末端執行器進行氣體傳輸，在此過程中，不會發生多個末端執行器管路纏繞的情況，同時不會干涉多個末端執行器的轉動，還滿足了每組氣路均可以隨著每個末端執行器的無限回轉進行適應動作。
18、可選的，所述第一環槽至少設置有兩個，所述第二環槽至少設置有兩個，所述第一氣道與所述第三氣道分別連通于兩所述第一環槽，所述第二氣道與所述第四氣道分別連通于兩所述第二環槽。
19、通過采用上述技術方案，第一環槽與第二環槽均設置兩個，使對于兩末端執行器的供氣過程各自獨立，可以分別控制兩末端執行器的供氣過程，便于晶圓搬運過程的進行。
20、可選的，所述輸出部包括同軸設置的第二驅動件和第二連接件，所述第二連接件與所述第一驅動件均轉動設置于所述第一驅動件外壁，所述第二驅動件設置于所述第二連接件外壁，所述第二驅動件上開設有第五氣道，所述第五氣道用于與另一個所述末端執行器的耗氣元件連通，所述第五氣道與所述第四氣道通過所述第二連接件連通。
21、通過采用上述技術方案，在第二連接件的作用下，在第一驅動件和第二驅動件轉動的過程中，第四氣道和第五氣道仍然保持連通，便于對末端執行器供氣過程的進行。
22、可選的，所述第二連接件內壁至少開設有第三環槽，外壁至少開設有第四環槽，所述第二連接件上開設有連通孔，所述連通孔兩端分別與所述第三環槽、所述第四環槽連通；所述第四氣道連通于所述第三環槽，所述第五氣道一端連通于所述第四環槽，另一端用于連通末端執行器的耗氣元件；氣體依次通過所述第三氣道、所述第四氣道、所述第五氣道進入另一個末端執行器的耗氣元件。
23、通過采用上述技術方案，氣體依次通過第三氣道、第四氣道、第五氣道進入末端執行器的耗氣元件，第二連接件保證第四氣道和第五氣道的連通，便于對末端執行器供氣過程的進行，同時如此設置不會干涉末端執行器的轉動，在末端執行器轉動過程中，供氣管路也不會發生纏繞。
24、第二方面，本專利技術還提供一種晶圓搬運裝置，至少包括末端執行器、第一臂、第二臂、主支撐體和供氣組件；
25、所述主供應結構固定設置于所述主支撐體內部，所述傳輸部設置于所述第一臂的腕部關節處，所述末端執行器連接于所述傳輸部；所述供氣管路經過所述主支撐體、第二臂和第一臂連接于所述傳輸部，所述傳輸部連接并連通于所述末端執行器的耗氣元件。
26、通過采用上述技術方案，在晶圓搬運過程中，通過供氣組件對末端執行器進行供氣，同時主支撐體對末端執行器進行支撐，便于晶圓搬運過程的進行。
27、可選的，還包括驅動組件，所述驅動組件包括至少兩直驅電機，兩所述直驅電機分別連接于所述第一驅動件、所述第二驅動件，所述電機用于帶動本文檔來自技高網...
【技術保護點】
1.一種供氣組件，應用于晶圓搬運裝置，所述晶圓搬運裝置包括至少兩個可發生相對轉動的末端執行器(120)，兩個所述末端執行器(120)上均設置耗氣元件(550)，且每個所述末端執行器(120)可沿順時針或逆時針方向持續無限回轉，其特征在于，所述供氣組件包括：
2.根據權利要求1所述的供氣組件，其特征在于，所述傳輸部(500)包括：
3.根據權利要求2所述的供氣組件，其特征在于，所述心軸件(501)上開設有第三氣道(505)，所述第一驅動件(502)上開設有第四氣道(506)，所述第三氣道(505)與所述第四氣道(506)通過所述第一連接件(510)連通，所述第一驅動件(502)外部設置有輸出部(520)，所述輸出部(520)用于連接另一個所述末端執行器(120)，所述第四氣道(506)連通于所述輸出部(520)；所述供氣管路(411)的氣體通入所述第三氣道(505)，再通過所述第四氣道(506)后進入所述輸出部(520)，以進入另一個所述末端執行器(120)的耗氣元件(550)。
4.根據權利要求3所述的供氣組件，其特征在于，所述第一環槽(511
5.根據權利要求4所述的供氣組件，其特征在于，所述輸出部(520)包括同軸設置的第二驅動件(521)和第二連接件(522)，所述第二連接件(522)與所述第一驅動件(502)均轉動設置于所述第一驅動件(502)外壁，所述第二驅動件(521)設置于所述第二連接件(522)外壁，所述第二驅動件(521)上開設有第五氣道(507)，所述第五氣道(507)用于與另一個所述末端執行器(120)的耗氣元件(550)連通，所述第五氣道(507)與所述第四氣道(506)通過所述第二連接件(522)連通。
6.根據權利要求5所述的供氣組件，其特征在于，所述第二連接件(522)內壁至少開設有第三環槽(523)，外壁至少開設有第四環槽(524)，所述第二連接件(522)上開設有連通孔(525)，所述連通孔(525)兩端分別與所述第三環槽(523)、所述第四環槽(524)連通；所述第四氣道(506)連通于所述第三環槽(523)，所述第五氣道(507)一端連通于所述第四環槽(524)，另一端用于連通末端執行器(120)的耗氣元件(550)；氣體依次通過所述第三氣道(505)、所述第四氣道(506)、所述第五氣道(507)進入另一個所述末端執行器(120)的耗氣元件(550)。
7.一種晶圓搬運裝置，其特征在于，至少包括末端執行器(120)、主支撐體(100)、第一臂(110)、第二臂(200)和權利要求1-6任一所述的供氣組件；
8.根據權利要求7所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包括驅動組件，所述驅動組件包括至少兩直驅電機(150)，兩所述直驅電機(150)分別連接于所述第一驅動件(502)、所述第二驅動件(521)，所述電機用于帶動所述第一驅動件(502)、所述第二驅動件(521)轉動。
9.根據權利要求8所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包括供電組件，所述供電組件的線路穿過所述心軸件(501)，連接于所述末端執行器(120)上的電路元件。
10.一種氣路的走線方法，其特征在于，適用于權利要求9所述的晶圓搬運裝置，包括以下步驟：
...【技術特征摘要】
1.一種供氣組件，應用于晶圓搬運裝置，所述晶圓搬運裝置包括至少兩個可發生相對轉動的末端執行器(120)，兩個所述末端執行器(120)上均設置耗氣元件(550)，且每個所述末端執行器(120)可沿順時針或逆時針方向持續無限回轉，其特征在于，所述供氣組件包括：
2.根據權利要求1所述的供氣組件，其特征在于，所述傳輸部(500)包括：
3.根據權利要求2所述的供氣組件，其特征在于，所述心軸件(501)上開設有第三氣道(505)，所述第一驅動件(502)上開設有第四氣道(506)，所述第三氣道(505)與所述第四氣道(506)通過所述第一連接件(510)連通，所述第一驅動件(502)外部設置有輸出部(520)，所述輸出部(520)用于連接另一個所述末端執行器(120)，所述第四氣道(506)連通于所述輸出部(520)；所述供氣管路(411)的氣體通入所述第三氣道(505)，再通過所述第四氣道(506)后進入所述輸出部(520)，以進入另一個所述末端執行器(120)的耗氣元件(550)。
4.根據權利要求3所述的供氣組件，其特征在于，所述第一環槽(511)至少設置有兩個，所述第二環槽(512)至少設置有兩個，所述第一氣道(503)與所述第三氣道(505)分別連通于兩所述第一環槽(511)，所述第二氣道(504)與所述第四氣道(506)分別連通于兩所述第二環槽(512)。
5.根據權利要求4所述的供氣組件，其特征在于，所述輸出部(520)包括同軸設置的第二驅動件(521)和第二連接件(522)，所述第二連接件(522)與所述第一驅動件(502)均轉動設置于所述第一驅動件(502)外壁，所述第二驅動件(521)設置于所述第二連接件(522)外壁，所述第二...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱玉東，常志勇，侯雙明，劉春廷，
申請(專利權)人：中科芯微智能裝備沈陽有限公司，
類型：發明
國別省市：
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