【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術涉及半導體生產(chǎn)制造，特別是涉及一種基于目標腔室的任務處理方法、一種基于目標腔室的任務處理裝置、一種半導體工藝設備和一種存儲介質。
技術介紹
1、在半導體制造領域，往往會出現(xiàn)由于目標腔室正在被量產(chǎn)任務(task)占用，而無法使用該腔室執(zhí)行一些緊急任務或dummyseason(清潔用晶圓)的場景。
2、基于上述場景，若機臺腔室目前正被多個task占用，但由于特殊原因，又想在機臺端基于該腔室執(zhí)行緊急任務或dummyseason，目前只能在abort(禁止)掉后續(xù)所有涉及到該腔室的task，或者執(zhí)行強制取消操作的操作才可將目標腔室釋放，進而執(zhí)行緊急任務或dummyseason的操作。
3、現(xiàn)有的方式，在量產(chǎn)過程中，執(zhí)行緊急任務或dummyseason的操作通過采用目標腔室的狀態(tài)切換的方式或者任務插隊的方式進行；但是這些方式存在操作效率低下以及流程復雜的問題。
技術實現(xiàn)思路
1、鑒于上述問題，提出了本專利技術實施例以便提供一種克服上述問題或者至少部分地解決上述問題的一種基于目標腔室的任務處理方法、一種基于目標腔室的任務處理裝置、一種半導體工藝設備和一種存儲介質。
2、為了解決上述問題，本專利技術實施例公開了一種基于目標腔室的任務處理方法，包括：
3、在所述目標腔室被量產(chǎn)任務占用時，接收用戶發(fā)送的創(chuàng)建指令，依據(jù)所述創(chuàng)建指令創(chuàng)建文本下發(fā)任務；
4、啟動所述文本下發(fā)任務；所述文本下發(fā)任務對應有處理優(yōu)先級；
5、基于所
6、在所述文本下發(fā)任務執(zhí)行完成后，執(zhí)行所述量產(chǎn)任務。
7、可選地，所述方法還包括：
8、獲取所述用戶的權限信息；
9、當所述權限信息滿足預設創(chuàng)建權限時，執(zhí)行所述依據(jù)所述創(chuàng)建指令創(chuàng)建文本下發(fā)任務的步驟。
10、可選地，所述創(chuàng)建指令包括任務參數(shù)，所述文本下發(fā)任務對應有預設參數(shù)列表信息；所述依據(jù)所述創(chuàng)建指令創(chuàng)建文本下發(fā)任務的步驟包括：
11、將所述任務參數(shù)配置至所述預設參數(shù)列表信息中；
12、依據(jù)設置后的參數(shù)列表信息創(chuàng)建所述文本下發(fā)任務。
13、可選地，所述啟動所述文本下發(fā)任務的步驟包括：
14、獲取啟動密碼；
15、當所述啟動密碼驗證正確時，將所述文本下發(fā)任務分配至所述目標腔室；
16、當所述啟動密碼驗證錯誤時，拒絕啟動所述文本下發(fā)任務。
17、可選地，所述文本下發(fā)任務包括腔室標識；所述將所述文本下發(fā)任務分配至所述目標腔室的步驟包括：
18、依據(jù)所述腔室標識確定所述目標腔室，將所述文本下發(fā)任務分配至所述目標腔室。
19、可選地，當拒絕啟動所述文本下發(fā)任務時，所述方法還包括：
20、生成創(chuàng)建失敗信息，所述創(chuàng)建失敗信息用于提示所述文本下發(fā)任務無法啟動。
21、可選地，所述基于所述處理優(yōu)先級，執(zhí)行所述文本下發(fā)任務的步驟包括：
22、基于所述處理優(yōu)先級，對所述文本下發(fā)任務進行排序；
23、將排序的文本下發(fā)任務，按照順序執(zhí)行。
24、本專利技術實施例還公開了一種基于目標腔室的任務處理裝置，其特征在于，包括處理器、存儲器及存儲在所述存儲器上并能夠在所述處理器上運行的計算機程序，所述計算機程序被所述處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如上所述的基于目標腔室的任務處理方法的步驟。
25、本專利技術實施例還公開了一種半導體工藝設備，包括所述半導體工藝設備包括射頻電源、射頻匹配器和工藝腔室，所述射頻匹配器的輸入端與所述射頻電源連接，所述射頻匹配器的輸出端與所述工藝腔室連接；所述工藝腔室上設置有處理器、存儲器及存儲在所述存儲器上并能夠在所述處理器上運行的計算機程序，所述計算機程序被所述處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如上所述的一種基于目標腔室的任務處理方法的步驟。
26、本專利技術實施例還公開了一種計算機可讀存儲介質，所述計算機可讀存儲介質上存儲計算機程序，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如上所述的一種基于目標腔室的任務處理方法的步驟。
27、本專利技術實施例包括以下優(yōu)點：
28、本專利技術實施例通過在所述目標腔室被量產(chǎn)任務占用時，接收用戶發(fā)送的創(chuàng)建指令，依據(jù)所述創(chuàng)建指令創(chuàng)建文本下發(fā)任務；啟動所述文本下發(fā)任務；所述文本下發(fā)任務對應有處理優(yōu)先級；基于所述處理優(yōu)先級，執(zhí)行所述文本下發(fā)任務；在所述文本下發(fā)任務執(zhí)行完成后，執(zhí)行所述量產(chǎn)任務。本專利技術實施例通過基于目標腔室執(zhí)行任務的流程，在量產(chǎn)過程中，創(chuàng)建文本下發(fā)任務，通過文本下發(fā)任務的下發(fā)，目標腔室可以直接基于文本下發(fā)任務對其工作區(qū)域進行處理，無需等待目標腔室的狀態(tài)轉換，以令目標腔室可以快速執(zhí)行文本下發(fā)任務；并且基于處理優(yōu)先級可在目標腔室不停機的狀態(tài)下，由目標腔室逐個執(zhí)行文本下發(fā)任務，將緊急程度高的任務進行優(yōu)先處理，從而解決緊急任務的處理。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術保護點】
1.一種基于目標腔室的任務處理方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
3.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述創(chuàng)建指令包括任務參數(shù)，所述文本下發(fā)任務對應有預設參數(shù)列表信息；所述依據(jù)所述創(chuàng)建指令創(chuàng)建文本下發(fā)任務的步驟包括：
4.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述啟動所述文本下發(fā)任務的步驟包括：
5.根據(jù)權利要求4所述的方法，其特征在于，所述文本下發(fā)任務包括腔室標識；所述將所述文本下發(fā)任務分配至所述目標腔室的步驟包括：
6.根據(jù)權利要求4所述的方法，其特征在于，當拒絕啟動所述文本下發(fā)任務時，所述方法還包括：
7.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述處理優(yōu)先級，執(zhí)行所述文本下發(fā)任務的步驟包括：
8.一種基于目標腔室的任務處理裝置，其特征在于，包括處理器、存儲器及存儲在所述存儲器上并能夠在所述處理器上運行的計算機程序，所述計算機程序被所述處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權利要求1至7中任一項所述的基于目標腔室的任務處理方法的步驟。
9
10.一種計算機可讀存儲介質，其特征在于，所述計算機可讀存儲介質上存儲計算機程序，所述計算機程序被處理器執(zhí)行時實現(xiàn)如權利要求1至7中任一項所述的一種基于目標腔室的任務處理方法的步驟。
...【技術特征摘要】
1.一種基于目標腔室的任務處理方法，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：
3.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述創(chuàng)建指令包括任務參數(shù)，所述文本下發(fā)任務對應有預設參數(shù)列表信息；所述依據(jù)所述創(chuàng)建指令創(chuàng)建文本下發(fā)任務的步驟包括：
4.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述啟動所述文本下發(fā)任務的步驟包括：
5.根據(jù)權利要求4所述的方法，其特征在于，所述文本下發(fā)任務包括腔室標識；所述將所述文本下發(fā)任務分配至所述目標腔室的步驟包括：
6.根據(jù)權利要求4所述的方法，其特征在于，當拒絕啟動所述文本下發(fā)任務時，所述方法還包括：
7.根據(jù)權利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于所述處理優(yōu)先級，執(zhí)行所述文本下發(fā)任務的步驟包括：
8.一種基于目標腔室的任務處...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：孔令帥，
申請(專利權)人：北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
還沒有人留言評論。發(fā)表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。