【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體封裝，尤其是涉及一種大尺寸高精度的固晶機(jī)。
技術(shù)介紹
1、固晶技術(shù)是一種在半導(dǎo)體封裝過(guò)程中非常重要的技術(shù)，它涉及將半導(dǎo)體芯片精確地固定在膜材或基板上。這一過(guò)程通常使用粘合劑，如導(dǎo)電膠或絕緣膠，來(lái)實(shí)現(xiàn)芯片與膜材之間的粘接，同時(shí)形成熱通路或電通路，為后續(xù)的打線連接提供條件。
2、隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，固晶技術(shù)不斷進(jìn)步，但對(duì)于大尺寸膜材的固晶，仍存在效率和精度的問(wèn)題。目前市場(chǎng)上的固晶設(shè)備大多針對(duì)小尺寸材料，對(duì)于大尺寸膜材的固晶需求，常規(guī)設(shè)備往往無(wú)法滿足。目前，針對(duì)大尺寸膜材的固晶，常規(guī)做法是采用多次定位、分段固晶的方式，或者采用特制的大尺寸固晶設(shè)備，但這些方法都存在效率低下、精度不高等問(wèn)題。多次定位、分段固晶影響生產(chǎn)效率和固晶精度，而特制的大尺寸固晶設(shè)備成本高昂，不利于廣泛應(yīng)用。
3、因此，有必要提出一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，以解決上述其中一技術(shù)問(wèn)題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了改善對(duì)大尺寸膜材的固晶的效率低下和精度不高等問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N大尺寸高精度的固晶機(jī)。
2、本申請(qǐng)?zhí)峁┑囊环N大尺寸高精度的固晶機(jī)采用如下的技術(shù)方案：
3、一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，包括：
4、操作臺(tái)，所述操作臺(tái)上設(shè)置有龍門架；
5、真空吸附平臺(tái)，縱向滑動(dòng)設(shè)置在所述操作臺(tái)上，所述真空吸附平臺(tái)支撐并吸附膜材；
6、支撐組件，對(duì)應(yīng)所述真空吸附平臺(tái)的兩側(cè)分設(shè)在所述操作臺(tái)上，所述支撐組件用于支撐晶片，并將晶片進(jìn)行縱向或橫向位移；
7、頂針組件，設(shè)置在所述操作臺(tái)上，用于將晶片在所述支撐組件上頂起；以及
8、若干個(gè)固晶組件，設(shè)置在所述龍門架上，其中靠近所述真空吸附平臺(tái)的所述固晶組件橫向滑動(dòng)設(shè)置在所述龍門架上，若干個(gè)所述固晶組件之間配合著將晶片吸附至所述真空吸附平臺(tái)的膜材上，所述固晶組件包括安裝架、調(diào)節(jié)氣缸和取晶焊頭，所述安裝架設(shè)置在所述龍門架上，所述調(diào)節(jié)氣缸設(shè)置在所述安裝架上，所述調(diào)節(jié)氣缸的輸出端設(shè)置有拆裝盤，所述取晶焊頭可拆裝設(shè)置在所述拆裝盤上，用于對(duì)晶片拾取和放置；
9、點(diǎn)膠組件，安裝在所述龍門架上，用于對(duì)膜材上晶片安置處進(jìn)行點(diǎn)膠。
10、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，根據(jù)實(shí)際情況，選擇所需膜材大小，放置在所述真空吸附平臺(tái)上并進(jìn)行吸附，保持膜材的穩(wěn)定性，所述操作臺(tái)上對(duì)應(yīng)所述真空吸附平臺(tái)的兩側(cè)形成兩個(gè)上料工位，提高對(duì)大尺寸膜材晶片上料點(diǎn)膠效率，通過(guò)所述支撐組件支撐晶片，并能對(duì)晶片縱向或橫向位置移動(dòng)，晶片位置調(diào)整完成后，通過(guò)所述頂針組件將晶片從所述支撐組件上頂起，以便對(duì)應(yīng)上方的所述固晶組件進(jìn)行吸附，并通過(guò)可移動(dòng)的所述固晶組件將晶片直線轉(zhuǎn)移至膜材上，應(yīng)對(duì)大尺寸膜材，實(shí)現(xiàn)雙向多工位轉(zhuǎn)移晶片至膜材上，通過(guò)所述點(diǎn)膠組件在膜材對(duì)應(yīng)位置進(jìn)行點(diǎn)膠，以便實(shí)現(xiàn)大尺寸膜材的高效固晶，提高生產(chǎn)效率。
11、可選的，所述真空吸附平臺(tái)包括負(fù)壓吸板和安裝基臺(tái)，所述負(fù)壓吸板設(shè)置有若干個(gè)吸附孔，所述負(fù)壓吸板可劃分兩個(gè)區(qū)域，并兩個(gè)區(qū)域的所述吸附孔可獨(dú)自或同時(shí)進(jìn)行真空吸附，所述安裝基臺(tái)安裝在所述負(fù)壓吸板的底部?jī)蓚?cè)，所述操作臺(tái)上設(shè)置有縱向軌道，所述安裝基臺(tái)滑動(dòng)連接在所述縱向軌道上。
12、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，所述負(fù)壓吸板外接負(fù)壓設(shè)備產(chǎn)生負(fù)壓吸附，且通過(guò)將所述負(fù)壓吸板劃分雙區(qū)真空平臺(tái)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同尺寸的膜材的穩(wěn)定使用，保證了膜材固晶時(shí)的穩(wěn)定性。
13、可選的，所述支撐組件包括縱向座、橫向座、連接架和支撐環(huán)，所述縱向座分別設(shè)置在所述操作臺(tái)上兩側(cè)，所述橫向座可移動(dòng)設(shè)置在所述縱向座上，所述連接架可移動(dòng)設(shè)置在所述橫向座上，所述支撐環(huán)固定連接在所述連接架上，并支撐晶片。
14、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，所述支撐環(huán)契合晶片尺寸并在所述連接架上對(duì)晶片支撐，通過(guò)所述橫向座的縱向移動(dòng)或連接架的橫向移動(dòng)，從而對(duì)晶片的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，以便便捷高效上料操作。
15、可選的，所述頂針組件包括承載架、頂起氣缸、固定塊和針體，所述承載架設(shè)置在所述操作臺(tái)上，所述頂起氣缸設(shè)置在所述承載架上，所述固定塊的底部與所述頂起氣缸的輸出端相連接，并所述固定塊在所述承載架上滑動(dòng)，所述針體可拆裝設(shè)置在所述固定塊上，用于晶片頂起。
16、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，所述頂起氣缸在所述承載架內(nèi)，通過(guò)其輸出端帶動(dòng)所述固定塊上的所述針體進(jìn)行升降，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶片的頂起和自身高度的伸縮調(diào)節(jié)。
17、可選的，所述點(diǎn)膠組件包括點(diǎn)膠架、用于盛裝膠液的膠盤和點(diǎn)膠臂，所述點(diǎn)膠架安裝在所述龍門架上，所述膠盤可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架處，所述點(diǎn)膠臂的尾端可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架上，所述點(diǎn)膠臂的前端設(shè)置有沾針，所述沾針對(duì)應(yīng)所述膠盤的上方設(shè)置，所述沾針用于膜材上晶片定位點(diǎn)膠。
18、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，所述點(diǎn)膠臂在所述點(diǎn)膠架處旋轉(zhuǎn)至膠盤處，并通過(guò)所述沾針與膠液接觸，沾取膠液，并旋轉(zhuǎn)至膜材所需點(diǎn)膠位進(jìn)行點(diǎn)膠，根據(jù)所需點(diǎn)膠位置和數(shù)量，進(jìn)行重復(fù)操作，提高對(duì)膜材晶片固定點(diǎn)膠效率。
19、可選的，所述點(diǎn)膠架上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件用于所述膠盤水平轉(zhuǎn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)、主動(dòng)齒輪、從動(dòng)齒輪和轉(zhuǎn)動(dòng)桿，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架上，所述主動(dòng)齒輪設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架上，所述膠盤設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的底部，所述從動(dòng)齒輪設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的頂部，所述主動(dòng)齒輪與從動(dòng)齒輪相互嚙合。
20、可選的，所述點(diǎn)膠架上對(duì)應(yīng)所述膠盤內(nèi)設(shè)置有刮刀，用于在所述膠盤旋轉(zhuǎn)時(shí)刮取膠液。
21、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，能夠?qū)⒅饾u減少的膠液聚集起來(lái)，以便所述沾針能夠更好的沾取膠液，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端驅(qū)動(dòng)所述主動(dòng)齒輪，將所述主動(dòng)齒輪與所述從動(dòng)齒輪嚙合，使得所述膠盤相對(duì)所述刮刀轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)所述刮刀將膠液刮取并進(jìn)行聚集，使得膠液能夠與所述沾針更好的接觸。
22、可選的，所述點(diǎn)膠架上對(duì)應(yīng)所述點(diǎn)膠臂設(shè)置有擺動(dòng)電機(jī)，所述擺動(dòng)電機(jī)的輸出端與所述點(diǎn)膠臂的后端相連接。
23、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，所述擺動(dòng)電機(jī)的輸出端帶動(dòng)所述點(diǎn)膠臂擺動(dòng)，以便所述沾針能夠在所述膠盤處與膠液相接觸，并能擺回所需點(diǎn)膠位置，進(jìn)行點(diǎn)膠操作。
24、可選的，所述操作臺(tái)上對(duì)應(yīng)其中可移動(dòng)所述固晶組件的下方設(shè)置有校準(zhǔn)臺(tái)，所述校準(zhǔn)臺(tái)的底部設(shè)置有校準(zhǔn)調(diào)節(jié)座，通過(guò)所述校準(zhǔn)調(diào)節(jié)座可實(shí)現(xiàn)所述校準(zhǔn)臺(tái)縱向或橫向調(diào)節(jié)，使得所述校準(zhǔn)臺(tái)可跟隨所述支撐組件橫向直線移動(dòng)，所述校準(zhǔn)臺(tái)可跟隨所述支撐組件橫向直線移動(dòng)，所述操作臺(tái)上且靠近所述校準(zhǔn)臺(tái)的側(cè)面設(shè)置有底部視覺(jué)檢測(cè)裝置。
25、通過(guò)采用上述技術(shù)方案，晶片初始位置吸附完成后，將所述支撐環(huán)橫向移動(dòng)，并將所述校準(zhǔn)臺(tái)移動(dòng)至初始位置的晶片下方，所述固晶組件將晶片放置所述校準(zhǔn)臺(tái)上，并返回所述校準(zhǔn)臺(tái)的初始位，對(duì)晶片進(jìn)行校準(zhǔn)檢測(cè)，完成后，通過(guò)可移動(dòng)的所述固晶組件對(duì)晶片吸附，并移動(dòng)至膜材處進(jìn)行放置，提高對(duì)晶片位置角度的調(diào)整效率，并實(shí)現(xiàn)直線移動(dòng)調(diào)節(jié)，提高對(duì)晶片的固晶效率。
26、可選的，所述龍門架上且靠近所述點(diǎn)膠組本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述真空吸附平臺(tái)(2)包括負(fù)壓吸板(21)和安裝基臺(tái)(22)，所述負(fù)壓吸板(21)設(shè)置有若干個(gè)吸附孔(23)，所述負(fù)壓吸板(21)可劃分兩個(gè)區(qū)域，并兩個(gè)區(qū)域的所述吸附孔(23)可獨(dú)自或同時(shí)進(jìn)行真空吸附，所述安裝基臺(tái)(22)安裝在所述負(fù)壓吸板(21)的底部?jī)蓚?cè)，所述操作臺(tái)(1)上設(shè)置有縱向軌道(12)，所述安裝基臺(tái)(22)滑動(dòng)連接在所述縱向軌道(12)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述支撐組件(3)包括縱向座(31)、橫向座(32)、連接架(33)和支撐環(huán)(34)，所述縱向座(31)分別設(shè)置在所述操作臺(tái)(1)上兩側(cè)，所述橫向座(32)可移動(dòng)設(shè)置在所述縱向座(31)上，所述連接架(33)可移動(dòng)設(shè)置在所述橫向座(32)上，所述支撐環(huán)(34)固定連接在所述連接架(33)上，并支撐晶片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述頂針組件(4)包括承載架(41)、頂起氣缸(42)、固
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述點(diǎn)膠組件(6)包括點(diǎn)膠架(61)、用于盛裝膠液的膠盤(62)和點(diǎn)膠臂(63)，所述點(diǎn)膠架(61)安裝在所述龍門架(11)上，所述膠盤(62)可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架(61)處，所述點(diǎn)膠臂(63)的尾端可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架(61)上，所述點(diǎn)膠臂(63)的前端設(shè)置有沾針(64)，所述沾針(64)對(duì)應(yīng)所述膠盤(62)的上方設(shè)置，所述沾針(64)用于膜材上晶片定位點(diǎn)膠。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述點(diǎn)膠架(61)上設(shè)置有驅(qū)動(dòng)組件(65)，所述驅(qū)動(dòng)組件(65)用于所述膠盤(62)水平轉(zhuǎn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)組件(65)包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)(651)、主動(dòng)齒輪(652)、從動(dòng)齒輪(653)和轉(zhuǎn)動(dòng)桿(654)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(651)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架(61)上，所述主動(dòng)齒輪(652)設(shè)置在所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(651)的輸出端上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(654)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架(61)上，所述膠盤(62)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(654)的底部，所述從動(dòng)齒輪(653)設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(654)的頂部，所述主動(dòng)齒輪(652)與從動(dòng)齒輪(653)相互嚙合。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述點(diǎn)膠架(61)上對(duì)應(yīng)所述膠盤(62)內(nèi)設(shè)置有刮刀(66)，用于在所述膠盤(62)旋轉(zhuǎn)時(shí)刮取膠液。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述點(diǎn)膠架(61)上對(duì)應(yīng)所述點(diǎn)膠臂(63)設(shè)置有擺動(dòng)電機(jī)(67)，所述擺動(dòng)電機(jī)(67)的輸出端與所述點(diǎn)膠臂(63)的后端相連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述操作臺(tái)(1)上對(duì)應(yīng)其中可移動(dòng)所述固晶組件(5)的下方設(shè)置有校準(zhǔn)臺(tái)(7)，所述校準(zhǔn)臺(tái)(7)的底部設(shè)置有校準(zhǔn)調(diào)節(jié)座（71），通過(guò)所述校準(zhǔn)調(diào)節(jié)座（71）可實(shí)現(xiàn)所述校準(zhǔn)臺(tái)（7）縱向或橫向調(diào)節(jié)，使得所述校準(zhǔn)臺(tái)(7)可跟隨所述支撐組件(3)橫向直線移動(dòng)，所述操作臺(tái)(1)上且靠近所述校準(zhǔn)臺(tái)(7)的側(cè)面設(shè)置有底部視覺(jué)檢測(cè)裝置(8)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述龍門架(11)上且靠近所述點(diǎn)膠組件(6)處設(shè)置有點(diǎn)膠監(jiān)測(cè)攝像機(jī)(9)，用于觀測(cè)點(diǎn)膠狀態(tài)。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述真空吸附平臺(tái)(2)包括負(fù)壓吸板(21)和安裝基臺(tái)(22)，所述負(fù)壓吸板(21)設(shè)置有若干個(gè)吸附孔(23)，所述負(fù)壓吸板(21)可劃分兩個(gè)區(qū)域，并兩個(gè)區(qū)域的所述吸附孔(23)可獨(dú)自或同時(shí)進(jìn)行真空吸附，所述安裝基臺(tái)(22)安裝在所述負(fù)壓吸板(21)的底部?jī)蓚?cè)，所述操作臺(tái)(1)上設(shè)置有縱向軌道(12)，所述安裝基臺(tái)(22)滑動(dòng)連接在所述縱向軌道(12)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述支撐組件(3)包括縱向座(31)、橫向座(32)、連接架(33)和支撐環(huán)(34)，所述縱向座(31)分別設(shè)置在所述操作臺(tái)(1)上兩側(cè)，所述橫向座(32)可移動(dòng)設(shè)置在所述縱向座(31)上，所述連接架(33)可移動(dòng)設(shè)置在所述橫向座(32)上，所述支撐環(huán)(34)固定連接在所述連接架(33)上，并支撐晶片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述頂針組件(4)包括承載架(41)、頂起氣缸(42)、固定塊(43)和針體(44)，所述承載架(41)設(shè)置在所述操作臺(tái)(1)上，所述頂起氣缸(42)設(shè)置在所述承載架(41)上，所述固定塊(43)的底部與所述頂起氣缸(42)的輸出端相連接，并所述固定塊(43)在所述承載架(41)上滑動(dòng)，所述針體(44)可拆裝設(shè)置在所述固定塊(43)上，用于晶片頂起。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種大尺寸高精度的固晶機(jī)，其特征在于：所述點(diǎn)膠組件(6)包括點(diǎn)膠架(61)、用于盛裝膠液的膠盤(62)和點(diǎn)膠臂(63)，所述點(diǎn)膠架(61)安裝在所述龍門架(11)上，所述膠盤(62)可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架(61)處，所述點(diǎn)膠臂(63)的尾端可轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置在所述點(diǎn)膠架(61)上，所述點(diǎn)膠臂(63)的前端設(shè)置有沾針(6...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：李金龍，李德榮，李銀拴，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：佑光智能半導(dǎo)體科技深圳有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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