【技術實現步驟摘要】
本技術涉及硅片、半導體加工設備，具體為一種上料托夾爪。
技術介紹
1、硅片作為一種很好的導電材料，可以廣泛地應用在半導體、太陽能電池等
硅片后期的加工一般包括倒角、清洗、甩干等步驟。
2、在現有技術的加工工藝中，在對硅片逐片進行定位檢測、倒角加工和清洗甩干等多個加工工序時，需要通過轉移機構將硅片在兩個工位之間轉運。
3、現有的轉運設備通過夾持設備夾持裝有硅片的料托完成轉運，現有的夾持設備的兼容性不夠，不能適應不同工位的料托，需要對不同規格的料托設計相應的夾持機構；
4、其次，料托結構比較復雜，設有定位機構對硅片進行限位，防止硅片灑落，在取放硅片時需要定位機構，導致轉運效率降低。
5、因此，我們提出一種上料托夾爪，為匹配料托在其承載水箱的傾斜狀態以及承載、定位等綜合工況，故設計處此新型式樣的夾爪結構，來滿足特殊工況下的料托抓、取動作。
技術實現思路
1、本技術的目的在于提供一種上料托夾爪，以解決上述
技術介紹
中提出的問題。
2、為實現上述目的，本技術提供如下技術方案：一種上料托夾爪，包括：夾爪主體和料托，所述夾爪主體包含兩個相對滑動的夾爪臂以及驅動夾爪臂直線移動的氣缸；
3、所述夾爪臂上設有壓緊氣缸，壓緊氣缸設有伸縮壓頭；
4、所述料托設有側擋板和斜面底托，硅片疊放在斜面底托上。
5、優選的，所述夾爪主體包含上臺板和下臺板，上臺板和下臺板固定連接，下臺板上開設有滑槽。
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7、優選的，所述夾爪臂下端固定安裝爪頭。
8、優選的，所述上臺板下表面還固定安裝兩個夾爪驅動氣缸，夾爪驅動氣缸驅動滑塊沿著工字滑軌滑動。
9、優選的，所述上臺板和下臺板之間貫穿有檢測桿。
10、優選的，所述料托兩側面設有爪孔，爪孔與爪頭插接配合。
11、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
12、1、將夾爪主體與上位轉運機械臂裝配，通過夾爪驅動氣缸驅動夾爪臂完成對料托的抓取，同時壓緊氣缸驅動伸縮壓頭將料托壓緊在爪頭上，進而實現對裝有硅片的料托的抓取轉運，使硅片轉運過程中更穩定，可配合上位轉運機械臂，全程兼容各個工位的自動化設備，提高硅片的轉運安全性和效率；
13、2、料托設有側擋板和斜面底托，側擋板和斜面底托配合完成對硅片的收納，無需定位機構，在取放硅片時非常便捷，轉運也更安全。
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1.一種上料托夾爪，包括：夾爪主體(1)和料托(2)，其特征在于：所述夾爪主體(1)包含兩個相對滑動的夾爪臂(15)以及驅動夾爪臂(15)直線移動的氣缸；
2.根據權利要求1所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述夾爪主體(1)還包含上臺板(11)和下臺板(12)，上臺板(11)和下臺板(12)固定連接，下臺板(12)上開設有滑槽。
3.根據權利要求2所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述上臺板(11)下表面固定安裝有工字滑軌(111)，工字滑軌(111)上對稱滑動吊裝滑塊(16)，滑塊(16)下表面固定安裝套件(17)，套件(17)下表面固定安裝夾爪臂(15)。
4.根據權利要求3所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述夾爪臂(15)下端固定安裝爪頭(151)。
5.根據權利要求2所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述上臺板(11)下表面還固定安裝兩個夾爪驅動氣缸(13)，夾爪驅動氣缸(13)驅動滑塊(16)沿著工字滑軌(111)滑動。
6.根據權利要求2所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述上臺板(11)和下臺板(12)
7.根據權利要求1所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述料托(2)兩側面設有爪孔(21)，爪孔(21)與爪頭(151)插接配合。
...【技術特征摘要】
1.一種上料托夾爪，包括：夾爪主體(1)和料托(2)，其特征在于：所述夾爪主體(1)包含兩個相對滑動的夾爪臂(15)以及驅動夾爪臂(15)直線移動的氣缸；
2.根據權利要求1所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述夾爪主體(1)還包含上臺板(11)和下臺板(12)，上臺板(11)和下臺板(12)固定連接，下臺板(12)上開設有滑槽。
3.根據權利要求2所述的一種上料托夾爪，其特征在于，所述上臺板(11)下表面固定安裝有工字滑軌(111)，工字滑軌(111)上對稱滑動吊裝滑塊(16)，滑塊(16)下表面固定安裝套件(17)，套件(17)下表面固定安裝夾爪臂...
【專利技術屬性】
技術研發人員：陳燕，
申請(專利權)人：上海友電綠能自動化有限公司，
類型：新型
國別省市：
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