【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體設(shè)備，特別涉及一種壓邊裝置及光刻設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、在承片臺(tái)中，用于吸附固定硅片的裝置稱之為吸盤，吸盤又被定位且吸附在承片臺(tái)的核心部件基座上表面，保證光刻過程中硅片能隨工件臺(tái)分系統(tǒng)的移動(dòng)，按照預(yù)定的路線和速度到達(dá)正確的位置。硅片的吸附主要包括靜電吸附和真空吸附，靜電吸附流程復(fù)雜，成本高，而真空吸附利用真空進(jìn)行接觸式吸附，實(shí)現(xiàn)容易，成本低，是目前半導(dǎo)體光刻設(shè)備中常用的硅片吸附方式。
2、隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展，加工商對(duì)半導(dǎo)體加工設(shè)備的需求越來越繁多，基板的封裝就是對(duì)光刻機(jī)其中的一個(gè)需求，但需要封裝的基板尺寸大且硬度高，在整個(gè)制造工藝過程中很容易發(fā)生邊緣翹曲問題。當(dāng)有些邊緣翹曲基板被交接到工件臺(tái)上時(shí)，邊緣翹曲部分無法與吸盤面貼合，當(dāng)工件臺(tái)開啟真空吸附基板時(shí)，邊緣翹曲部分無法被正常吸附，此部分的真空閾值往往達(dá)不到工作設(shè)定值，所以常常造成工件臺(tái)無法正常工作。
3、目前大多廠商選擇采用驅(qū)動(dòng)單元帶動(dòng)壓條下壓的方式來對(duì)基板的邊緣翹曲部分進(jìn)行按壓，從而使得基板的邊緣區(qū)域的真空吸附閾值可以達(dá)到工作設(shè)定值。可理解的，在驅(qū)動(dòng)單元帶動(dòng)壓條下壓來將基板的邊緣由翹曲狀按壓為平直狀的過程中，基板的邊緣相應(yīng)地會(huì)給壓條施加反作用力，但是，現(xiàn)有的按壓方式中，壓條通常是實(shí)心結(jié)構(gòu)，且壓條與驅(qū)動(dòng)單元是相對(duì)固定的，二者之間無法通過外力產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，這便導(dǎo)致了基板施加給壓條的反作用力將會(huì)越來越大，基板和壓條之間的相互作用力越來越大，基板和壓條之間的動(dòng)摩擦將越來越大，這將會(huì)導(dǎo)致壓條嚴(yán)重磨損基板的邊緣表面，不利于提高機(jī)臺(tái)工作的穩(wěn)定性
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)的目的在于提供一種壓邊裝置及光刻設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)基板的邊緣翹曲部分的按壓方式容易嚴(yán)重磨損基板的邊緣表面從而不利于機(jī)臺(tái)的工作穩(wěn)定性的問題。
2、為解決上述技術(shù)問題，基于本專利技術(shù)的一個(gè)方面，本專利技術(shù)提供一種壓邊裝置，其包括驅(qū)動(dòng)單元、壓邊單元和連接單元，所述壓邊單元通過所述連接單元與所述驅(qū)動(dòng)單元連接；
3、所述驅(qū)動(dòng)單元被配置為，在吸盤完成對(duì)基板的吸附后朝靠近所述基板的方向驅(qū)使所述壓邊單元移動(dòng)以對(duì)所述基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行按壓，從而對(duì)所述基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行整形。
4、所述連接單元被配置為，在所述壓邊單元對(duì)所述邊緣區(qū)域進(jìn)行整形并被所述邊緣區(qū)域驅(qū)動(dòng)時(shí)使得所述壓邊單元與所述驅(qū)動(dòng)單元之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
5、可選的，壓邊單元對(duì)基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行整形，以使得所述基板的邊緣區(qū)域的真空吸附閾值達(dá)到設(shè)定值，或者以使基板的邊緣區(qū)域的形狀達(dá)到預(yù)定的形狀。
6、可選的，所述壓邊單元和所述驅(qū)動(dòng)單元之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)包括直線相對(duì)運(yùn)動(dòng)，且直線運(yùn)動(dòng)的方向垂直所述壓邊單元的按壓方向，所述壓邊單元按壓所述邊緣區(qū)域時(shí)相對(duì)所述邊緣區(qū)域固定。
7、可選的，所述連接單元包括導(dǎo)軌和移動(dòng)件，所述移動(dòng)件可移動(dòng)地設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌固定在所述驅(qū)動(dòng)單元上，所述移動(dòng)件與所述壓邊單元連接。
8、可選的，所述壓邊單元與所述連接單元可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接，也即壓邊單元與連接單元的移動(dòng)件可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接。
9、可選的，所述壓邊裝置還包括復(fù)位單元，所述復(fù)位單元設(shè)置在驅(qū)動(dòng)單元上，并與所述壓邊單元連接；所述復(fù)位單元被配置為，在所述驅(qū)動(dòng)單元朝遠(yuǎn)離所述基板的方向驅(qū)使所述壓邊單元與所述邊緣區(qū)域分離后將所述壓邊單元的位置復(fù)位。
10、可選的，所述復(fù)位單元包括彈性拉伸件，所述彈性拉伸件的一端相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)單元固定，所述彈性拉伸件的另一端與所述移動(dòng)件連接。
11、可選的，所述復(fù)位單元還包括限位件，所述限位件固定在所述驅(qū)動(dòng)單元上，所述限位件用于與所述移動(dòng)件連接所述彈性拉伸件的一端抵接。
12、可選的，所述連接單元包括彈性連接件，所述彈性連接件的兩端分別連接所述壓邊單元和所述驅(qū)動(dòng)單元。
13、可選的，所述壓邊單元與所述連接單元可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接，也即壓邊單元與彈性連接件的一端可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接。
14、可選的，所述壓邊單元和所述驅(qū)動(dòng)單元之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)包括轉(zhuǎn)動(dòng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
15、可選的，壓邊單元的截面呈圓形，所述壓邊單元通過所述連接單元可轉(zhuǎn)動(dòng)地設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)單元上，也即壓邊單元與連接單元可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接。
16、可選的，所述壓邊單元的材料為彈性材料。
17、可選的，所述壓邊單元呈中空狀。
18、可選的，所述壓邊單元的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)所述壓邊單元呈環(huán)狀分布，所述驅(qū)動(dòng)單元為一個(gè)或多個(gè)，每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)使一個(gè)所述壓邊單元移動(dòng)或同時(shí)驅(qū)動(dòng)至少兩個(gè)所述壓邊單元移動(dòng)。
19、可選的，所述壓邊單元的數(shù)量為四個(gè)，并且呈矩形環(huán)狀分布。
20、可選的，所述驅(qū)動(dòng)單元包括安裝板和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述安裝板連接，所述壓邊單元通過所述連接單元與所述安裝板連接。
21、為解決上述技術(shù)問題，基于本專利技術(shù)的另一個(gè)方面，本專利技術(shù)還提供一種光刻設(shè)備，包括吸盤和如上所述的壓邊裝置，吸盤用于吸附基板。
22、綜上所述，在本專利技術(shù)提供的壓邊裝置及光刻設(shè)備中，壓邊裝置包括驅(qū)動(dòng)單元、壓邊單元和連接單元，壓邊單元通過連接單元與驅(qū)動(dòng)單元連接；驅(qū)動(dòng)單元被配置為，在吸盤完成對(duì)基板的吸附后朝靠近基板的方向驅(qū)使壓邊單元對(duì)基板的邊緣區(qū)域進(jìn)行按壓，以使邊緣區(qū)域的真空吸附閾值達(dá)到設(shè)定值；連接單元被配置為，在壓邊單元對(duì)邊緣區(qū)域進(jìn)行按壓并被邊緣區(qū)域驅(qū)動(dòng)時(shí)使得壓邊單元與驅(qū)動(dòng)單元之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。本專利技術(shù)的壓邊裝置中，壓邊單元通過連接單元與驅(qū)動(dòng)單元連接，通過連接單元使得壓邊單元和驅(qū)動(dòng)單元非固定連接，壓邊單元在受到外力時(shí)可與驅(qū)動(dòng)單元產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，如此，在驅(qū)動(dòng)單元驅(qū)使壓邊單元按壓基板的邊緣區(qū)域時(shí)，使得壓邊單元在受到基板的反作用力后與驅(qū)動(dòng)單元之間產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以對(duì)基板所施加的力進(jìn)行卸力，減小壓邊單元和基板之間的相互作用力，從而減小壓邊單元和基板之間的動(dòng)摩擦，降低基板的損耗程度，提高機(jī)臺(tái)工作的穩(wěn)定性。
23、需說明的是，由于所述的光刻設(shè)備包括所述的壓邊裝置，故而也具有所述壓邊裝置帶來的技術(shù)效果，這里不再重復(fù)說明。
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1.一種壓邊裝置，其特征在于，包括驅(qū)動(dòng)單元、壓邊單元和連接單元，所述壓邊單元通過所述連接單元與所述驅(qū)動(dòng)單元連接；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊單元和所述驅(qū)動(dòng)單元之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)包括直線相對(duì)運(yùn)動(dòng)，且直線運(yùn)動(dòng)的方向垂直所述壓邊單元的移動(dòng)方向，所述壓邊單元對(duì)所述邊緣區(qū)域整形時(shí)相對(duì)所述邊緣區(qū)域固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓邊裝置，其特征在于，所述連接單元包括導(dǎo)軌和移動(dòng)件，所述移動(dòng)件可移動(dòng)地設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌固定在所述驅(qū)動(dòng)單元上，所述移動(dòng)件與所述壓邊單元連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊裝置還包括復(fù)位單元，所述復(fù)位單元設(shè)置在驅(qū)動(dòng)單元上，并與所述壓邊單元連接；所述復(fù)位單元被配置為，在所述驅(qū)動(dòng)單元朝遠(yuǎn)離所述基板的方向驅(qū)使所述壓邊單元與所述邊緣區(qū)域分離后將所述壓邊單元的位置復(fù)位。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓邊裝置，其特征在于，所述復(fù)位單元包括彈性拉伸件，所述彈性拉伸件的一端相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)單元固定，所述彈性拉伸件的另一端與所述移動(dòng)件連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓邊裝置，其特
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓邊裝置，其特征在于，所述連接單元包括彈性連接件，所述彈性連接件的兩端分別連接所述壓邊單元和所述驅(qū)動(dòng)單元。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊單元和所述驅(qū)動(dòng)單元之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)包括轉(zhuǎn)動(dòng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的壓邊裝置，其特征在于，壓邊單元的截面呈圓形，所述壓邊單元與所述連接單元可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊單元的材料為彈性材料。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊單元呈中空狀。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊單元的數(shù)量為多個(gè)，且多個(gè)所述壓邊單元呈環(huán)狀分布，所述驅(qū)動(dòng)單元為一個(gè)或多個(gè)，每個(gè)所述驅(qū)動(dòng)單元用于驅(qū)使一個(gè)所述壓邊單元移動(dòng)或同時(shí)驅(qū)動(dòng)至少兩個(gè)所述壓邊單元移動(dòng)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊單元的數(shù)量為四個(gè)，并且呈矩形環(huán)狀分布。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓邊裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)單元包括安裝板和驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)與所述安裝板連接，所述壓邊單元通過所述連接單元與所述安裝板連接。
15.一種光刻設(shè)備，其特征在于，包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種壓邊裝置，其特征在于，包括驅(qū)動(dòng)單元、壓邊單元和連接單元，所述壓邊單元通過所述連接單元與所述驅(qū)動(dòng)單元連接；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊單元和所述驅(qū)動(dòng)單元之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)包括直線相對(duì)運(yùn)動(dòng)，且直線運(yùn)動(dòng)的方向垂直所述壓邊單元的移動(dòng)方向，所述壓邊單元對(duì)所述邊緣區(qū)域整形時(shí)相對(duì)所述邊緣區(qū)域固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓邊裝置，其特征在于，所述連接單元包括導(dǎo)軌和移動(dòng)件，所述移動(dòng)件可移動(dòng)地設(shè)置在所述導(dǎo)軌上，所述導(dǎo)軌固定在所述驅(qū)動(dòng)單元上，所述移動(dòng)件與所述壓邊單元連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓邊裝置，其特征在于，所述壓邊裝置還包括復(fù)位單元，所述復(fù)位單元設(shè)置在驅(qū)動(dòng)單元上，并與所述壓邊單元連接；所述復(fù)位單元被配置為，在所述驅(qū)動(dòng)單元朝遠(yuǎn)離所述基板的方向驅(qū)使所述壓邊單元與所述邊緣區(qū)域分離后將所述壓邊單元的位置復(fù)位。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的壓邊裝置，其特征在于，所述復(fù)位單元包括彈性拉伸件，所述彈性拉伸件的一端相對(duì)所述驅(qū)動(dòng)單元固定，所述彈性拉伸件的另一端與所述移動(dòng)件連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的壓邊裝置，其特征在于，所述復(fù)位單元還包括限位件，所述限位件固定在所述驅(qū)動(dòng)單元上，所述限位件用于與所述移動(dòng)件連接所述彈性拉伸件的一端抵接。
...【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陳文樞，楊博光，郎新科，王鑫鑫，蔡晨，冒鵬飛，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海微電子裝備集團(tuán)股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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