【技術實現步驟摘要】
本技術涉及光學性能測試，尤其涉及一種光學元件性能測試裝置。
技術介紹
1、在照明光學領域中，常常會搭建光學平臺，在距離待測光學元件的出光口較遠處會設置一個白屏接收，用于記錄從光學系統出射的光斑，然后用ccd相機拍下記錄，通過圖像處理提取并計算均勻度、對比度、輻照度分布等參數，從而反映光學系統的勻光、整形的效果。這種方式對于整個平面的勻光性能測試有著較為實用的功能，但是當其應用于毫米級尺寸以內的光學元件、且同時需要對多個區塊光斑勻光效果進行評測的情況時就會存在限制，若光線不是平行傳播，則會存在隨著距離變大，形成的多個區塊的光斑逐漸互相串擾，導致白屏上的光斑接收的不再是期望的結果。
2、另外，在光學系統中會存在組合的形式，比如成像鏡頭模組與微透鏡陣列匹配實現多個視場光斑勻化的情況。一般為了單獨考察微透鏡陣列單部品的光學性能，會省去成像鏡頭模組，此時會存在測試光源如何匹配微透鏡陣列問題，因此需要建立合適的平臺去使光源入射的方式接近成像模組的入射方式。
技術實現思路
1、本技術的目的在于解決上述問題，提供一種可避免光斑間相互串擾、實現微透鏡陣列測試光源合理匹配的光學元件性能測試裝置。
2、為實現上述目的，本技術提供一種光學元件性能測試裝置，包括載臺，所述載臺上設置測試組件，所述測試組件包括沿物側到像側從前到后依次設置的光源、第一光闌、第二光闌、ccd相機，待測光學元件設置在所述第二光闌與所述ccd相機之間；所述第一光闌和所述第二光闌的孔徑可調整，所述第二光闌設置在所
3、所述待測光學元件與所述ccd相機之間設有光斑接收部，所述光斑接受部包括乳白膠層和/或投影放大部，所述投影放大部包括投影鏡頭和投影接收屏，所述乳白膠層的前表面與所述待測光學元件的后表面的間隙τ滿足如下條件：τ＜20um。
4、根據本技術的一個方面，所述乳白膠層直接涂覆設置在所述待測光學元件的后表面上。
5、根據本技術的一個方面，所述光斑接收部還包括玻璃基板，所述乳白膠層涂覆在所述玻璃基板的前表面且緊貼所述待測光學元件的后表面設置。
6、根據本技術的一個方面，所述乳白膠層的厚度l滿足如下條件：15um＜l＜50um。
7、根據本技術的一個方面，所述光斑接收部包括設置在所述ccd相機的前側的投影鏡頭和投影接收屏，所述投影鏡頭設置在所述投影接收屏的前側。
8、根據本技術的一個方面，所述投影鏡頭的放大率m滿足如下關系：m＞5；
9、所述投影鏡頭的畸變率dist滿足如下條件：dist＜1％；
10、所述投影鏡頭的相對照度ri滿足如下條件：ri＞75％，且隨所述投影鏡頭的視場呈單調變化。
11、根據本技術的一個方面，所述光源為功率可調的光源，所述光源的功率p的范圍如下條件：0.2w＜p＜10w；
12、所述光源的發散角θ滿足如下關系：θ≥θw，其中θw為所述待測光學元件在實際模組或系統工作中的最大入射角；
13、所述光源的發光口徑d滿足所述光源的發光面積完整覆蓋所述第一光闌的通光孔。
14、根據本技術的一個方面，所述光源的發光口徑d與所述第一光闌的通光孔徑之間滿足如下關系：
15、
16、其中，d1表示所述光源到所述第一光闌的距離；
17、所述第一光闌的通光孔徑與所述第二光闌的通光孔徑滿足如下關系：
18、
19、其中，d2表示所述第一光闌到所述第二光闌的距離；
20、所述第二光闌的通光孔徑與所述待測光學元件的口徑滿足如下關系：且
21、根據本技術的一個方面，所述ccd相機包括鏡頭和ccd，所述ccd相機滿足如下條件：
22、所述鏡頭的物距d3在所述鏡頭的景深范圍內；
23、所述鏡頭的視場物高ho大于待拍攝光斑的尺寸l；
24、所述鏡頭的角分辨率θr滿足如下關系：θr＞arctan(lr/d3)，其中lr表示所述ccd對所述待測光學元件進行數據分析時所需要的小數據點之間的距離。
25、根據本技術的一個方面，所述光源、所述第一光闌、所述第二光闌、所述ccd相機與所述光斑接收部通過移動夾具設置在所述載臺上，所述光源、所述第一光闌、所述第二光闌、所述ccd相機與所述光斑接收部的通光區域在同一中軸線上；
26、所述移動夾具上設置鎖緊裝置。
27、根據本技術的光學元件性能測試裝置，設計了新穎實用的光學元件性能測試裝置，可用于小尺寸、多區塊光學系統性能測試。本技術通過設置光源、可調節孔徑的兩個光闌、移動夾具以及在待測光學元件與ccd相機之間設置光斑接收部，光斑接收部包括乳白膠層和/或投影放大部，可通過乳白膠層和/投影放大組件對待測光學元件后表面的光分布進行拾取，提高ccd相機獲取的待測光學元件的光分布情況的質量，可有效地解決小尺寸、多區塊遠距離接收屏接收時每個區塊的光斑會相互串擾，以致于混成一整塊光斑無法區分被測光學元件性能的問題。另一方面，本方案的平臺搭建也可解決脫離整個光學系統的單部品光學元件的光源適配問題，最大程度上使入射到待測光學元件的光線近似于從該待測樣品前一個光學系統透過的光線形式。
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1.一種光學元件性能測試裝置，包括載臺(10)，其特征在于，所述載臺(10)上設置測試組件，所述測試組件包括沿物側到像側從前到后依次設置的光源(1)、第一光闌(2)、第二光闌(3)、CCD相機(7)，待測光學元件(5)設置在所述第二光闌(3)與所述CCD相機(7)之間；所述第一光闌(2)和所述第二光闌(3)的孔徑可調整，所述第二光闌(3)設置在所述待測光學元件(5)的進光口處；
2.根據權利要求1所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述乳白膠層直接涂覆設置在所述待測光學元件(5)的后表面上。
3.根據權利要求1所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述光斑接收部還包括玻璃基板(6)，所述乳白膠層涂覆在所述玻璃基板(6)的前表面且緊貼所述待測光學元件(5)的后表面設置。
4.根據權利要求2或3所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述乳白膠層的厚度L滿足如下條件：15um＜L＜50um。
5.根據權利要求1至3中任一項所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述投影放大組件包括設置在所述CCD相機(7)的前側的投影鏡頭(8)和
6.根據權利要求5所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述投影鏡頭(8)的放大率m滿足如下關系：m＞5；
7.根據權利要求1所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述光源(1)為功率可調的光源，所述光源(1)的功率P的范圍如下條件：0.2W<P<10W；
8.根據權利要求6所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述光源(1)的發光口徑D與所述第一光闌(2)的通光孔徑之間滿足如下關系：
9.根據權利要求1所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述CCD相機(7)包括鏡頭和CCD，所述CCD相機(7)滿足如下條件：
10.根據權利要求1所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述光源(1)、所述第一光闌(2)、所述第二光闌(3)、所述CCD相機(7)與所述光斑接收部通過移動夾具(4)設置在所述載臺(10)上，所述光源(1)、所述第一光闌(2)、所述第二光闌(3)、所述CCD相機(7)與所述光斑接收部的通光區域在同一中軸線上；
...【技術特征摘要】
1.一種光學元件性能測試裝置，包括載臺(10)，其特征在于，所述載臺(10)上設置測試組件，所述測試組件包括沿物側到像側從前到后依次設置的光源(1)、第一光闌(2)、第二光闌(3)、ccd相機(7)，待測光學元件(5)設置在所述第二光闌(3)與所述ccd相機(7)之間；所述第一光闌(2)和所述第二光闌(3)的孔徑可調整，所述第二光闌(3)設置在所述待測光學元件(5)的進光口處；
2.根據權利要求1所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述乳白膠層直接涂覆設置在所述待測光學元件(5)的后表面上。
3.根據權利要求1所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述光斑接收部還包括玻璃基板(6)，所述乳白膠層涂覆在所述玻璃基板(6)的前表面且緊貼所述待測光學元件(5)的后表面設置。
4.根據權利要求2或3所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述乳白膠層的厚度l滿足如下條件：15um＜l＜50um。
5.根據權利要求1至3中任一項所述的光學元件性能測試裝置，其特征在于，所述投影放大組件包括設置在所述ccd相機(7)的前側的投影鏡頭(8...
【專利技術屬性】
技術研發人員：程治明，黃哲，明玉生，汪杰，陳遠，
申請(專利權)人：寧波舜宇奧來技術有限公司，
類型：新型
國別省市：
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