【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體處理設備領域，尤其涉及一種焊接工裝及半導體焊接裝置。
技術介紹
1、半導體行業的高端廢氣處理設備對氣密性要求極高，對廢氣處理設備進行焊接時不允許出現漏焊現象，因此焊接時對焊接件的端面平行度與垂直度等焊接質量要求極高。
2、目前對焊接件的焊接方式主要采用人工焊接的方式，但人工焊接無法保證對焊接件連續焊接，無法保證焊縫的一致性，容易出現難以發現的焊接縫隙，影響焊接質量。
技術實現思路
1、本技術旨在至少解決相關技術中存在的問題之一。為此，本技術提出一種焊接工裝，能夠將焊接件固定，使得焊接機器人能夠根據所設定的焊接路徑對焊接件的邊沿進行焊接，獲得穩定連續的焊縫，同時保證焊接過程中焊接件固定，保證了焊縫的一致性，避免焊縫產生縫隙，有效提高了焊接質量。
2、本技術還提供一種半導體焊接裝置。
3、本技術第一方面提供的一種焊接工裝，包括：
4、基板；
5、導向固定組件，設置于所述基板；
6、基準定位組件，設置于所述基板，所述基準定位組件可相對于所述導向固定組件移動，所述基準定位組件用于推動焊接件抵接于所述導向固定組件；
7、夾緊組件，設置于所述基板，所述夾緊組件用于將所述焊接件固定于所述導向固定組件。
8、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，所述基準定位組件包括至少兩個定位件，兩個所述定位件之間呈預設角度，所述定位件的固定部與所述基板連接，所述定位件的伸出部適于與所述焊接件抵接。>
9、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，所述基準定位組件還包括調節件，所述定位件與所述基板之間通過所述調節件連接，所述調節件用于調節所述定位件的高度。
10、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，所述導向固定組件包括多個導向固定板，所述導向固定板設置于所述基板，其中一部分所述導向固定板與其中一個所述定位件相對設置，另一部分所述導向固定板與另一個所述定位件相對設置。
11、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，所述夾緊組件包括至少兩組夾緊件，所述夾緊件的固定部設置于所述基板，所述夾緊件的伸出部適于抵接于所述焊接件。
12、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，其中一組所述夾緊件的伸出部與其中一部分所述導向固定板相對設置，另一組所述夾緊件的伸出部與另一部分所述導向固定板相對設置。
13、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，所述定位件的伸出部高于所述夾緊件的伸出部。
14、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，所述夾緊組件還包括限位件，所述限位件設置于所述夾緊件的固定端，所述限位件用于限制所述夾緊件的伸出行程。
15、根據本技術實施例提供的一種焊接工裝，還包括：
16、支撐組件，設置于所述基板，所述支撐組件用于支撐所述焊接件。
17、本技術第二方面實施例提供的一種半導體焊接裝置，包括焊接機器人、氣動控制元件和上述任意一項所述的焊接工裝，所述氣動控制元件與所述焊接機器人的控制系統電連接，所述基準定位組件、所述夾緊組件均與所述氣動控制元件連接。
18、本技術實施例中的上述一個或多個技術方案，至少具有如下技術效果之一：
19、根據本技術實施例提供的焊接工裝，由于基準定位組件可相對于導向固定組件移動，在利用焊接機器人對焊接件焊接前，通過將基準定位組件向靠近導向固定組件的方向移動，以利用基準定位組件推動焊接件抵接于導向固定組件，使得焊接件的邊沿與焊接機器人所設定的焊接路徑相對應。
20、隨后通過夾緊組件將焊接件固定于導向固定組件，以將焊接件的邊沿固定，從而使得焊接機器人能夠根據所設定的焊接路徑對焊接件的邊沿進行焊接，利用焊接機器人的焊接穩定性對焊接件進行焊接，獲得穩定連續的焊縫，同時保證焊接過程中焊接件固定，保證了焊縫的一致性，避免焊縫產生縫隙，有效提高了焊接質量。
21、本技術的附加方面和優點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本技術的實踐了解到。
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1.一種焊接工裝，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的焊接工裝，其特征在于，所述基準定位組件包括至少兩個定位件，兩個所述定位件之間呈預設角度，所述定位件的固定部與所述基板連接，所述定位件的伸出部適于與所述焊接件抵接。
3.根據權利要求2所述的焊接工裝，其特征在于，所述基準定位組件還包括調節件，所述定位件與所述基板之間通過所述調節件連接，所述調節件用于調節所述定位件的高度。
4.根據權利要求2所述的焊接工裝，其特征在于，所述導向固定組件包括多個導向固定板，所述導向固定板設置于所述基板，其中一部分所述導向固定板與其中一個所述定位件相對設置，另一部分所述導向固定板與另一個所述定位件相對設置。
5.根據權利要求4所述的焊接工裝，其特征在于，所述夾緊組件包括至少兩組夾緊件，所述夾緊件的固定部設置于所述基板，所述夾緊件的伸出部適于抵接于所述焊接件。
6.根據權利要求5所述的焊接工裝，其特征在于，其中一組所述夾緊件的伸出部與其中一部分所述導向固定板相對設置，另一組所述夾緊件的伸出部與另一部分所述導向固定板相對設置。
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