【技術實現步驟摘要】
本技術涉及單晶硅棒清洗設備,尤其涉及一種全自動單晶硅棒清洗設備。
技術介紹
1、單晶硅棒是由高純度硅材料通過熔融、結晶和拉伸等工藝制成的長棒狀產品。它具有高度純凈、晶體結構完整、無雜質和無缺陷等特點,被廣泛應用于半導體材料和器件制備的工藝中。單晶硅棒可用于制備各種硅片、硅片基板和硅片襯底等材料,是半導體工業中的重要原材料。在新能源電池在生產過程中,需要對單晶硅進行酸洗,以去除單晶硅生產過程中表面的雜質、膠點、油污。現有的單晶硅棒通過人工擦拭表面或是通過酸洗液浸泡清洗,這兩種方式的效率均低,不能適應高效自動化的單晶硅棒加工處理,現有手段中缺少一種能夠將單晶硅棒外表充分擦拭以及酸洗的設備;鑒于此,本申請提出一種全自動單晶硅棒清洗設備。
技術實現思路
1、本技術的目的是針對
技術介紹
中存在的問題,提出一種全自動單晶硅棒清洗設備。
2、本技術的技術方案:一種全自動單晶硅棒清洗設備,包括用于盛放清潔液體的清洗池,所述清洗池的內部轉動安裝有用于對單晶硅棒擦拭沖洗的清洗噴淋組件;
3、所述清洗噴淋組件的下方還安裝有位于清洗池內部的傳動組件,所述傳動組件包括對單晶硅棒推動的推料板。
4、可選的,所述清洗噴淋組件包括第一毛刷輥、第二毛刷輥和第三毛刷輥,所述第一毛刷輥和第二毛刷輥呈上下方位的坡度設置,所述第二毛刷輥與第一毛刷輥的一端設置有安裝在清洗池外壁的驅動機構。
5、可選的,所述清洗池的前后兩面均開設有滑孔,所述第三毛刷輥的一端安裝有位于清洗池外壁的驅
6、可選的,所述清洗噴淋組件還包括安裝在清洗池底部內壁的水泵,所述水泵的出水端連接有水管,所述水管的下方安裝有多組噴頭,噴頭位于第一毛刷輥、第二毛刷輥和第三毛刷輥的上方。
7、可選的,所述驅動電機輸出端的外圈還通過軸承轉動套設安裝有固定環架,所述固定環架的底部連接有齒條,所述齒條的下方設置有齒輪,所述齒輪的內圈固定貫穿安裝有轉軸,所述轉軸的一端連接有伺服電機。
8、可選的,所述轉軸與清洗池之間通過軸承轉動安裝,所述轉軸的外圈還套設安裝有凸輪,所述凸輪的一側設置有接觸板,所述接觸板的一側與豎向設置的推料板連接。
9、可選的,所述推料板的底部固定連接有導向塊,所述清洗池的內壁開設有導向槽,所述導向塊位于導向槽中滑動設置,所述導向塊的一側連接有彈簧,所述彈簧的另一端與導向槽的一端內壁連接。
10、可選的,所述固定環架的一側還固定連接有限位桿,所述清洗池的前側外壁固定連接有限位環,所述限位桿貫穿限位環沿限位環的內壁水平滑動。
11、可選的,所述清洗池的側壁還開設有供單晶硅棒拿取的取料口,取料口內安裝有拆卸板。
12、與現有技術相比,本技術具有如下有益的技術效果:
13、本技術通過傾斜設置的兩組第二毛刷輥使得單晶硅棒能夠邊滾下、邊通過第二毛刷輥刷洗擦拭,通過第三毛刷輥和下方一組第二毛刷輥的設置對單晶硅棒的外表面充分擦洗同時結合水管噴淋清洗,使得單晶硅棒的清洗更為徹底,同時可以結合第三毛刷輥遠離第二毛刷輥將單晶硅棒下料,再次在清洗池中浸泡,能夠將殘留在外表面的雜質充分浸泡軟化清潔,單晶硅棒的清洗更為徹底;
14、進一步的,通過傳動組件的設置,將落入清洗池底部的單晶硅棒推到一邊,避免單晶硅棒逐個下料造成的上下碰撞,避免單晶硅棒損壞,清洗完成后通過拆卸板打開統一取出,提高單晶硅棒清洗的自動化程度,清洗效果佳,效率高;
15、綜上,本技術結構緊湊新穎,具備單晶硅棒的擦涂、沖淋、浸泡等全面清潔功能,清潔效果佳,效率高,自動化程度高。
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1.一種全自動單晶硅棒清洗設備,包括用于盛放清潔液體的清洗池(1),其特征在于:所述清洗池(1)的內部轉動安裝有用于對單晶硅棒擦拭沖洗的清洗噴淋組件(2);
2.根據權利要求1所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述清洗噴淋組件(2)包括第一毛刷輥(21)、第二毛刷輥(22)和第三毛刷輥(23),所述第一毛刷輥(21)和第二毛刷輥(22)呈上下方位的坡度設置,所述第二毛刷輥(22)與第一毛刷輥(21)的一端設置有安裝在清洗池(1)外壁的驅動機構(27)。
3.根據權利要求2所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述清洗池(1)的前后兩面均開設有滑孔(11),所述第三毛刷輥(23)的一端安裝有位于清洗池(1)外壁的驅動電機(28),所述驅動電機(28)的輸出端貫穿滑孔(11)且與滑孔(11)的內壁滑動設置。
4.根據權利要求3所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述清洗噴淋組件(2)還包括安裝在清洗池(1)底部內壁的水泵(24),所述水泵(24)的出水端連接有水管(25),所述水管(25)的下方安裝有多組噴頭(26),
5.根據權利要求3所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述驅動電機(28)輸出端的外圈還通過軸承轉動套設安裝有固定環架(34),所述固定環架(34)的底部連接有齒條(33),所述齒條(33)的下方設置有齒輪(32),所述齒輪(32)的內圈固定貫穿安裝有轉軸(35),所述轉軸(35)的一端連接有伺服電機(31)。
6.根據權利要求5所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述轉軸(35)與清洗池(1)之間通過軸承轉動安裝,所述轉軸(35)的外圈還套設安裝有凸輪(36),所述凸輪(36)的一側設置有接觸板(37),所述接觸板(37)的一側與豎向設置的推料板(38)連接。
7.根據權利要求6所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述推料板(38)的底部固定連接有導向塊(39),所述清洗池(1)的內壁開設有導向槽(12),所述導向塊(39)位于導向槽(12)中滑動設置,所述導向塊(39)的一側連接有彈簧(310),所述彈簧(310)的另一端與導向槽(12)的一端內壁連接。
8.根據權利要求6所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述固定環架(34)的一側還固定連接有限位桿(311),所述清洗池(1)的前側外壁固定連接有限位環,所述限位桿(311)貫穿限位環沿限位環的內壁水平滑動。
9.根據權利要求1所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述清洗池(1)的側壁還開設有供單晶硅棒拿取的取料口,取料口內安裝有拆卸板(4)。
...【技術特征摘要】
1.一種全自動單晶硅棒清洗設備,包括用于盛放清潔液體的清洗池(1),其特征在于:所述清洗池(1)的內部轉動安裝有用于對單晶硅棒擦拭沖洗的清洗噴淋組件(2);
2.根據權利要求1所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述清洗噴淋組件(2)包括第一毛刷輥(21)、第二毛刷輥(22)和第三毛刷輥(23),所述第一毛刷輥(21)和第二毛刷輥(22)呈上下方位的坡度設置,所述第二毛刷輥(22)與第一毛刷輥(21)的一端設置有安裝在清洗池(1)外壁的驅動機構(27)。
3.根據權利要求2所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述清洗池(1)的前后兩面均開設有滑孔(11),所述第三毛刷輥(23)的一端安裝有位于清洗池(1)外壁的驅動電機(28),所述驅動電機(28)的輸出端貫穿滑孔(11)且與滑孔(11)的內壁滑動設置。
4.根據權利要求3所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述清洗噴淋組件(2)還包括安裝在清洗池(1)底部內壁的水泵(24),所述水泵(24)的出水端連接有水管(25),所述水管(25)的下方安裝有多組噴頭(26),噴頭(26)位于第一毛刷輥(21)、第二毛刷輥(22)和第三毛刷輥(23)的上方。
5.根據權利要求3所述的一種全自動單晶硅棒清洗設備,其特征在于,所述驅動電機(28)輸出端的外圈還通過軸承轉動套設...
【專利技術屬性】
技術研發人員:丁力,成瑞娥,尤飛,呂健,周瑜,陳立柱,姚毅,李志偉,唐彬彬,
申請(專利權)人:無錫中環應用材料有限公司,
類型:新型
國別省市:
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