【技術實現步驟摘要】
本技術涉及半導體硅晶圓片腐蝕清洗，具體是指一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置。
技術介紹
1、在半導體硅晶圓片工序中，需要使用化學腐蝕的工藝，來消除因切片、研磨等機械加工而產生的損傷層。中國半導體市場需求很大，但人工成本不斷攀升，迫使半導體硅晶圓片生產廠商提高自動化設備的程度，要求一次腐蝕的產品數量最大化來擴大產能，并改進工藝提高晶圓片的良品率。
2、現有技術，存在以下問題：
3、(1)因一次腐蝕很多晶圓片，故裝片完成的腐蝕籠過重且體積較大，不容易裝夾到腐蝕清洗機上；(2)腐蝕籠的轉軸是圓形，在裝滿100片晶圓片的腐蝕籠在重載情況下高速旋轉，又因裝夾點的圓形卡槽因磨損產生間隙，并突然停止狀態下，會導致腐蝕籠的轉軸與裝夾點相對旋轉轉動；(3)靜置狀態下進行晶圓片的腐蝕，導致表面晶圓片的表面腐蝕的不均勻，使晶圓片的良品率降低，故需要在腐蝕過程中腐蝕籠在可控狀態下勻速自轉；
4、故現需要一種可以把腐蝕籠便捷的安裝在裝夾點的鎖緊結構，并可防止腐蝕籠的轉軸與裝夾點相對轉動，且腐蝕過程中腐蝕籠在可控狀態下可以勻速自轉的一套機構。
技術實現思路
1、本技術要解決的技術問題是克服以上的技術缺陷，提供一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置。
2、為解決上述技術問題，本技術提供的技術方案為一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，包括u型支撐架體，所述u型支撐架體的兩側分別設有主動旋轉機構和從動旋轉機構，所述主動旋轉機構和從動旋轉機構上分別設有用
3、優選地，所述主動旋轉機構包括主動擋套，所述主動擋套的內部設有主動軸承和主動隔套，所述主動軸承的兩側分別設有主動鎖緊擋套和限位軸擋，所述限位軸擋的外端設有傳動齒輪，所述傳動齒輪的外端設有主動限位板；
4、所述從動旋轉機構包括從動擋套，所述從動擋套內部設有從動軸承和從動隔套，所述從動擋套的兩側分別設有從動限位擋套和從動鎖緊擋套。
5、優選地，所述傳動鎖定承載機構包括主動軸，所述主動軸的一端為帶齒輪鍵槽的圓軸且圓軸端穿過主動旋轉機構并與傳動齒輪的內孔連接，所述主動軸另一端為帶主動限位卡槽的半軸端，所述主動限位卡槽上口設有主動入槽倒角；
6、所述從動鎖定承載機構包括從動軸，所述從動軸的一端為從動圓軸且另一端為帶從動限位卡槽的半軸端，所述從動限位卡槽上口設有從動入槽倒角，所述從動軸的圓軸端伸入從動旋轉機構內部并能夠自由轉動，所述腐蝕籠兩端的方軸分別卡設在主動限位卡槽和從動限位卡槽內。
7、優選地，所述主動限位卡槽以及從動限位卡槽上均設有卡緊蓋板，所述卡緊蓋板包括方形蓋板，所述方形蓋板上設有用于螺栓穿過的安裝孔，所述方形蓋板下方設有楔形擋塊。
8、優選地，所述動能輸出機構包括輸出電機，所述輸出電機的輸出軸設有主動齒輪，所述動能傳遞機構包括多個相互嚙合連接的從動齒輪，上端所述從動齒輪與主動齒輪嚙合，且下端所述從動齒輪與傳動齒輪嚙合。
9、本技術與現有技術相比的優點在于：
10、1)該申請設計結構簡單，便于腐蝕籠的裝載及拆卸及其容易，且腐蝕籠裝上后可以鎖定翻轉總成融為一體，與鎖定翻轉總成中的每個零部件精密配合，結構強度高，可承受裝滿100片晶圓片的腐蝕籠的重載；
11、2)腐蝕籠的旋轉方軸結構可以與從動鎖定承載機構、傳動鎖定承載機構上的方形限位卡槽緊密配合，在加上卡緊蓋板的壓制限位，可使腐蝕籠與鎖定翻轉總成連接處緊密配合，可以保證腐蝕籠在重載、高速旋轉情況下急停，杜絕出現腐蝕籠轉軸與傳動鎖定承載機構的相對旋轉滑動；
12、3)動能輸出機構可根據工藝要求精密控制旋轉速度、旋轉時間、旋轉方向的正反，可嚴格控制腐蝕精度與均勻性，自動化程度高，腐蝕效率高，無需人工參與，提高了產品的潔凈度，提高了產品的質量。
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1.一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征在于，包括U型支撐架體(1)，所述U型支撐架體(1)的兩側分別設有主動旋轉機構(6)和從動旋轉機構(5)，所述主動旋轉機構(6)和從動旋轉機構(5)上分別設有用于固定腐蝕籠(9)的傳動鎖定承載機構(3)和從動鎖定承載機構(2)，所述U型支撐架體(1)內還安裝有動能輸出機構(8)以及與動能輸出機構(8)配合的動能傳遞機構(7)，所述動能輸出機構(8)通過動能傳遞機構(7)驅動主動旋轉機構(6)的轉動。
2.根據權利要求1所述的一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征在于，所述主動旋轉機構(6)包括主動擋套(6-3)，所述主動擋套(6-3)的內部設有主動軸承(6-1)和主動隔套(6-4)，所述主動軸承(6-1)的兩側分別設有主動鎖緊擋套(6-2)和限位軸擋(6-5)，所述限位軸擋(6-5)的外端設有傳動齒輪(6-6)，所述傳動齒輪(6-6)的外端設有主動限位板(6-7)；
3.根據權利要求2所述的一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征在于，所述傳動鎖定承載機構(3)包括主動軸，所述主動軸的一
4.根據權利要求3所述的一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征在于，所述主動限位卡槽(3-1)以及從動限位卡槽(2-1)上均設有卡緊蓋板(4)，所述卡緊蓋板(4)包括方形蓋板(4-1)，所述方形蓋板(4-1)上設有用于螺栓穿過的安裝孔，所述方形蓋板(4-1)下方設有楔形擋塊(4-2)。
5.根據權利要求2所述的一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征在于，所述動能輸出機構(8)包括輸出電機(8-1)，所述輸出電機(8-1)的輸出軸設有主動齒輪(8-2)，所述動能傳遞機構(7)包括多個相互嚙合連接的從動齒輪(7-1)，上端所述從動齒輪(7-1)與主動齒輪(8-2)嚙合，且下端所述從動齒輪(7-1)與傳動齒輪(6-6)嚙合。
...【技術特征摘要】
1.一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征在于，包括u型支撐架體(1)，所述u型支撐架體(1)的兩側分別設有主動旋轉機構(6)和從動旋轉機構(5)，所述主動旋轉機構(6)和從動旋轉機構(5)上分別設有用于固定腐蝕籠(9)的傳動鎖定承載機構(3)和從動鎖定承載機構(2)，所述u型支撐架體(1)內還安裝有動能輸出機構(8)以及與動能輸出機構(8)配合的動能傳遞機構(7)，所述動能輸出機構(8)通過動能傳遞機構(7)驅動主動旋轉機構(6)的轉動。
2.根據權利要求1所述的一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征在于，所述主動旋轉機構(6)包括主動擋套(6-3)，所述主動擋套(6-3)的內部設有主動軸承(6-1)和主動隔套(6-4)，所述主動軸承(6-1)的兩側分別設有主動鎖緊擋套(6-2)和限位軸擋(6-5)，所述限位軸擋(6-5)的外端設有傳動齒輪(6-6)，所述傳動齒輪(6-6)的外端設有主動限位板(6-7)；
3.根據權利要求2所述的一種用于酸腐蝕機上的腐蝕籠鎖緊及自轉裝置，其特征...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王云飛，賈世杰，魏守沖，
申請(專利權)人：磐石創新江蘇電子裝備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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