【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本文中所描述的實施例涉及光學檢驗系統，且更特定來說，涉及一種用于此類系統的氣動升降器組合件。
技術介紹
1、檢驗過程在半導體制造過程期間的各種步驟中用于檢測晶片上的缺陷以促進制造過程的良率提高，借此獲得更高利潤。檢驗始終為制造半導體裝置的重要部分。然而，隨著半導體裝置的尺寸減小，檢驗對可接受半導體裝置的成功制造變得更重要，因為更小缺陷可引起裝置失效。
2、一些制造、度量及缺陷檢驗過程需要垂直移動襯底定位于其頂表面上的卡盤。升降器組合件支撐卡盤且致動垂直移動。例如，氣動桿可位于升降器組合件的腔室內且連接到支撐特征部及可移動板以通過引入及移除流體來實施卡盤的垂直移動。與升降器組合件一起工作的一些工具可在操作期間提供有限空間來容納全部升降器組合件特征部。前述氣動桿在升降器組合件遠離縮回(即，向下)位置延伸到向上位置時占用更多空間。此外，氣動桿在提升或施加不均勻負載時無法維持與其相鄰的支撐特征部的垂直度，借此導致桿在其內滑動的孔內的磨損。最后，氣動桿僅能夠延伸到不可調整的固定行程長度。
3、上述問題對襯底的檢驗過程提出挑戰。
技術實現思路
1、根據本專利技術的一個方面，一種用于光學系統的升降器組合件包含具有卡盤底座及可拆卸頂板的卡盤，其中所述可拆卸頂板是經配置以支撐襯底的多個可更換可拆卸頂板中的一者。所述升降器組合件還包含可移動板以將所述卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可在下縮回位置與上延伸位置之間垂直調整。所述升降器組合件進一步包含操作地耦合到所述可
2、根據本專利技術的另一方面，一種光學系統包含襯底卡盤子系統，其具有卡盤，所述卡盤具有卡盤底座及可拆卸頂板，所述可拆卸頂板經配置以支撐襯底。所述光學系統還包含可移動板以將所述卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可在下縮回位置與上延伸位置之間垂直調整。所述光學系統進一步包含操作地耦合到所述可移動板的導口管結構，其中所述導口管結構的膨脹將所述可移動板垂直調整到所述上延伸位置且所述導口管結構的收縮將所述可移動板垂直調整到所述下縮回位置。所述光學系統又進一步包含經配置以照射所述襯底的一或多個部分的照明源。所述光學系統還包含經配置以收集來自所述襯底的所述受照射的一或多個部分的照明的檢測器。
3、根據本專利技術的又一方面，一種用于垂直再定位襯底的升降器組合件包含經配置以支撐所述襯底且用真空氣壓固持所述襯底的真空卡盤。所述升降器組合件還包含可移動板以將所述真空卡盤支撐于所述可移動板的上表面上，所述可移動板可在下縮回位置與上延伸位置之間垂直調整。所述升降器組合件進一步包含操作地耦合到所述可移動板的焊接導口管結構，其中所述焊接導口管結構的膨脹將所述可移動板垂直調整到所述上延伸位置且所述導口管結構的收縮將所述可移動板垂直調整到所述下縮回位置。
4、將從結合附圖的以下描述明白這些方面及其它優點及特征。
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1.一種用于光學系統的升降器組合件，所述升降器組合件包括：
2.根據權利要求1所述的升降器組合件，其中所述氣動系統包括具有入口端口、出口端口及排放端口的螺線管，所述入口端口經流體耦合到壓縮空氣源以通過所述出口端口將壓縮空氣選擇性提供到所述導口管結構的內部腔室中以膨脹所述導口管結構，所述排放端口經流體耦合到真空產生裝置以從所述導口管結構的所述內部腔室抽出壓縮空氣以收縮所述導口管結構。
3.根據權利要求1所述的升降器組合件，其進一步包括：
4.根據權利要求3所述的升降器組合件，其進一步包括從所述可移動板的所述上表面向上突出的止動件。
5.根據權利要求4所述的升降器組合件，其進一步包括與所述頂蓋一體成型的上行程限制特征部，其中所述上行程限制特征部與所述止動件之間的接觸操作地界定所述可移動板的所述上延伸位置。
6.根據權利要求4所述的升降器組合件，進一步包括經操作地耦合到所述頂蓋的上行程限制特征部，其中所述上行程限制特征部與所述止動件之間的接觸操作地界定所述可移動板的所述上延伸位置。
7.根據權利要求3所述的升降器組
8.根據權利要求3所述的升降器組合件，其進一步包括對應于所述多個導軸的數目的多個襯套外殼，所述襯套外殼中的每一者經耦合到所述可移動板且使襯套安置在其中，每一襯套同心地環繞所述多個導軸中的相應者。
9.根據權利要求1所述的升降器組合件，其進一步包括：
10.根據權利要求1所述的升降器組合件，其中所述導口管結構是焊接導口管結構。
11.根據權利要求1所述的升降器組合件，其中所述襯底包括半導體晶片。
12.一種光學系統，其包括：
13.根據權利要求12所述的光學系統，其中所述光學系統經配置為檢驗工具。
14.根據權利要求12所述的光學系統，其中所述光學系統經配置為度量工具。
15.根據權利要求12所述的光學系統，其進一步包括經流體耦合到所述導口管結構以選擇性膨脹及收縮的氣動系統，其中所述導口管結構的膨脹將所述可移動板垂直調整到所述上延伸位置且所述導口管結構的收縮將所述可移動板垂直調整到所述下縮回位置。
16.根據權利要求15所述的光學系統，其中所述氣動系統包括具有入口端口、出口端口及排放端口的螺線管，所述入口端口經流體耦合到壓縮空氣源以通過所述出口端口將壓縮空氣選擇性提供到所述導口管結構的內部腔室中以膨脹所述導口管結構，所述排放端口經流體耦合到真空產生裝置以從所述導口管結構的所述內部腔室抽出壓縮空氣以收縮所述導口管結構。
17.根據權利要求12所述的光學系統，進一步包括：
18.根據權利要求12所述的光學系統，進一步包括：
19.一種用于垂直再定位襯底的升降器組合件，所述升降器組合件包括：
...【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種用于光學系統的升降器組合件，所述升降器組合件包括：
2.根據權利要求1所述的升降器組合件，其中所述氣動系統包括具有入口端口、出口端口及排放端口的螺線管，所述入口端口經流體耦合到壓縮空氣源以通過所述出口端口將壓縮空氣選擇性提供到所述導口管結構的內部腔室中以膨脹所述導口管結構，所述排放端口經流體耦合到真空產生裝置以從所述導口管結構的所述內部腔室抽出壓縮空氣以收縮所述導口管結構。
3.根據權利要求1所述的升降器組合件，其進一步包括：
4.根據權利要求3所述的升降器組合件，其進一步包括從所述可移動板的所述上表面向上突出的止動件。
5.根據權利要求4所述的升降器組合件，其進一步包括與所述頂蓋一體成型的上行程限制特征部，其中所述上行程限制特征部與所述止動件之間的接觸操作地界定所述可移動板的所述上延伸位置。
6.根據權利要求4所述的升降器組合件，進一步包括經操作地耦合到所述頂蓋的上行程限制特征部，其中所述上行程限制特征部與所述止動件之間的接觸操作地界定所述可移動板的所述上延伸位置。
7.根據權利要求3所述的升降器組合件，其進一步包括上凸緣，所述上凸緣具有經安置在所述導口管結構的頂表面與所述可移動板的下表面之間的主體部分，所述上凸緣也具有向下突出部分，所述向下突出部分經定位以接觸所述底座凸緣的向上突出部分以界定所述可移動板的所述下縮回位置。
8.根據權利要求3所述的升降器組合件，其進一步包括對應于所述多個導軸的數目的多個襯套外殼，所述襯套外...
【專利技術屬性】
技術研發人員：林釗添，R·帕蒂爾，J·賈揚，
申請(專利權)人：科磊股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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