【技術實現步驟摘要】
本技術涉及拋光液配料領域,具體而言,涉及一種晶片拋光液配料桶。
技術介紹
1、晶片進行化學機械拋光時,需要定時更換拋光液,這樣能夠保證拋光液的化學穩定性和有效性,保證拋光液對于晶片的化學作用,進而保證晶片表面有良好的拋光效果。晶片拋光液在配料時需要使用配料桶進行配料,在晶片拋光液在制作時需要將多種物料進行混合,從而增加晶片拋光液的各種屬性,從而對晶片起到更好的研磨拋光效果。現有的晶片拋光液配料桶在上料時,無法對自動對多種晶片拋光液材料的進行進料,并且無法根據生產需求對多種晶片拋光液的進料速度進行調整,實用性較為一般,如何改善這些問題,成為了本領域技術人員亟待解決的問題。
技術實現思路
1、為了彌補以上不足,本技術提供了一種晶片拋光液配料桶,旨在改善現有的晶片拋光液配料桶在上料時,無法對自動對多種晶片拋光液材料的進行進料,并且無法根據生產需求對多種晶片拋光液的進料速度進行調整,實用性較為一般的問題。
2、本技術是這樣實現的:一種晶片拋光液配料桶,包括配料桶,所述配料桶上端安裝有配料調節機構,所述配料調節機構用于對多種晶片拋光液材料進行上料,并對上料速度進行調節,所述配料桶底端安裝有攪拌機構,所述攪拌機構用于對晶片拋光液進行攪拌。
3、在本技術的優選技術方案中,所述配料調節機構包括上料盒,所述上料盒固定安裝于所述配料桶上端內側,所述上料盒上端和一側開口設置,所述配料桶上端固定安裝有豎板,所述豎板上端固定安裝有橫板,所述橫板一側固定安裝有連接板,所述連接板設置有安
4、在本技術的優選技術方案中,所述傳動桶設置為螺紋套桶,所述從動桿設置為螺紋桿,所述傳動桶和所述從動桿螺紋連接,傳動桶轉動使得從動桿帶動擋板上升或下降。
5、在本技術的優選技術方案中,所述橫板底端轉動安裝有轉軸,所述橫板上端安裝有電機,所述轉軸通過電機傳動,所述轉軸和所述傳動桶外部套接有皮帶,電機帶動轉軸轉動,使得傳動桶轉動。
6、在本技術的優選技術方案中,所述上料盒內壁傾斜安裝有斜板。
7、在本技術的優選技術方案中,所述擋板一側固定安裝有滑塊,所述配料桶內壁設置有滑槽,所述滑塊滑動連接于滑槽內,用于增強擋板移動時的穩定性。
8、在本技術的優選技術方案中,所述配料桶外部連通安裝有排料管,所述排料管設置有電磁閥。
9、在本技術的優選技術方案中,所述攪拌機構包括轉動桿,所述轉動桿轉動安裝于所述配料桶內底端,所述轉動桿外部固定安裝有攪拌桿,所述攪拌桿設置有多組,所述配料桶底端安裝有第二電機,所述轉動桿通過第二電機傳動,第二電機傳動轉動桿使得第二電機對晶片拋光液進行攪拌。
10、在本技術的優選技術方案中,所述配料桶底端固定安裝有支撐桿,所述配料桶通過所述支撐桿配合底板進行支撐。
11、本技術的有益效果是:本技術通過上述設計得到的一種晶片拋光液配料桶,使用時,將晶片拋光液材料倒入多組上料盒內,通過上料盒和擋板形成的開口并通過斜板進行上料,當需要調整一種晶片拋光液材料的進料速度時,通過電機傳動轉軸,轉軸轉動使得傳動桶轉動,傳動桶轉動使得從動桿帶動擋板上下移動,使得上料盒和擋板形成的開口大小改變,使得晶片拋光液材料的上料速度改變,通過第二電機傳動轉動桿使得轉動桿對晶片拋光液進行攪拌。該裝置通過配料調節機構可以方便的對多種晶片拋光液材料進行上料速度的調整,方便對多種晶片拋光液材料的比例進行調整,自動化水平較高,增強了裝置的實用性。
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1.一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,包括配料桶,所述配料桶上端安裝有配料調節機構,所述配料調節機構用于對多種晶片拋光液材料進行上料,并對上料速度進行調節,所述配料桶底端安裝有攪拌機構,所述攪拌機構用于對晶片拋光液進行攪拌,所述配料調節機構包括上料盒,所述上料盒固定安裝于所述配料桶上端內側,所述上料盒上端和一側開口設置,所述配料桶上端固定安裝有豎板,所述豎板上端固定安裝有橫板,所述橫板一側固定安裝有連接板,所述連接板設置有安裝孔且安裝孔內轉動安裝有傳動桶,所述傳動桶內壁傳動連接有從動桿,所述從動桿底端固定連接有擋板,所述擋板兩側和所述上料盒內側滑動密封貼合。
2.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述傳動桶設置為螺紋套桶,所述從動桿設置為螺紋桿,所述傳動桶和所述從動桿螺紋連接。
3.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述橫板底端轉動安裝有轉軸,所述橫板上端安裝有電機,所述轉軸通過電機傳動,所述轉軸和所述傳動桶外部套接有皮帶。
4.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述上料盒內壁傾斜安裝
5.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述擋板一側固定安裝有滑塊,所述配料桶內壁設置有滑槽,所述滑塊滑動連接于滑槽內。
6.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述配料桶外部連通安裝有排料管,所述排料管設置有電磁閥。
7.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述攪拌機構包括轉動桿,所述轉動桿轉動安裝于所述配料桶內底端,所述轉動桿外部固定安裝有攪拌桿,所述攪拌桿設置有多組,所述配料桶底端安裝有第二電機,所述轉動桿通過第二電機傳動。
8.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述配料桶底端固定安裝有支撐桿,所述配料桶通過所述支撐桿配合底板進行支撐。
...【技術特征摘要】
1.一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,包括配料桶,所述配料桶上端安裝有配料調節機構,所述配料調節機構用于對多種晶片拋光液材料進行上料,并對上料速度進行調節,所述配料桶底端安裝有攪拌機構,所述攪拌機構用于對晶片拋光液進行攪拌,所述配料調節機構包括上料盒,所述上料盒固定安裝于所述配料桶上端內側,所述上料盒上端和一側開口設置,所述配料桶上端固定安裝有豎板,所述豎板上端固定安裝有橫板,所述橫板一側固定安裝有連接板,所述連接板設置有安裝孔且安裝孔內轉動安裝有傳動桶,所述傳動桶內壁傳動連接有從動桿,所述從動桿底端固定連接有擋板,所述擋板兩側和所述上料盒內側滑動密封貼合。
2.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述傳動桶設置為螺紋套桶,所述從動桿設置為螺紋桿,所述傳動桶和所述從動桿螺紋連接。
3.根據權利要求1所述的一種晶片拋光液配料桶,其特征在于,所述橫板底端轉動安裝有轉軸,所述橫板上端安裝有電...
【專利技術屬性】
技術研發人員:高如山,
申請(專利權)人:天津西美半導體材料有限公司,
類型:新型
國別省市:
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