【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及潔凈度檢測，尤其涉及一種夾具污染程度的檢測控制方法。
技術介紹
1、光掩膜基板制作過程中需要在潔凈的玻璃基板上采用磁控濺射或蒸發鍍膜等方式鍍一層鉻膜，而玻璃基板的潔凈的效果直接影響了鍍膜針孔漏光及膜層的致密性。在清洗過程中最重要的目的是處理玻璃表面的顆粒，其前提是槽體及部件本身沒有污染。而實際上設備在運轉過程中，顆粒的產生由多方面原因造成，如玻璃基板上顆粒的脫落未能及時自潔而造成的污染、停機后設備潮濕部件滋生的細菌、設備運轉過程中摩擦等原因造成的污染，一般情況下需要定期進行人工清理。另外一個方面，隨著新技術的推進，在多槽式連體清洗設備的純水漂洗的部分安裝在線式的電導率測試儀和顆粒測試儀，能時刻監控漂洗槽的電導率及顆粒情況，根據電導率的大小及顆粒測試的數據來判斷槽體的殘留或污染情況。
2、這種方式能及時地監控整個槽體的污染情況，但污染源無法判斷，而槽體又比較復雜，通常情況下循環及進水管道、氣體、槽體內壁、過濾器、清洗籃及清洗籃夾具等均是潛在的污染源，所采取的措施主要以嘗試性的換水、衛生處理等方式為主。如果沒有在線式的檢測裝置，對具體槽位的判斷只能通過實驗逐一排除，比如讓清洗籃裝片不經過某個槽體實驗流片，根據產品的情況，判斷該槽有無污染；同樣采用目視檢查的方法不一定能找到哪個具體的部件，往往采用整體槽體衛生的方式嘗試恢復。這些部件之中，清洗夾具屬于共用部件：它夾帶玻璃基板一起經歷清洗上料、清洗、卸料過程，且與玻璃基板直接接觸，其污染與否、污染程度不亞于純水污染對產品的影響。
3、在清洗過程中只有
技術實現思路
1、鑒于目前夾具檢測方法存在的上述不足，本專利技術提供一種夾具污染程度的檢測控制方法，能夠定量確認夾具有無異常，為精細化的管理提供決策依據。
2、為達到上述目的，本專利技術的實施例采用如下技術方案：
3、一種夾具污染程度的檢測控制方法，包括以下步驟：
4、從清洗籃上取下夾具，用純水進行沖洗；
5、將清洗后的夾具，放入純水超聲波中進行超聲處理，所述超聲波的音壓強度范圍為0.1-0.2mv；
6、取樣清洗后的純水廢液，在培養箱中進行細菌培養；
7、獲取細菌團聚數量；
8、根據培養后的細菌團聚數量判斷夾具的污染情況；
9、若判斷夾具受污染則對對應受污染的夾具進行浸泡處理或高溫烘烤處理；
10、對處理過后的夾具進行沖洗，完成潔凈度控制。
11、依照本專利技術的一個方面，對夾具進行分類，根據所述夾具的材質不同分為耐高溫、耐強酸、耐弱酸三類。
12、依照本專利技術的一個方面，所述夾具的材質為耐高溫材質，則對所述受污染的夾具采用高溫烘烤方式進行處理。
13、依照本專利技術的一個方面，所述高溫烘烤的溫度為140-200℃，所述高溫烘烤的時間為10-30min。
14、依照本專利技術的一個方面，所述夾具的材質為耐強酸材質，則對所述受污染的夾具進行濃度為98％的濃硫酸浸泡處理。
15、依照本專利技術的一個方面，所述夾具的材質為耐弱酸材質，則對所述受污染的夾具進行濃度為0.5％-1％的鹽酸浸泡處理或采用濃度為30％的雙氧水按照體積比為1:2配純水進行浸泡處理。
16、依照本專利技術的一個方面，所述對處理過后的夾具進行沖洗包括對處理過后的夾具采用ipa清洗擦洗和純水沖洗。
17、依照本專利技術的一個方面，所述取樣清洗后的純水廢液，在培養箱中進行細菌培養包括：取樣200毫升清洗后的純水廢液，在恒溫生化培養箱中進行細菌培養，培養溫度為37℃，培養時間為24h。
18、依照本專利技術的一個方面，所述浸泡處理的時間為30min-120min。
19、本專利技術實施的優點：
20、(1)傳統的顆粒監控方式為在線式顆粒監控，即在待檢測的槽體內安裝顆粒檢測探頭測試槽內的電導率情況，它根據電導率等數據來判斷污染的程度。但由于槽體結構部件較多(過濾器、噴淋管、槽體、清洗籃、產品本身、洗籃夾具等)，無法判斷是何處污染，也未提供具體的處理方式；而且這種在線式的方式只適合于純水槽，因為超聲洗劑槽、酸堿槽本身就有較多的離子濃度，無法通過電導率的在線式檢測來判斷污染情況。而本專利技術解決了其中一個問題，即清洗籃夾具的問題，通過對夾具進行沖洗、超聲、取樣確認細菌情況來判斷夾具的污染程度，再根據夾具耐酸耐溫情況，分別采用高溫烘烤、強酸浸泡、弱酸浸泡等方式進行殺菌消毒，再進行ipa擦洗及純水沖淋，即可消除污染。
21、(2)本專利技術為精細化決策提供一種有針對性的方案，首先可以通過本方案判斷夾具是否污染以及污染的程度，不再是當產品受到污染后，只整體對清洗的各個環節進行統一處理。而且本方法對夾具污染的程度有定量的對比，因此能夠直觀地根據細菌的數量反映污染的程度。
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1.一種夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述超聲波的音壓強度范圍為0.1-0.2mv。
3.根據權利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，對所述夾具進行分類，根據所述夾具的材質不同分為耐高溫、耐強酸、耐弱酸三類。
4.根據權利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質為耐高溫材質，則對所述受污染的夾具采用高溫烘烤方式進行處理。
5.根據權利要求4所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述高溫烘烤的溫度為140-200℃，所述高溫烘烤的時間為10-30min。
6.根據權利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質為耐強酸材質，則對所述受污染的夾具進行濃度為98％的濃硫酸浸泡處理。
7.根據權利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質為耐弱酸材質，則對所述受污染的夾具進行濃度為0.5％-1％的鹽酸浸泡處理或采用濃度為30％的雙氧水
8.根據權利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述對處理過后的夾具進行沖洗包括對處理過后的夾具采用IPA清洗擦洗和純水沖洗。
9.根據權利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述取樣清洗后的純水廢液，在培養箱中進行細菌培養包括：取樣200毫升清洗后的純水廢液，在恒溫生化培養箱中進行細菌培養，培養溫度為37℃，培養時間為24h。
10.根據權利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述浸泡處理的時間為30min-120min。
...【技術特征摘要】
1.一種夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，包括以下步驟：
2.根據權利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述超聲波的音壓強度范圍為0.1-0.2mv。
3.根據權利要求1所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，對所述夾具進行分類，根據所述夾具的材質不同分為耐高溫、耐強酸、耐弱酸三類。
4.根據權利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質為耐高溫材質，則對所述受污染的夾具采用高溫烘烤方式進行處理。
5.根據權利要求4所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述高溫烘烤的溫度為140-200℃，所述高溫烘烤的時間為10-30min。
6.根據權利要求3所述的夾具污染程度的檢測控制方法，其特征在于，所述夾具的材質為耐強酸材質，則對所述受污染的夾具進行...
【專利技術屬性】
技術研發人員：徐根，李偉，楊旭，李翼，
申請(專利權)人：湖南普照信息材料有限公司，
類型：發明
國別省市：
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