【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及mocvd尾氣的控制，更具體地說，特別涉及一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法。
技術介紹
1、在mocvd設備的反應室中，存在一個內腔和一個外腔。主要氣體，例如mo源、氫化物源都在內腔流動，外腔只有一些保護性氣體（例如氮氣、氫氣等）。內腔一般為石英、石墨等材料做成，內腔與外腔之間不可能做到完全密封，內外腔之間總會有氣體交換。
2、內腔與外腔有交換就需要控制交換的流量比值，不然就會導致產物質量降低，影響材料生長的均勻性和一致性，同時能源浪費嚴重，也會縮短設備的使用壽命，從而必須要控制mocvd設備內腔和外腔之間的流量比。
3、于是，有鑒于此，針對現有的結構及缺失予以研究改良，提供一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法，以期達到更具有更加實用價值性的目的。
技術實現思路
1、為了解決上述技術問題，本專利技術提供一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法，以解決以上的問題。
2、本專利技術一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法，由以下具體技術手段所達成：
3、一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法，包括內腔、外腔，所述內腔的尾部設置有內腔尾氣過濾器、第一高精度閉環控制儀表、第一傳感器、第一pid、第一模擬量對儀表、內腔電動調節閥、內腔流量計依次相連接，所述外腔的尾部設置有外腔尾氣過濾器、第二高精度閉環控制儀表、第二傳感器、第二pid、第二模擬量對儀表、外腔電動調節閥、外腔流量計依次相連接，所述內腔流量計與所述外腔流量
4、進一步的，具體步驟如下：
5、8）檢查各零部件是否安裝好，正常工作；
6、9）啟動mocvd設備，內腔和外腔開始工作，氣體在其中流動發生發應；
7、10）內腔中產生的尾氣首先經過內腔尾氣過濾器過濾掉其中的雜志和顆粒物，外腔中產生的尾氣經過外腔尾氣過濾器進行過濾；
8、11）內腔中經過過濾的尾氣到達第一高精度閉環控制儀表，儀表測量尾氣的相關參數，外腔中過濾的尾氣到達第二高精度閉環控制儀表進行參數測量；
9、12）第一傳感器檢測內腔尾氣的溫度等物理量，并將數據傳輸給第一pid，第一pid根據設定的溫度值和第一傳感器檢測到的實際溫度值進行運算，輸出控制信號，第二傳感器檢測外腔尾氣的溫度等信息，并傳遞給第二pid；
10、13）第一模擬量對儀表將第一pid輸出的控制信號進行處理和轉換，處理后的信號作用于內腔電動調節閥，調節閥根據信號調整開度，從而控制內腔的流量，第二pid進行運算并輸出控制信號給第二模擬量對儀表，第二模擬量對儀表處理和轉換控制信號后，作用于外腔電動調節閥，控制外腔的流量；
11、內腔流量計實時測量內腔尾氣的實際流量，并將流量數據反饋給控制系統，外腔流量計測量外腔尾氣的實際流量，內腔流量計和外腔流量計測量得到的流量數據傳輸至pump，pump根據接收到的流量數據，調整抽氣功率，以實際內腔和外腔之間的流量比控制。
12、進一步的，所述外腔電動調節閥開度為8%時，所述外腔流量計讀數為0.4，所述內腔流量計的度數為40，所述內腔和所述外腔之間的流量比為100:1，所述外腔電動調節閥開度為10%時，所述外腔流量計讀數為0.5，所述內腔流量計的度數為50，所述內腔和所述外腔之間的流量比為100:1，所述外腔電動調節閥開度為16%時，所述外腔流量計讀數為0.8，所述內腔流量計的度數為80，所述內腔和所述外腔之間的流量比為100:1。
13、進一步的，所述內腔流量計、所述外腔流量計與所述pump電性連接。
14、進一步的，所述內腔電動調節閥為大口徑的調節閥，所述外腔電動調節閥為小口徑的調節閥。
15、與現有技術相比，本專利技術具有如下有益效果：
16、利用設置的內腔尾氣過濾器、第一高精度閉環控制儀表、第一傳感器、第一pid、第一模擬量對儀表、內腔電動調節閥、內腔流量計與內腔相連通控制內腔尾氣的流量，利用設置的外腔尾氣過濾器、第二高精度閉環控制儀表、第二傳感器、第二pid、第二模擬量對儀表、外腔電動調節閥、外腔流量計與外腔相連通控制外腔尾氣的流量，從而控制內腔和外腔之間的流量比為最佳狀態，即可確保反應的精確性，提高了產物的質量，促進材料生長的均勻性和一致性，恰當的流量比可以避免不必要的氣體流量，減少能源消耗，降低了生產的成本，穩定的流量比能減少氣流對反應室內部部件的沖擊和侵蝕，從而也延長了設備的使用壽命。
17、本專利技術的其它優點、目標和特征將部分通過下面的說明體現，部分還將通過對本專利技術的研究和實踐而為本領域的技術人員所理解。
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1.一種控制MOCVD設備內外腔流量比的方法，包括內腔（1）、外腔（9），其特征在于：所述內腔（1）的尾部設置有內腔尾氣過濾器（2）、第一高精度閉環控制儀表（3）、第一傳感器（4）、第一PID（5）、第一模擬量對儀表（6）、內腔電動調節閥（7）、內腔流量計（8）依次相連接，所述外腔（9）的尾部設置有外腔尾氣過濾器（10）、第二高精度閉環控制儀表（11）、第二傳感器（12）、第二PID（13）、第二模擬量對儀表（14）、外腔電動調節閥（15）、外腔流量計（16）依次相連接，所述內腔流量計（8）與所述外腔流量計（16）的末端連通有PUMP（17）。
2.如權利要求1所述一種控制MOCVD設備內外腔流量比的方法，其特征在于具體步驟如下：
3.如權利要求2所述一種控制MOCVD設備內外腔流量比的方法，其特征在于：所述外腔電動調節閥（15）開度為8%時，所述外腔流量計（16）讀數為0.4，所述內腔流量計（8）的度數為40，所述內腔（1）和所述外腔（9）之間的流量比為100:1，所述外腔電動調節閥（15）開度為10%時，所述外腔流量計（16）讀數為0.5，所述內腔流量
4.如權利要求2所述一種控制MOCVD設備內外腔流量比的方法，其特征在于：所述內腔流量計（8）、所述外腔流量計（16）與所述PUMP（17）電性連接。
5.如權利要求2所述一種控制MOCVD設備內外腔流量比的方法，其特征在于：所述內腔電動調節閥（7）為大口徑的調節閥，所述外腔電動調節閥（15）為小口徑的調節閥。
...【技術特征摘要】
1.一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法，包括內腔（1）、外腔（9），其特征在于：所述內腔（1）的尾部設置有內腔尾氣過濾器（2）、第一高精度閉環控制儀表（3）、第一傳感器（4）、第一pid（5）、第一模擬量對儀表（6）、內腔電動調節閥（7）、內腔流量計（8）依次相連接，所述外腔（9）的尾部設置有外腔尾氣過濾器（10）、第二高精度閉環控制儀表（11）、第二傳感器（12）、第二pid（13）、第二模擬量對儀表（14）、外腔電動調節閥（15）、外腔流量計（16）依次相連接，所述內腔流量計（8）與所述外腔流量計（16）的末端連通有pump（17）。
2.如權利要求1所述一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法，其特征在于具體步驟如下：
3.如權利要求2所述一種控制mocvd設備內外腔流量比的方法，其特征在于：所述外腔電動調節閥（15）開度為8%時，所述外腔流量...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張天明，聶海鵬，姚丹丹，
申請(專利權)人：蘇州中科重儀半導體材料有限公司，
類型：發明
國別省市：
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