【技術(shù)實現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)屬于壓力設(shè)備輔助測量，具體涉及一種可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置。
技術(shù)介紹
1、隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，真空技術(shù)在各個領(lǐng)域的應(yīng)用越來越廣泛，如半導(dǎo)體制造、航天航空、核聚變研究等。在這些應(yīng)用中，真空設(shè)備的性能對整個系統(tǒng)的運行效果起著至關(guān)重要的作用。其中監(jiān)測真空設(shè)備性能一個重要部件：壓力傳感器。壓力傳感器需要定期進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保其測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。校準(zhǔn)是一個通過與已知準(zhǔn)確度的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備進(jìn)行比較，來確定測量設(shè)備準(zhǔn)確度的過程。如果壓力測量設(shè)備沒有定期校準(zhǔn)，可能會導(dǎo)致測量誤差，從而引發(fā)如產(chǎn)品質(zhì)量、設(shè)備安全、科研誤差等。
2、現(xiàn)有技術(shù)中，在對壓力測量設(shè)備需要校準(zhǔn)時，通常定期將其從原設(shè)備上進(jìn)行拆除，并送檢至計量部門，但是送檢周期較長，需要等待檢測結(jié)果和計量部門出具證書，還需要支付一定的費用，送檢成本較高，并且送檢需要從原有設(shè)備上拆除壓力傳感器，會破壞設(shè)備的密封性，導(dǎo)致空氣或其它氣體進(jìn)入設(shè)備，影響設(shè)備的正常運行，適應(yīng)性差，實用性差。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本技術(shù)實施例提供一種可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，旨在能夠解決現(xiàn)有的壓力計校準(zhǔn)方式實用性差的問題。
2、為實現(xiàn)上述目的，本技術(shù)采用的技術(shù)方案是：提供一種可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，包括：
3、密封桶，具有密封腔，所述密封桶用于設(shè)置在真空設(shè)備內(nèi)；所述密封桶上設(shè)有供繩索掛接的吊環(huán)；
4、壓力校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述密封腔內(nèi)，用于測量真空設(shè)備內(nèi)的壓力。。
5、
6、固定架，固設(shè)在所述密封腔中；
7、壓力感應(yīng)模塊，固設(shè)在所述固定架上，具有穿過所述密封桶側(cè)壁且與外部連通的檢測口；
8、電源，固設(shè)在所述密封腔中，且與所述壓力感應(yīng)模塊電性連接；
9、配套的控制器。
10、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述檢測口內(nèi)設(shè)有防塵件。
11、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述防塵件為銅燒結(jié)濾芯。
12、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述密封桶包括筒體及密封蓋，所述筒體與所述密封蓋共同構(gòu)成所述密封腔，所述密封蓋上設(shè)有所述吊環(huán)；
13、其中，所述密封蓋上設(shè)有供所述檢測口穿過的通孔。
14、在一種可能的實現(xiàn)方式中，所述密封桶與所述密封蓋為法蘭連接。
15、本實現(xiàn)方式中，與現(xiàn)有技術(shù)相比，設(shè)置了密封桶，可以通過密封桶上的吊環(huán)連接繩索，將密封桶防止在真空設(shè)備內(nèi)；在密封桶內(nèi)設(shè)置了壓力校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，可以測量真空設(shè)備內(nèi)的壓力，可以避免定期將原設(shè)備上的壓力測量設(shè)備進(jìn)行拆除送檢，適應(yīng)性好，實用性好。
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1.可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述壓力校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括：
3.如權(quán)利要求2所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述檢測口內(nèi)設(shè)有防塵件。
4.如權(quán)利要求3所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述防塵件為銅燒結(jié)濾芯。
5.如權(quán)利要求2所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述密封桶包括筒體及密封蓋，所述筒體與所述密封蓋共同構(gòu)成所述密封腔，所述密封蓋上設(shè)有所述吊環(huán)；
6.如權(quán)利要求5所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述密封桶與所述密封蓋為法蘭連接。
【技術(shù)特征摘要】
1.可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述壓力校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)包括：
3.如權(quán)利要求2所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力計校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述檢測口內(nèi)設(shè)有防塵件。
4.如權(quán)利要求3所述的可移動式無線碳化硅生長設(shè)備壓力...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳滿，鄭向光，劉春播，劉騰飛，閆猛，
申請(專利權(quán))人：河北同光半導(dǎo)體股份有限公司，
類型：新型
國別省市：
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