【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及晶圓片處理，具體是一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置。
技術(shù)介紹
1、晶圓片是半導(dǎo)體制造過程中的關(guān)鍵材料，它是由高純度、單晶硅制成的圓形薄片，晶圓片的主要功能是作為半導(dǎo)體器件和集成電路（ic）的基底，通過在表面進(jìn)行一系列的薄膜沉積、光刻、刻蝕和離子注入等工藝步驟，形成具有特定電路結(jié)構(gòu)和功能的半導(dǎo)體器件；晶圓片的直徑通常在100毫米到450毫米之間，最常用的是300毫米（12英寸）的晶圓片，晶圓片的尺寸越大，在同一片晶圓上能夠制造的芯片數(shù)量就越多，從而降低單個芯片的成本，晶圓片的純度、厚度、電阻率、表面粗糙度和晶體缺陷等參數(shù)對半導(dǎo)體器件的性能和可靠性具有重要影響。
2、申請?zhí)枮閏n202320559026.4的專利文件公開了一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其中，包括：機(jī)座；固定組件，固定設(shè)置在機(jī)座上，用于水平放置晶圓片；吹掃風(fēng)刀，設(shè)置在固定組件上方，吹掃風(fēng)刀內(nèi)部具有容納腔，吹掃風(fēng)刀一端具有向容納腔通入干燥介質(zhì)的接口，吹掃風(fēng)刀遠(yuǎn)離接口的一端具有條形風(fēng)口，接口、容納腔及條形風(fēng)口相互連通，條形風(fēng)口朝固定組件頂面傾斜，條形風(fēng)口的長度方向與晶圓片表面的溝槽方向垂直；平移導(dǎo)軌，對稱設(shè)置有兩組，吹掃風(fēng)刀可相對平移導(dǎo)軌水平移動；但是現(xiàn)有的晶圓片干燥設(shè)備在集成度方面存在局限性，難以完全融入晶圓片處理生產(chǎn)線，導(dǎo)致在晶圓片清洗完成后，需要單獨(dú)將其取出并進(jìn)行干燥處理，此種處理方式增加了生產(chǎn)過程的復(fù)雜性，降低了晶圓片的處理效率，同時也帶來了一定的不確定因素，在人工處理晶圓片的過程中，采用風(fēng)干的方式可能會導(dǎo)致灰塵侵入晶圓片內(nèi)部，導(dǎo)致晶圓片受
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)的目的在于提供一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，以解決上述
技術(shù)介紹
中提出的問題。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本技術(shù)提供如下技術(shù)方案：
3、一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，包括輸送帶，所述輸送帶的下端安裝有支撐架，所述輸送帶的中部設(shè)置有無塵干燥機(jī)構(gòu)，所述輸送帶的上方設(shè)置有承載機(jī)構(gòu)，所述無塵干燥機(jī)構(gòu)包括無塵倉、第一隔塵倉門和第一隔塵簾，所述輸送帶的中部固定安裝有無塵倉，所述無塵倉的左端固定安裝有第一隔塵倉門，所述第一隔塵倉門的內(nèi)部安裝有第一隔塵簾，三組所述第一隔塵簾分布在第一隔塵倉門的內(nèi)部。
4、可選的，所述無塵干燥機(jī)構(gòu)還包括第二隔塵倉門、第二隔塵簾、第一隔溫板、第一加熱板、第二隔溫板和第二加熱板，三組所述第二隔塵簾分布在第二隔塵倉門的內(nèi)部。
5、可選的，所述無塵倉的右端固定安裝有第二隔塵倉門，所述第二隔塵倉門的內(nèi)部安裝有第二隔塵簾。
6、可選的，所述無塵倉內(nèi)部的后端固定安裝有第一隔溫板，所述第一隔溫板的上端固定安裝有第一加熱板。
7、可選的，所述無塵倉內(nèi)部的前端固定安裝有第二隔溫板，所述第二隔溫板的上端固定安裝有第二加熱板。
8、可選的，所述承載機(jī)構(gòu)包括載板、第一安裝架、第二安裝架、載物網(wǎng)板、第一限位塊、第一限位軌、第二限位塊和第二限位軌，所述輸送帶的上方設(shè)置有載板。
9、可選的，所述載板的上端固定安裝有第一安裝架和第二安裝架，所述第一安裝架和第二安裝架之間安裝有載物網(wǎng)板。
10、可選的，所述第一安裝架和第二安裝架的后端固定安裝有第一限位塊，所述第一安裝架和第二安裝架的前端固定安裝有第二限位塊。
11、可選的，所述輸送帶的上端固定安裝有第一限位軌和第二限位軌，所述第一限位塊與第一限位軌滑動連接，所述第二限位塊與第二限位軌滑動連接。
12、可選的，所述載物網(wǎng)板上設(shè)置有晶圓片體。
13、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本技術(shù)的有益效果是：
14、1、本技術(shù)中，設(shè)置有無塵干燥機(jī)構(gòu)，無塵干燥機(jī)構(gòu)與晶圓片處理生產(chǎn)線完全集成，避免了傳統(tǒng)方式中需要單獨(dú)取出晶圓片進(jìn)行干燥的繁瑣操作，這使得晶圓片清洗和干燥過程能夠無縫銜接，提高了生產(chǎn)效率；無塵干燥機(jī)構(gòu)的內(nèi)部設(shè)有第一隔塵倉門、第一隔塵簾、第二隔塵倉門和第二隔塵簾，能有效隔絕外界灰塵，保持無塵倉內(nèi)的潔凈度，有助于提高晶圓片干燥的效果，減少塵埃顆粒對晶圓片的污染；由于無塵干燥機(jī)構(gòu)與生產(chǎn)線集成，承載機(jī)構(gòu)可以直接將晶圓片送入無塵倉進(jìn)行干燥處理，減少了人工處理環(huán)節(jié)，有助于降低晶圓片受到污染的風(fēng)險(xiǎn)，提高半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
15、2、本技術(shù)中，設(shè)置有承載機(jī)構(gòu)，承載機(jī)構(gòu)可以同時在輸送帶上輸送大量的晶圓片，大大提升了晶圓片的處理效率，降低了單個晶圓片的處理成本；承載機(jī)構(gòu)通過第一限位塊、第一限位軌、第二限位塊和第二限位軌精確控制載板在輸送帶上的位置，確保晶圓片在通過無塵干燥機(jī)構(gòu)時能夠準(zhǔn)確進(jìn)入預(yù)定位置，提高了干燥過程的可靠性；承載機(jī)構(gòu)的載物網(wǎng)板采用漏網(wǎng)結(jié)構(gòu)，有利于晶圓片表面的液體在干燥過程中快速蒸發(fā)。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，包括輸送帶（1），所述輸送帶（1）的下端安裝有支撐架（2），其特征在于：所述輸送帶（1）的中部設(shè)置有無塵干燥機(jī)構(gòu)（3），所述輸送帶（1）的上方設(shè)置有承載機(jī)構(gòu)（4），所述無塵干燥機(jī)構(gòu)（3）包括無塵倉（301）、第一隔塵倉門（302）和第一隔塵簾（303），所述輸送帶（1）的中部固定安裝有無塵倉（301），所述無塵倉（301）的左端固定安裝有第一隔塵倉門（302），所述第一隔塵倉門（302）的內(nèi)部安裝有第一隔塵簾（303），三組所述第一隔塵簾（303）分布在第一隔塵倉門（302）的內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述無塵干燥機(jī)構(gòu)（3）還包括第二隔塵倉門（304）、第二隔塵簾（305）、第一隔溫板（306）、第一加熱板（307）、第二隔溫板（308）和第二加熱板（309），三組所述第二隔塵簾（305）分布在第二隔塵倉門（304）的內(nèi)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述無塵倉（301）的右端固定安裝有第二隔塵倉門（304），所述第二隔塵倉門（3
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述無塵倉（301）內(nèi)部的后端固定安裝有第一隔溫板（306），所述第一隔溫板（306）的上端固定安裝有第一加熱板（307）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述無塵倉（301）內(nèi)部的前端固定安裝有第二隔溫板（308），所述第二隔溫板（308）的上端固定安裝有第二加熱板（309）。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述承載機(jī)構(gòu)（4）包括載板（401）、第一安裝架（402）、第二安裝架（403）、載物網(wǎng)板（404）、第一限位塊（405）、第一限位軌（406）、第二限位塊（407）和第二限位軌（408），所述輸送帶（1）的上方設(shè)置有載板（401）。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述載板（401）的上端固定安裝有第一安裝架（402）和第二安裝架（403），所述第一安裝架（402）和第二安裝架（403）之間安裝有載物網(wǎng)板（404）。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述第一安裝架（402）和第二安裝架（403）的后端固定安裝有第一限位塊（405），所述第一安裝架（402）和第二安裝架（403）的前端固定安裝有第二限位塊（407）。
9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述輸送帶（1）的上端固定安裝有第一限位軌（406）和第二限位軌（408），所述第一限位塊（405）與第一限位軌（406）滑動連接，所述第二限位塊（407）與第二限位軌（408）滑動連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述載物網(wǎng)板（404）上設(shè)置有晶圓片體（5）。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，包括輸送帶（1），所述輸送帶（1）的下端安裝有支撐架（2），其特征在于：所述輸送帶（1）的中部設(shè)置有無塵干燥機(jī)構(gòu)（3），所述輸送帶（1）的上方設(shè)置有承載機(jī)構(gòu)（4），所述無塵干燥機(jī)構(gòu)（3）包括無塵倉（301）、第一隔塵倉門（302）和第一隔塵簾（303），所述輸送帶（1）的中部固定安裝有無塵倉（301），所述無塵倉（301）的左端固定安裝有第一隔塵倉門（302），所述第一隔塵倉門（302）的內(nèi)部安裝有第一隔塵簾（303），三組所述第一隔塵簾（303）分布在第一隔塵倉門（302）的內(nèi)部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述無塵干燥機(jī)構(gòu)（3）還包括第二隔塵倉門（304）、第二隔塵簾（305）、第一隔溫板（306）、第一加熱板（307）、第二隔溫板（308）和第二加熱板（309），三組所述第二隔塵簾（305）分布在第二隔塵倉門（304）的內(nèi)部。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述無塵倉（301）的右端固定安裝有第二隔塵倉門（304），所述第二隔塵倉門（304）的內(nèi)部安裝有第二隔塵簾（305）。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所述無塵倉（301）內(nèi)部的后端固定安裝有第一隔溫板（306），所述第一隔溫板（306）的上端固定安裝有第一加熱板（307）。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于晶圓片清洗后的干燥裝置，其特征在于：所...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：陸先鋒，
申請(專利權(quán))人：無錫頌林達(dá)科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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