System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和長度必須引用該字符串內的位置。 參數名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 亚洲综合无码精品一区二区三区,亚洲日韩激情无码一区,无码区日韩特区永久免费系列 
  • 

  • 
<ul id="o6k0g"></ul>
    <ul id="o6k0g"></ul>
    

    

    
    
      
    
          
          
    
            
    
                
    
                    
    
                        
    
                            
    馬賽克疊對目標制造技術
    
                            
    技術編號：43908756 閱讀：11 留言：0更新日期：2025-01-03 13:17
    
                        
    
                        
    
                            
                            一種馬賽克疊對目標可包含跨樣本分布的兩個或更多個單元組，其中每一單元組包含一或多個單元，其中每一單元組經定向以具有相對于所述馬賽克疊對目標的中心軸的鏡像對稱性或相對于所述馬賽克疊對目標的中心點的旋轉對稱性中的至少一者。所述單元組可根據度量衡配方配置，使得基于所述度量衡配方產生的所述馬賽克疊對目標的圖像包含適合于兩個或更多個疊對測量的度量衡數據。所述疊對測量中的特定者可基于與所述單元組中的至少一者相關聯的所述圖像的部分。所述兩個或更多個疊對測量中的至少兩者可為所述樣本的共同性質的替代測量。
    
                            
                            
    


    
                            

                            
    【技術實現步驟摘要】
    
                                【國外來華專利技術】
    本公開大體上涉及疊對目標且更特定來說，涉及提供多個替代疊對測量的度量衡目標。

    技術介紹
    1、疊對度量衡測量(例如，疊對測量)特性化樣本的不同層的相對配準(或錯位)。基于圖像的疊對技術通常基于經成像疊對目標特征的相對位置產生疊對測量。隨著經制造特征的大小減小及特征密度增加，對特性化這些特征所需的疊對度量衡系統的需求增加。不同疊對度量衡技術可在準確度、可重復性或處理能力之間提供不同折衷。因此，需要開發用以解決上述缺陷的系統及方法。

    技術實現思路
    1、根據本公開的一或多個說明性實施例，公開一種馬賽克疊對目標。在一個說明性實施例中，所述目標包含跨樣本分布的兩個或更多個單元組，其中每一單元組包含一或多個單元，且其中每一單元組經定向以具有相對于所述馬賽克疊對目標的中心軸的鏡像對稱性或相對于所述馬賽克疊對目標的中心點的旋轉對稱性中的至少一者。在另一說明性實施例中，所述兩個或更多個單元組根據度量衡配方配置，使得根據所述度量衡配方產生的所述馬賽克疊對目標的一或多個圖像包含適合于兩個或更多個疊對測量的度量衡數據，其中所述兩個或更多個疊對測量中的特定者是基于與所述兩個或更多個單元組中的至少一者相關聯的所述一或多個圖像的部分。在另一說明性實施例中，所述兩個或更多個疊對測量中的至少兩者啊所述樣本的共同性質的替代測量，其中所述兩個或更多個單元組中的至少兩者是根據所述度量衡配方配置以提供與所述替代測量相關聯的所述度量衡數據的替代部分。
    2、根據本公開的一或多個說明性實施例，公開一種疊對度量衡系統。在一個說明性實施例中，所述系統包含照明源，所述照明源配置以產生一或多個照明光束。在另一說明性實施例中，所述系統包含一或多個光學元件，所述一或多個光學元件經配置以在實施度量衡配方時用所述一或多個照明光束照明樣本上的馬賽克疊對目標。在另一說明性實施例中，所述目標包含跨樣本分布的兩個或更多個單元組，其中每一單元組包含一或多個單元，其中每一單元組經定向以具有相對于所述馬賽克疊對目標的中心軸的鏡像對稱性或相對于所述馬賽克疊對目標的中心點的旋轉對稱性中的至少一者。在另一說明性實施例中，所述兩個或更多個單元組是根據度量衡配方配置，使得根據所述度量衡配方產生的所述馬賽克疊對目標的一或多個圖像包含適合于兩個或更多個疊對測量的度量衡數據，其中所述兩個或更多個疊對測量中的特定者是基于與所述兩個或更多個單元組中的至少一者相關聯的所述一或多個圖像的部分。在另一說明性實施例中，所述兩個或更多個疊對測量中的至少兩者是所述樣本的共同性質的替代測量，其中所述兩個或更多個單元組中的至少兩者是根據所述度量衡配方配置以提供與所述替代測量相關聯的所述度量衡數據的替代部分。在另一說明性實施例中，所述系統包含一或多個檢測器，所述一或多個檢測器用以在實施所述度量衡配方時基于來自所述一或多個照明光束的所述照明產生所述馬賽克疊對目標的所述一或多個圖像。在另一說明性實施例中，所述系統包含控制器。在另一說明性實施例中，所述控制器通過以下步驟實施所述度量衡配方：接收所述馬賽克疊對目標的所述一或多個圖像；基于所述一或多個圖像產生所述樣本的至少兩個疊對測量。在另一說明性實施例中，所述兩個或更多個疊對測量中的特定者是基于與所述兩個或更多個單元組中的至少一者相關聯的所述一或多個圖像的部分，其中所述兩個或更多個疊對測量中的至少兩者是所述樣本的共同性質的替代測量，且其中所述兩個或更多個單元組中的至少兩者是根據所述度量衡配方配置以提供與所述替代測量相關聯的所述度量衡數據的替代部分。
    3、根據本公開的一或多個說明性實施例，公開一種疊對度量衡方法。在一個說明性實施例中，所述方法包含根據度量衡配方用一或多個照明光束照明樣本上的一或多個馬賽克疊對目標，其中所述馬賽克疊對目標中的每一者包含跨所述樣本分布的兩個或更多個單元組。在另一說明性實施例中，每一單元組包含一或多個單元，其中每一單元組經定向以具有相對于所述馬賽克疊對目標的中心軸的鏡像對稱性或相對于所述馬賽克疊對目標的中心點的旋轉對稱性中的至少一者，其中所述兩個或更多個單元組是根據所述度量衡配方配置，使得根據所述度量衡配方產生的所述馬賽克疊對目標的一或多個圖像包含適合于兩個或更多個疊對測量的度量衡數據，且其中所述兩個或更多個疊對測量中的特定者是基于與所述兩個或更多個單元組中的至少一者相關聯的所述一或多個圖像的部分。在另一說明性實施例中，所述方法包含基于來自所述一或多個照明光束的所述照明產生所述馬賽克疊對目標的所述一或多個圖像。在另一說明性實施方案中，所述方法包含基于所述一或多個圖像產生所述樣本的至少兩個疊對測量，其中所述兩個或更多個疊對測量中的特定者是基于與所述兩個或更多個單元組中的至少一者相關聯的所述一或多個圖像的部分，其中所述兩個或更多個疊對測量中的至少兩者是所述樣本的共同性質的替代測量，且其中所述兩個或更多個單元組中的至少兩者是根據所述度量衡配方配置以提供與所述替代測量相關聯的所述度量衡數據的替代部分。
    4、根據本公開的一或多個說明性實施例，公開一種用于設計馬賽克疊對目標的方法。在一個說明性實施例中，所述方法包含選擇用于與馬賽克疊對目標一起產生的兩個或更多個疊對測量。在另一說明性實施例中，所述方法包含設計所述馬賽克疊對目標的兩個或更多個單元組。在另一說明性實施例中，所述目標包含跨樣本分布的兩個或更多個單元組，其中每一單元組包含一或多個單元，其中每一單元組經定向以具有相對于所述馬賽克疊對目標的中心軸的鏡像對稱性或相對于所述馬賽克疊對目標的中心點的旋轉對稱性中的至少一者，其中所述兩個或更多個單元組是根據度量衡配方配置，使得根據所述度量衡配方產生的所述馬賽克疊對目標的一或多個圖像包含適合于所述兩個或更多個疊對測量的度量衡數據，且其中所述兩個或更多個疊對測量中的特定者是基于與所述兩個或更多個單元組中的至少一者相關聯的所述一或多個圖像的部分。在另一說明性實施例中，所述兩個或更多個疊對測量中的至少兩者是所述樣本的共同性質的替代測量，其中所述兩個或更多個單元組中的至少兩者是根據所述度量衡配方配置以提供與所述替代測量相關聯的所述度量衡數據的替代部分。
    5、應理解，前文一般描述及以下詳細描述僅是示范性及解釋性且并不一定如所主張般限制本專利技術。并入說明書中且構成說明書的部分的附圖說明本專利技術的實施例且連同所述一般描述一起用于解釋本專利技術的原理。
    本文檔來自技高網...
                            
    
                            
    【技術保護點】
    
                                
    1.一種馬賽克疊對目標，其包括：
    2.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述樣本的所述共同性質包括：
    3.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個測量包括：
    4.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述替代測量包括：
    5.根據權利要求4所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩種或更多種不同疊對度量衡技術中的至少一者包括：
    6.根據權利要求4所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩種或更多種不同疊對度量衡技術中的至少一者包括：
    7.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者包括：
    8.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者包括：
    9.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元中的每一者是180度旋轉對稱的。
    10.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元包含周期性特征。
    11.根據權利要求10所述的馬賽克疊對目標，其中所述周期性特征沿著對應于測量方向的單個方向是周期性的。
    12.根據權利要求10所述的馬賽克疊對目標，其中所述周期性特征沿著對應于兩個測量方向的兩個方向是周期性的。
    13.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元包含所述樣本的兩個或更多個層上的重疊特征。
    14.根據權利要求13所述的馬賽克疊對目標，其中所述重疊特征包括：
    15.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有共同周期性。
    16.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有沿著特定方向的不同節距。
    17.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有沿著特定測量方向的不同節距。
    18.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有沿著不同測量方向的不同節距。
    19.一種疊對度量衡系統，其包括：
    20.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，基于所述替代測量中的至少一些產生合成疊對測量。
    21.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述一或多個照明光束包含單個照明光束。
    22.根據權利要求21所述的疊對度量衡系統，其中所述一或多個光學元件經配置以用所述單個照明光束以法向入射角照明所述馬賽克疊對目標。
    23.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述一或多個照明光束包含呈偶極配置的兩個照明光束，其中所述一或多個光學元件經配置以用所述兩個照明光束以傾斜入射角照明所述馬賽克疊對目標。
    24.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述一或多個照明光束包含呈四極配置的四個照明光束，其中所述一或多個光學元件經配置以用所述四個照明光束以傾斜入射角照明所述馬賽克疊對目標。
    25.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述樣本的所述共同性質包括：
    26.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述兩個或更多個測量包括：
    27.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述替代測量包括：
    28.根據權利要求27所述的疊對度量衡系統，其中所述兩種或更多種不同疊對度量衡技術中的至少一者包括：
    29.根據權利要求27所述的疊對度量衡系統，其中所述兩種或更多種不同疊對度量衡技術中的至少一者包括：
    30.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者包括：
    31.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者包括：
    32.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元中的每一者是180度旋轉對稱的。
    33.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元包含周期性特征。
    34.根據權利要求33所述的疊對度量衡系統，其中所述周期性特征沿著對應于測量方向的單個方向是周期性的。
    35.根據權利要求33所述的疊對度量衡系統，其中所述周期性特征沿著對應于兩個測量方向的兩個方向是周期性的。
    36.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統...
                            
    
                            
    【技術特征摘要】
    
                                【國外來華專利技術】
    1.一種馬賽克疊對目標，其包括：
    2.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述樣本的所述共同性質包括：
    3.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個測量包括：
    4.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述替代測量包括：
    5.根據權利要求4所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩種或更多種不同疊對度量衡技術中的至少一者包括：
    6.根據權利要求4所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩種或更多種不同疊對度量衡技術中的至少一者包括：
    7.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者包括：
    8.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者包括：
    9.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元中的每一者是180度旋轉對稱的。
    10.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元包含周期性特征。
    11.根據權利要求10所述的馬賽克疊對目標，其中所述周期性特征沿著對應于測量方向的單個方向是周期性的。
    12.根據權利要求10所述的馬賽克疊對目標，其中所述周期性特征沿著對應于兩個測量方向的兩個方向是周期性的。
    13.根據權利要求1所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個單元組中的至少一者中的所述一或多個單元包含所述樣本的兩個或更多個層上的重疊特征。
    14.根據權利要求13所述的馬賽克疊對目標，其中所述重疊特征包括：
    15.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有共同周期性。
    16.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有沿著特定方向的不同節距。
    17.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有沿著特定測量方向的不同節距。
    18.根據權利要求14所述的馬賽克疊對目標，其中所述兩個或更多個層上的所述周期性特征具有沿著不同測量方向的不同節距。
    19.一種疊對度量衡系統，其包括：
    20.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，基于所述替代測量中的至少一些產生合成疊對測量。
    21.根據權利要求19所述的疊對度量衡系統，其中所述一或多個照明光束包含單個照明光束。
    22.根據權利要求21所述的疊對度量衡系統，其中所述一或多個光學元件經配置以用所述單個照明光束以法向入射角照明所述馬賽克疊對目標。
    23.根據權利要求19所述的疊對...
                            
    
                            
    【專利技術屬性】
    
                                技術研發人員：Y·弗萊，
    
        申請(專利權)人：科磊股份有限公司，
    
        類型：發明
    
        國別省市：
    
                            
    
                            
                        
    
                    
    
                    
                    
                     
                
    
                
                
    
                    
    
                        網友詢問留言
                        已有0條評論
                    
    
                    
    
                        
    
                            
      
                                
    • 
                                
						

      還沒有人留言評論。發表了對其他瀏覽者有用的留言會獲得科技券。
      


                              
                            
    
                            
    
                                 1 

                            
    
                        
    
                        
                        
    
                            
    
                              
                            
    
                            
                        
    
                    
    
                
    
            
    
              
             
          
    
      
    
    
    

    
    
    




  


主站蜘蛛池模板：
无码av人妻一区二区三区四区|
日韩AV无码精品一二三区|
亚洲国产精品无码久久久蜜芽|
精品无码一区二区三区水蜜桃|
伊人久久精品无码av一区|
亚洲爆乳精品无码一区二区三区|
国产午夜无码视频免费网站|
精品久久久无码中字|
日本爆乳j罩杯无码视频|
亚洲日韩中文无码久久|
蜜桃无码一区二区三区|
亚洲精品无码mv在线观看网站|
蜜桃成人无码区免费视频网站|
99久久亚洲精品无码毛片|
亚洲中文字幕久久精品无码2021|
免费无码午夜福利片69|
内射精品无码中文字幕|
亚洲youwu永久无码精品|
精品久久久久久无码中文字幕|
久久国产精品无码网站|
一本大道久久东京热无码AV|
亚洲精品午夜无码电影网|
亚洲av无码专区亚洲av不卡|
人妻无码一区二区三区四区|
亚洲国产成人无码AV在线影院|
亚洲av无码片在线观看|
变态SM天堂无码专区|
无码国产精品一区二区高潮|
无码少妇一区二区性色AV|
色欲aⅴ亚洲情无码AV|
国产精品亚洲αv天堂无码|
亚洲av无码精品网站|
曰韩无码无遮挡A级毛片|
日韩放荡少妇无码视频|
永久免费AV无码网站在线观看|
久久人妻少妇嫩草AV无码专区|
无码人妻丰满熟妇区五十路|
无码人妻熟妇AV又粗又大|
亚洲av无码片vr一区二区三区|
日韩激情无码免费毛片|
午夜无码伦费影视在线观看|