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    平整度測試設(shè)備精度校正方法技術(shù)
    
                            
    技術(shù)編號：43759699 閱讀：15 留言：0更新日期：2024-12-24 16:03
    
                        
    
                        
    
                            
                            本申請公開了一種平整度測試設(shè)備精度校正方法，包括如下步驟：利用CCD相機獲取第一校準件的對稱中心的第一坐標；按預(yù)設(shè)的坐標差值，控制激光頭的光斑向第一坐標移動，接著使激光頭分別沿X方向及Y方向移動至第一校準件的邊界上，記錄激光頭測得的距離突變時的位置坐標，計算中心橫坐標值和中心縱坐標值，得到第一校準件的第一計算中心坐標；將第一計算中心坐標和第一坐標進行比較并計算差值，根據(jù)差值對激光頭的平面位置偏差進行補正；對激光頭的垂直度進行檢測并校正；控制激光頭的光斑再次移動至第一坐標，以再次進行平面坐標校正。本申請實施例中，可以計算出位置偏差值及傾斜角度來對激光頭進行校正。
    
                            
                            
    


    
                            

                            
    【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
    
                                
    本申請涉及平整度測試設(shè)備精度校正，特別涉及一種平整度測試設(shè)備精度校正方法。

    技術(shù)介紹
    1、相關(guān)技術(shù)中，平整度會影響到器件的貼裝，而常用的平整度測量方法為激光三角測量法。激光三角測量基于激光三角測量儀，激光三角測量儀產(chǎn)生平行且相干的激光束照射在被測物體上。當激光束照射到物體表面時，部分光線會被反射，這些反射光通過接收元件被接收，通過計算反射光線的角度和已知的激光三角測量儀中發(fā)射器與接收器之間的距離，可以計算出傳感器與物體之間的距離。
    2、在測量時，用于捕獲測量pad中心的是ccd鏡頭，而測量pad平整度的是激光三角測量儀，ccd鏡頭和激光三角測量儀兩者中心之間有一定的距離。兩者的工作方式為：ccd鏡頭抓取到pad的中心后，然后ccd鏡頭移動(按ccd鏡頭和激光三角測量儀中心的坐標差值)，讓激光三角測量儀移動到pad的中心位置。在三次元移動過程中，激光器的位置可能會發(fā)生移動，從而和ccd鏡頭位置發(fā)生偏差。
    3、此外，激光三角測量儀發(fā)出的激光必須與臺面的角度保持一致(例如激光與臺面垂直)，當角度在過程中因為異常原因(例如被碰撞或者固定部分松動)導(dǎo)致角度出現(xiàn)變化時，會影響到測量的高度數(shù)據(jù)，進而導(dǎo)致測量不準確。

    技術(shù)實現(xiàn)思路
    1、本申請旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一。為此，本申請?zhí)岢鲆环N平整度測試設(shè)備精度校正方法，能夠校正激光頭的位置精度和角度精度，以保證測量精度。
    2、根據(jù)本申請實施例的平整度測試設(shè)備精度校正方法，校正方法包括如下步驟：
    3、利用ccd相機獲取第一校準件的對稱中心的第一坐標；
    4、按預(yù)設(shè)的坐標差值，控制激光頭的光斑向第一坐標移動，接著使激光頭分別沿x方向及y方向移動至第一校準件的邊界上，記錄激光頭測得的距離突變時的位置坐標，計算中心橫坐標值和中心縱坐標值，得到第一校準件的第一計算中心坐標；
    5、將第一計算中心坐標和第一坐標進行比較并計算差值，根據(jù)差值對激光頭的平面位置偏差進行補正；
    6、對激光頭的垂直度進行檢測并校正；
    7、控制激光頭的光斑再次移動至第一坐標，以再次進行平面坐標校正。
    8、進一步地，所述利用ccd相機獲取第一校準件的對稱中心的第一坐標這一步驟，包括：利用ccd相機抓取第一校準件的外周輪廓，控制ccd相機移動至第一校準件的正上方，此時，ccd相機所在位置的平面坐標為第一坐標的平面坐標。
    9、進一步地，第一校準件為棱臺，所述對激光頭的垂直度進行檢測并校正這一步驟，包括：
    10、控制激光頭的光斑對棱臺的各條斜邊的中點進行掃描，同時獲取被掃描位置的高度坐標，記錄掃描過程中高度坐標突變位置時的平面坐標值，計算同一斜面上兩個高度坐標突變的掃描點的水平距離l1；
    11、根據(jù)水平距離l1以及該斜面的理論中線長度計算激光光斑軌跡與斜面的夾角；
    12、根據(jù)夾角計算出激光頭的偏斜角度；
    13、根據(jù)計算得到的偏斜角度對激光頭進行垂直度校正。
    14、進一步地，棱臺的頂端面邊長為d，棱臺的底端面的邊長為d，棱臺的斜邊與底端面的夾角為45°。
    15、進一步地，斜面的理論中線的長度為(d+d)/2，斜面上激光掃描的實際中線和斜面的理論中線的距離為h，激光頭相較于豎直方向的偏斜角度為α＝arcsin(h*sin45°/c)，其中，當時，當時，
    16、進一步地，標定系統(tǒng)還包括第二校準件及連接體，第一校準件和第二校準件均為正2n邊形棱柱，其中，n≥2，第一校準件和第二校準件的高度差為h，h大于0，連接體的高度分別小于第一校準件和第二校準件的高度。
    17、進一步地，所述對激光頭的垂直度進行檢測并校正這一步驟，包括：
    18、利用ccd相機獲取第二校準件的頂端面的對稱中心的第二坐標；
    19、控制激光頭移動至第二坐標處，判斷激光頭的光斑是否在中心位置，以確定激光頭的垂直度是否產(chǎn)生偏移。
    20、進一步地，第二校準件的頂端面設(shè)置有多個角度刻度標識環(huán)，多個角度刻度標識環(huán)與第二校準件的頂端面的中心位置同心設(shè)置。
    21、進一步地，所述對激光頭的垂直度進行檢測并校正這一步驟，還包括：
    22、控制所述激光頭的光斑移動至所述第二坐標處，使所述激光頭分別沿x方向及y方向移動至所述第一校準件的邊界上，記錄激光頭測得的距離突變時的位置坐標，然后計算第二校準件的中心橫坐標值和中心縱坐標值，得到第二校準件的第二計算中心坐標；
    23、根據(jù)第二坐標和第二計算中心坐標計算兩者中心坐標的距離l2；
    24、根據(jù)計算得到的距離l2及高度差h計算激光頭與豎直方向的夾角即偏斜角度，并根據(jù)計算得到的偏斜角度對激光頭進行角度進行校正。
    25、進一步地，激光頭和垂直于臺面方向的夾角為θ＝arctan(l2/h)。
    26、本申請實施例的平整度測試設(shè)備精度校正方法，至少具有如下有益效果：通過在第一校準件上進行校正，可以判斷出激光頭和ccd相機之間的實際平面坐標偏差值，也可以判斷出激光頭是否發(fā)生傾斜以及具體的傾斜角度，并可以根據(jù)計算出的位置偏差值及傾斜角度來對激光頭進行校正。如此，有助于保證激光頭測量的準確性。
    27、本申請的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本申請的實踐了解到。
    本文檔來自技高網(wǎng)    ...
                            
    
                            
    【技術(shù)保護點】
    
                                
    1.一種平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，校正方法包括如下步驟：
    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，所述利用CCD相機獲取第一校準件的對稱中心的第一坐標這一步驟，包括：利用CCD相機抓取第一校準件的外周輪廓，控制CCD相機移動至第一校準件的正上方，此時，CCD相機所在位置的平面坐標為第一坐標的平面坐標。
    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，第一校準件為棱臺，所述對激光頭的垂直度進行檢測并校正這一步驟，包括：
    4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，棱臺的頂端面邊長為d，棱臺的底端面的邊長為D，棱臺的斜邊與底端面的夾角為45°。
    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，斜面的理論中線的長度為(D+d)/2，斜面上激光掃描的實際中線和斜面的理論中線的距離為h，激光頭相較于豎直方向的偏斜角度為α＝arcsin(h*sin45°/c)，
    6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，標定系統(tǒng)還包括第二校準件及連接體，第一校準件和第二校準件均為正2N邊形棱柱，其中，N≥2，第一校準件和第二校準件的高度差為H，H大于0，連接體的高度分別小于第一校準件和第二校準件的高度。
    7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，所述對激光頭的垂直度進行檢測并校正這一步驟，包括：
    8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，第二校準件的頂端面設(shè)置有多個角度刻度標識環(huán)，多個角度刻度標識環(huán)與第二校準件的頂端面的中心位置同心設(shè)置。
    9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，所述對激光頭的垂直度進行檢測并校正這一步驟，還包括：
    10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，激光頭和垂直于臺面方向的夾角為θ＝arctan(L2/H)。
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    【技術(shù)特征摘要】
    
                                
    1.一種平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，校正方法包括如下步驟：
    2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，所述利用ccd相機獲取第一校準件的對稱中心的第一坐標這一步驟，包括：利用ccd相機抓取第一校準件的外周輪廓，控制ccd相機移動至第一校準件的正上方，此時，ccd相機所在位置的平面坐標為第一坐標的平面坐標。
    3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，第一校準件為棱臺，所述對激光頭的垂直度進行檢測并校正這一步驟，包括：
    4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，棱臺的頂端面邊長為d，棱臺的底端面的邊長為d，棱臺的斜邊與底端面的夾角為45°。
    5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的平整度測試設(shè)備精度校正方法，其特征在于，斜面的理論中線的長度為(d+d)/2，斜面上激光掃描的實際中線和斜面的理論中線的距離為h，激光頭相較于豎直方向的偏斜角度為α＝arcsi...
                            
    
                            
    【專利技術(shù)屬性】
    
                                技術(shù)研發(fā)人員：徐勝，易雁，葉蘇銀，秦清，
    
        申請(專利權(quán))人：生益電子股份有限公司，
    
        類型：發(fā)明
    
        國別省市：
    
                            
    
                            
                        
    
                    
    
                    
                    
                     
                
    
                
                
    
                    
    
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