【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)，特別涉及一種半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)。
技術(shù)介紹
1、在半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)過程中批次在設(shè)備進(jìn)行工藝加工時(shí)，有時(shí)會(huì)出現(xiàn)設(shè)備故障導(dǎo)致批次中的部分晶圓已完成設(shè)備加工工藝、部分晶圓正在進(jìn)行設(shè)備加工工藝、還有部分晶圓未進(jìn)行設(shè)備加工工藝。為使該批次的晶圓全部都完成設(shè)備加工工藝，當(dāng)出現(xiàn)上述狀況時(shí)，就需要由設(shè)備工程師(ee)告知工藝工程師(pe)晶圓設(shè)備加工工藝狀況，然后，由工藝工程師對(duì)不同設(shè)備加工工藝狀況的晶圓分別指定不同的后續(xù)處理流程。在此處理過程中涉及不同部門、人員、環(huán)節(jié)之間的信息傳遞，容易出現(xiàn)信息傳遞不及時(shí)及信息不準(zhǔn)確的情況，進(jìn)而發(fā)生一些不合理的加工情況：例如，本應(yīng)開異常單的批次還繼續(xù)按照原有工藝流程進(jìn)行加工；已加工的晶圓的又進(jìn)行了重復(fù)加工；未加工的晶圓仍未進(jìn)行加工工藝；正在加工的晶圓未進(jìn)行返工就投入后續(xù)工藝流程等。由此，導(dǎo)致生產(chǎn)成本上升、產(chǎn)品良率降低，生產(chǎn)效率低下。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本專利技術(shù)為了解決上述問題，目的在于提供一種半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)管控該批次異常單的生產(chǎn)情況。
2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本專利技術(shù)采用如下技術(shù)方案：
3、本專利技術(shù)提供一種半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：包括設(shè)備報(bào)警信號(hào)采集單元、異常單創(chuàng)建單元、簽核管控單元、異常單執(zhí)行處理單元、異常單關(guān)閉單元，其中，設(shè)備報(bào)警信號(hào)采集單元用于采集加工設(shè)備故障發(fā)出的報(bào)警信號(hào)；異常單創(chuàng)建單元根據(jù)報(bào)警信號(hào)創(chuàng)建批次異常單；簽核管控單元用于實(shí)現(xiàn)各
4、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，異常單創(chuàng)建單元根據(jù)報(bào)警信號(hào)創(chuàng)建批次異常單的具體流程如下：
5、1)根據(jù)報(bào)警信號(hào)創(chuàng)建異常單警報(bào)編碼；
6、2)根據(jù)異常單警報(bào)編碼鎖定批次；
7、3)在成功鎖定批次后，判斷批次是否處于工藝加工中，當(dāng)批次處于工藝加工時(shí)，進(jìn)入步驟4)，當(dāng)批次不處于工藝加工時(shí)，則解鎖批次；
8、4)調(diào)用異常單專用暫停碼暫定批次；
9、5)創(chuàng)建批次異常單，解鎖批次。
10、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，當(dāng)設(shè)備持續(xù)發(fā)出報(bào)警信號(hào)直到人為干預(yù)的過程中，批次的異常單只能創(chuàng)建一個(gè)。
11、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，異常單創(chuàng)建單元還設(shè)置有手動(dòng)創(chuàng)建模塊，用于人為手動(dòng)創(chuàng)建批次異常單。
12、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，簽核管控單元包括created模塊、waitingeesign模塊、waitingeeapprove模塊、waitingpesign模塊、waitingpeapprove模塊、waitingreview模塊、approved模塊；created模塊接收創(chuàng)建的批次異常單顯示為已創(chuàng)建狀態(tài)，具有用于取消該異常單的取消控件和用于將該異常單提交至提交waitingeesign模塊的提交控件；waitingeesign模塊用于設(shè)備工程師確認(rèn)異常單，具有用于取消該異常單的取消控件、用于簽核同意的簽核同意控件、用于簽核拒絕的簽核拒絕控件；waitingeeapprove模塊在waitingeesign模塊的簽核同意控件觸發(fā)時(shí)，通過提交控件供設(shè)備工程師提交異常單至waitingpesign模塊；或當(dāng)waitingpesign模塊的簽核拒絕控件觸發(fā)時(shí)，通過取消控件供設(shè)備工程師取消異常單；waitingpesign模塊用于工藝工程師確認(rèn)異常單，具有用于取消該異常單的取消控件、用于簽核同意的簽核同意控件、用于簽核拒絕的簽核拒絕控件；waitingpeapprove模塊在waitingpesign模塊的簽核同意控件觸發(fā)時(shí)，通過提交控件供工藝工程師提交異常單至waitingreview模塊；或當(dāng)waitingreview模塊的簽核拒絕控件觸發(fā)時(shí)，通過取消控件供工藝工程師取消異常單；waitingreview模塊用于工藝領(lǐng)導(dǎo)復(fù)核異常單，具有用于取消該異常單的取消控件、用于簽核同意的簽核同意控件、用于簽核拒絕的簽核拒絕控件；approved模塊在waitingreview模塊的簽核同意控件觸發(fā)時(shí)，顯示為已提交狀態(tài)，作為觸發(fā)異常單執(zhí)行處理單元執(zhí)行流程的觸發(fā)狀態(tài)。
13、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，簽核管控單元的簽核管控流程由工廠辦公系統(tǒng)執(zhí)行。
14、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，異常單關(guān)閉單元還在簽核管控單元中的取消控件被觸發(fā)后關(guān)閉該批次異常單。
15、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，異常單執(zhí)行處理單元的處理流程具體如下：
16、1)解除批次暫停；
17、2)按照晶圓加工狀況進(jìn)行分批，分為已完成加工子批、正在加工子批、還未加工子批；
18、3)將子批按照相應(yīng)的處理流程進(jìn)入處理：已完成加工子批按批次出站，正在加工子批進(jìn)入返工流程，還未加工子批取消出站；
19、4)子批完成處理流程后進(jìn)行合批；
20、5)全部子批合批完成時(shí)，解除批次異常單控制或由父異常單控制。
21、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，返工流程由臨時(shí)工程變更控制模塊控制，臨時(shí)工程變更控制模塊控制返工流程中的工藝參數(shù)，該工藝參數(shù)包括：設(shè)備參數(shù)、產(chǎn)品工藝配方、設(shè)備工藝配方、光刻板參數(shù)。
22、進(jìn)一步地，在本專利技術(shù)提供的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，返工流程包括以下步驟：
23、a)異常單由指定揀片機(jī)執(zhí)行分揀；
24、b)創(chuàng)建揀片機(jī)任務(wù)；
25、c)根據(jù)揀片機(jī)任務(wù)對(duì)每個(gè)子批創(chuàng)建在合批工步的未來暫停；
26、d)該子批進(jìn)行工藝流程。
27、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本專利技術(shù)的有益效果：
28、1.本專利技術(shù)的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)根據(jù)設(shè)備發(fā)出的指定的設(shè)備報(bào)警信號(hào)編碼產(chǎn)生批次的異常單，防止人為失誤使應(yīng)進(jìn)行異常處理的批次遺漏進(jìn)入原定制程，從而導(dǎo)致產(chǎn)品良率低下。
29、2.本專利技術(shù)的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)中，批次一旦產(chǎn)生異常單后立即在原定制程中暫停(hold)，批次的控制權(quán)轉(zhuǎn)為異常單控制，異常單涉及的相關(guān)部門、人員報(bào)告批次加工失敗和后續(xù)處理信息并通過簽核及時(shí)進(jìn)行推送以保證信息傳遞的準(zhǔn)確性和及時(shí)性，防止批次出現(xiàn)遺漏延長(zhǎng)批次的制程時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。
30、3本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：包括設(shè)備報(bào)警信號(hào)采集單元、異常單創(chuàng)建單元、簽核管控單元、異常單執(zhí)行處理單元、異常單關(guān)閉單元，
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
4.如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
7.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
9.如權(quán)利要求8所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
10.如權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
【技術(shù)特征摘要】
1.一種半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：包括設(shè)備報(bào)警信號(hào)采集單元、異常單創(chuàng)建單元、簽核管控單元、異常單執(zhí)行處理單元、異常單關(guān)閉單元，
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
4.如權(quán)利要求1或2所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單處理的生產(chǎn)控制系統(tǒng)，其特征在于：
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體實(shí)時(shí)異常單...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：黃國明，姜罡，葉宇暉，王文瑞，姜志，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：上海哥瑞利軟件股份有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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