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【技術實現步驟摘要】
本申請涉及涂層,尤其涉及一種涂料組合物、涂層、涂層的制備方法及應用。
技術介紹
1、topcon太陽能電池加工的核心流程就是制作隧穿氧化層與多晶硅層的工藝,以上兩種膜層的制備方式可以分為低壓化學氣相沉積(lpcvd)、等離子體增強化學氣相沉積(pecvd)和物理氣相沉積(pvd)。lpcvd工藝是利用lpcvd設備通過熱氧化方式生長氧化硅層并沉積多晶硅。
2、lpcvd是在低壓條件下沉積α-si/多晶硅層的重要工藝之一。在此工藝中,由于在沉積過程中需要向爐管內通入反應所需的工藝氣體,因此需要將氣體通過進氣管輸送到爐管的對應位置,進氣管通常為金屬;另外由于氣體發(fā)生反應,需要高溫環(huán)境,需要對爐門進行密封,且進出舟時會有很大溫差,所以在爐管口附近通常需要放置一定數量的金屬隔熱片來阻擋爐內的熱量直接沖擊到外部,阻隔一定的熱量。但是,由于工藝氣體在爐管內會發(fā)生沉積多晶硅的反應,所以會造成進氣管及金屬隔熱板表面沉積大量的多晶硅層,多晶硅層對進氣管及金屬隔熱板這類金屬材料會造成嚴重的侵蝕,進而發(fā)生零部件的失效,降低零部件的使用壽命,提高成本。另外,附著在進氣管及金屬隔熱板表面的多晶硅層很容易發(fā)生脫落,進而造成工藝污染。除了進氣管和隔熱片外,金屬爐管、勻流桶、勻流板等零部件也會存在以上問題。
技術實現思路
1、有鑒于此,為了解決以上缺陷中的至少之一,有必要提出一種涂料組合物及采用該涂料組合物形成的涂層,該涂層具有強吸附性,能夠提高基體與沉積的多晶硅的結合力,有效降低多晶硅脫落的風險。<
...【技術保護點】
1.一種涂料組合物,其特征在于,包括:50wt%~90wt%的復合填料以及5wt%~30wt%的碳化硅,其中,所述復合填料由填料原料經燒結形成,所述填料原料包括:二氧化硅、氧化鋁、組分A、組分B以及組分C,所述組分A包括氧化硼、氧化鈉和氧化鉀中的至少一種,所述組分B包括氧化鈣、氧化鎂和氧化鋯中的至少一種,所述組分C包括氧化鎳和氧化鈷中的至少一種。
2.根據權利要求1所述的涂料組合物,其特征在于,所述填料原料包括:
3.根據權利要求1所述的涂料組合物,其特征在于,所述復合填料的平均顆粒粒徑為10μm~150μm。
4.根據權利要求1所述的涂料組合物,其特征在于,還包括:1wt%~10wt%的分散劑以及1wt%~10wt%的成膜劑,
5.一種涂層,其特征在于,所述涂層由權利要求1至4中任一項所述的涂料組合物經固化形成。
6.一種涂層的制備方法,其特征在于,包括:
7.根據權利要求6所述的涂層的制備方法,其特征在于,所述第一次燒結的溫度為1000℃~1400℃,時間為10min~60min;及/或
8.
9.根據權利要求6所述的涂層的制備方法,其特征在于,所述填料原料包括:
10.一種鍍膜設備,其特征在于,包括加熱裝置和設于所述加熱裝置內的金屬零部件,所述金屬零部件具有涂層,所述涂層為如權利要求5所述的涂層或由權利要求6至9中任一項所述的涂層的制備方法得到的涂層。
...【技術特征摘要】
1.一種涂料組合物,其特征在于,包括:50wt%~90wt%的復合填料以及5wt%~30wt%的碳化硅,其中,所述復合填料由填料原料經燒結形成,所述填料原料包括:二氧化硅、氧化鋁、組分a、組分b以及組分c,所述組分a包括氧化硼、氧化鈉和氧化鉀中的至少一種,所述組分b包括氧化鈣、氧化鎂和氧化鋯中的至少一種,所述組分c包括氧化鎳和氧化鈷中的至少一種。
2.根據權利要求1所述的涂料組合物,其特征在于,所述填料原料包括:
3.根據權利要求1所述的涂料組合物,其特征在于,所述復合填料的平均顆粒粒徑為10μm~150μm。
4.根據權利要求1所述的涂料組合物,其特征在于,還包括:1wt%~10wt%的分散劑以及1wt%~10wt%的成膜劑,
5.一種涂層,其特征...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員:黃小琳,盧俊林,嚴祥銀,張武,
申請(專利權)人:拉普拉斯新能源科技股份有限公司,
類型:發(fā)明
國別省市:
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