【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本申請(qǐng)屬于光伏電池，具體涉及磷源供給系統(tǒng)和磷源擴(kuò)散設(shè)備。
技術(shù)介紹
1、在光伏產(chǎn)業(yè)中，工藝和設(shè)備的改進(jìn)均需要圍繞“降本增效”的目的出發(fā)。制備晶硅電池的核心步驟之一為磷擴(kuò)散工藝，磷擴(kuò)散工藝會(huì)影響pn結(jié)的質(zhì)量，進(jìn)而影響晶硅電池的性能。
2、現(xiàn)有技術(shù)通過將磷源擴(kuò)散瓶和磷擴(kuò)散工藝的磷源爐管相連，磷源擴(kuò)散瓶的磷源經(jīng)載氣裹挾引至磷源爐管，以進(jìn)行磷擴(kuò)散工藝。當(dāng)磷源擴(kuò)散瓶中的磷源即將耗盡時(shí)，需要對(duì)舊磷源擴(kuò)散瓶進(jìn)行更換，以保證磷擴(kuò)散工藝的正常進(jìn)行。但存在的問題包括：(1)在對(duì)舊磷源擴(kuò)散瓶進(jìn)行更換的時(shí)候，舊磷源擴(kuò)散瓶仍存在少量剩余磷源，不僅會(huì)造成磷源的浪費(fèi)，而且舊磷源擴(kuò)散瓶的更換、運(yùn)輸、處理過程中均存在一定危險(xiǎn)；(2)每間隔一段時(shí)間，就需要停產(chǎn)更換舊磷源擴(kuò)散瓶，且需要待磷源擴(kuò)散瓶中的磷源溫度到達(dá)指定工藝溫度區(qū)間才能開機(jī)生產(chǎn)，嚴(yán)重影響產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率；(3)隨著磷擴(kuò)散工藝的不斷進(jìn)行，磷源擴(kuò)散瓶中的磷源逐漸減少，載氣裹挾磷源的量逐漸減小，導(dǎo)致不同磷擴(kuò)散工藝批次中的磷源供給量不同，進(jìn)而導(dǎo)致晶硅電池片方阻的均勻性較差。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)旨在至少在一定程度上解決相關(guān)技術(shù)中的技術(shù)問題之一。
2、在本申請(qǐng)的第一個(gè)方面，本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N磷源供給系統(tǒng)，包括主源裝置，所述主源裝置包括磷源入口、載氣入口、第一磷源出口，所述磷源自所述第一磷源出口排出；副源裝置，所述副源裝置包括第二磷源出口，所述第二磷源出口與所述磷源入口通過引源管道相連，所述引源管道上設(shè)有驅(qū)動(dòng)件。由此，本申請(qǐng)的磷源供給系統(tǒng)既
3、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述主源裝置還包括載氣進(jìn)氣管，所述載氣進(jìn)氣管經(jīng)所述載氣入口延伸至所述主源裝置的液面以下。由此，載氣經(jīng)載氣進(jìn)氣管進(jìn)入主源裝置，有利于載氣與主源裝置的磷源充分接觸，隨著主源裝置內(nèi)的壓力逐漸增加，載氣裹挾磷源經(jīng)第一磷源出口輸出至磷源擴(kuò)散設(shè)備。
4、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述主源裝置還包括第一磷源出氣管，所述第一磷源出氣管經(jīng)所述第一磷源出口延伸至所述主源裝置的液面以上。由此，有利于載氣裹挾磷源經(jīng)第一磷源出氣管輸出至磷源擴(kuò)散設(shè)備。
5、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述主源裝置還包括第一穩(wěn)壓閥，所述副源裝置還包括第二穩(wěn)壓閥，所述第一穩(wěn)壓閥與所述第二穩(wěn)壓閥通過穩(wěn)壓管道相連。由此，采用第一穩(wěn)壓閥與第二穩(wěn)壓閥調(diào)控主源裝置壓力和副源裝置壓力接近或相同，有利于通過驅(qū)動(dòng)件將副源裝置內(nèi)的磷源引至主源裝置中。
6、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述主源裝置位于第一恒溫箱中。由此，將主源裝置設(shè)置在第一恒溫箱中，有利于控制從主源裝置引至磷源擴(kuò)散設(shè)備的不同批次的磷源溫度接近或相同，有利于提高磷源擴(kuò)散的均勻性。
7、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述副源裝置位于第二恒溫箱中。由此，有利于保證磷源擴(kuò)散工序具有較優(yōu)的產(chǎn)線效率和穩(wěn)定性，經(jīng)磷源擴(kuò)散工序得到的產(chǎn)品良率較好。
8、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述引源管道上設(shè)有第一氣動(dòng)閥。由此，在不需要將副源裝置的磷源引至主源裝置時(shí)，有利于減少副源裝置內(nèi)的磷源或其他氣體傳導(dǎo)至主源裝置，以及主源裝置內(nèi)的磷源或其他氣體傳導(dǎo)至副源裝置。
9、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述穩(wěn)壓管道上設(shè)有第二氣動(dòng)閥。由此，在不需要進(jìn)行穩(wěn)壓操作時(shí)，有利于減少副源裝置內(nèi)的磷源或其他氣體傳導(dǎo)至主源裝置，以及主源裝置內(nèi)的磷源或其他氣體傳導(dǎo)至副源裝置。
10、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述副源裝置的底部向下凸起。由此，有利于顯著提高了副源裝置內(nèi)的磷源利用率，有利于降低舊副源裝置在更換、運(yùn)輸、處理過程中發(fā)生安全問題的概率。
11、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述引源管道上設(shè)有驅(qū)動(dòng)泵，所述驅(qū)動(dòng)泵包括氣動(dòng)隔膜泵。由此，通過驅(qū)動(dòng)泵可以將副源裝置的磷源沿著引源管道泵至主源裝置，操作簡單易行。
12、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述磷源供給系統(tǒng)還包括：稱量裝置，所述稱量裝置位于所述主源裝置的底部。由此，有利于保證磷源擴(kuò)散工序具有較優(yōu)的產(chǎn)線效率和穩(wěn)定性，經(jīng)磷源擴(kuò)散工序得到的產(chǎn)品良率較好。
13、根據(jù)本申請(qǐng)的一些實(shí)施方式，所述磷源供給系統(tǒng)還包括：控制裝置，所述控制裝置分別與所述驅(qū)動(dòng)件、所述稱量裝置電連接。由此，控制裝置可以根據(jù)稱量裝置的質(zhì)量電信號(hào)調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)件，以控制從副源裝置引至主源裝置的單次磷源量，進(jìn)而有利于控制主源裝置的質(zhì)量保持恒定。
14、在本申請(qǐng)的第二個(gè)方面，本申請(qǐng)?zhí)岢隽艘环N磷源擴(kuò)散設(shè)備，所述磷源擴(kuò)散設(shè)備的磷源通過前述磷源供給系統(tǒng)提供。由此，通過前述磷源供給系統(tǒng)供應(yīng)的磷源溫度接近或相同，且單次供應(yīng)量接近或相同，采用磷源擴(kuò)散設(shè)備擴(kuò)散得到的產(chǎn)品均勻性良好。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述主源裝置還包括載氣進(jìn)氣管，所述載氣進(jìn)氣管經(jīng)所述載氣入口延伸至所述主源裝置的液面以下；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述主源裝置位于第一恒溫箱中；和/或，所述副源裝置位于第二恒溫箱中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述引源管道上設(shè)有第一氣動(dòng)閥；和/或，所述穩(wěn)壓管道上設(shè)有第二氣動(dòng)閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述副源裝置的底部向下凸起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)件包括驅(qū)動(dòng)泵。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，還包括：稱量裝置，所述稱量裝置位于所述主源裝置的底部。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，還包括：控制裝置，所述控制裝置分別與所述驅(qū)動(dòng)件、所述稱量裝置電連接。
9.一種磷源擴(kuò)散設(shè)備，其特征在于，所述磷源擴(kuò)散設(shè)備的磷源通過權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述主源裝置還包括載氣進(jìn)氣管，所述載氣進(jìn)氣管經(jīng)所述載氣入口延伸至所述主源裝置的液面以下；
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述主源裝置位于第一恒溫箱中；和/或，所述副源裝置位于第二恒溫箱中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)，其特征在于，所述引源管道上設(shè)有第一氣動(dòng)閥；和/或，所述穩(wěn)壓管道上設(shè)有第二氣動(dòng)閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磷源供給系統(tǒng)...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：蒲俊，魏玉明，冉東，李玉輝，訾苗，周章宇，肖秋碩，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：通合新能源金堂有限公司，
類型：新型
國別省市：
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