【技術實現步驟摘要】
本申請涉及半導體尾氣處理設備，尤其涉及一種尾氣處理設備用水汽分離裝置。
技術介紹
1、隨著科技的發展，芯片的需求越來越多，在芯片的生產過程中，有很多工序會產生各種酸性廢氣、堿性廢氣或者有機廢氣等，例如在化學氣相沉積、干法刻蝕、濕法刻蝕以及各種清洗環節中均會產生各種尾氣。隨著環保要求的不斷提高，工業廢氣的排放要求也不斷提高，因此，對半導體尾氣處理設備的要求也越來越高。
2、在半導體行業的尾氣處理設備中通常包括本地處理環節和廠務端中央處理環節，其中，本地處理環節通常是使用半導體尾氣處理設備進行尾氣的處理。半導體尾氣處理設備通常會經過高溫燃燒分解，之后進行水洗，水洗后的尾氣中含有大量的水汽，因此，需要將水洗后尾氣中的水汽進行分離，之后再進入廠務端的中央處理系統進行下一輪的處理。
3、現有技術中的水汽分離器通常存在水汽分離效果不理想，導致排放的尾氣中水汽含量大。因此，基于上述問題，現有技術有待進一步改進。
技術實現思路
1、為了解決上述技術問題，本申請提供了一種尾氣處理設備用水汽分離裝置，包括從下至上連通設置的第一分離腔體和第二分離腔體；所述第一分離腔體中設置有第一筒體和第二筒體，所述第一筒體頂部開口且底部設置有排水閥，所述第一分離腔體和所述第一筒體之間形成第一流通通道，所述第二筒體套設在第一筒體內，所述第二筒體頂部和底部均開口，所述第一筒體和第二筒體之間形成第二流通通道，所述第二筒體內部形成第三流通通道，尾氣進入第一分離腔體后沿第一流通通道向上流通，之后進入第一筒
2、本申請一些實施例中，所述第一流通通道內設置有若干個文丘里管，尾氣進入第一分離腔體后進入所述文丘里管并向上流通。
3、本申請一些實施例中，所述第二筒體內設置有螺旋向上的冷凝板。
4、本申請一些實施例中，所述渦旋冷凝組件包括相對交錯設置的渦旋冷凝單元，所述渦旋冷凝單元的頂部和底部均設置有多孔纖維板，各所述渦旋冷凝單元之間形成供尾氣通過的第四流通通道。
5、本申請一些實施例中，所述第四流通通道包括渦旋入口、渦旋出口以及渦旋腔室，尾氣從渦旋入口進入渦旋腔室內，在渦旋腔室內形成渦旋氣流，最后從渦旋出口流出。
6、本申請一些實施例中，所述渦旋冷凝組件呈預設傾斜角度設置。
7、本申請一些實施例中，所述渦旋冷凝單元包括內壁和外壁，所述外壁和內壁之間形成供冷卻液體通過的內腔。
8、本申請一些實施例中，所述第二分離腔體內間隔設置有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板和第二隔板將所述第二分離腔體分隔成第一冷卻液室、第二冷卻液室以及渦旋冷凝室，所述渦旋冷凝組件設置在渦旋冷凝室內，所述冷凝單元的內腔分別連通第一冷卻液室和第二冷卻液室。
9、本申請一些實施例中，所述第二分離腔體上分別設置有冷卻液出口管和冷卻液進口管，所述冷卻液進口管高于冷卻液出口管。
10、本申請一些實施例中，所述冷凝板的上表面和下表面上均設置有回流槽。
11、與現有技術相比，本技術具有以下優點和有益效果：本申請的尾氣處理設備用水汽分離裝置中設置有第一分離腔體和第二分離腔體，第一分離腔體中設置有供尾氣流通的第一流通通道、第二流通通道、第三流通通道，提升冷凝第二分離腔體內設置有渦旋冷凝組件，尾氣進入第一分離腔體后沿第一流通通道進向上流通，之后進入第一筒體內并沿第二流通通道向下流通，之后進入第二筒體內并沿第三流通通道向上流通，之后進入第二分離腔體，如此，設置多級水汽分離結構，尾氣經過多個流通通道且進行變向流通，增加了尾氣的冷凝過程，增加了尾氣與冷凝腔體的接觸面積，提升了水汽分離效果，同時，設置渦旋冷凝組件，使尾氣在流通過程中形成渦旋，使得水汽在離心力的作用下被甩出去，進一步提升水汽分離效果。
12、應當理解的是，以上的一般描述和后文的細節描述僅是示例性和解釋性的，并不能限制本文。
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1.一種尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，包括從下至上連通設置的第一分離腔體和第二分離腔體；所述第一分離腔體中設置有第一筒體和第二筒體，所述第一筒體頂部開口且底部設置有排水閥，所述第一分離腔體和所述第一筒體之間形成第一流通通道，所述第二筒體套設在第一筒體內，所述第二筒體頂部和底部均開口，所述第一筒體和第二筒體之間形成第二流通通道，所述第二筒體內部形成第三流通通道，尾氣進入第一分離腔體后沿第一流通通道向上流通，之后進入第一筒體內并沿第二流通通道向下流通，進入第二筒體內并沿第三流通通道向上流通，最后進入第二分離腔體；所述第二分離腔體內設置有渦旋冷凝組件。
2.根據權利要求1所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述第一流通通道內設置有若干個文丘里管，尾氣進入第一分離腔體后進入所述文丘里管并向上流通。
3.根據權利要求1所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述第二筒體內設置有螺旋向上的冷凝板。
4.根據權利要求1所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述渦旋冷凝組件包括相對交錯設置的渦旋冷凝單元，所述渦旋冷凝單元的頂部
5.根據權利要求4所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述第四流通通道包括渦旋入口、渦旋出口以及渦旋腔室，尾氣從渦旋入口進入渦旋腔室內，在渦旋腔室內形成渦旋氣流，最后從渦旋出口流出。
6.根據權利要求1所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述渦旋冷凝組件呈預設傾斜角度設置。
7.根據權利要求4所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述渦旋冷凝單元包括內壁和外壁，所述外壁和內壁之間形成供冷卻液體通過的內腔。
8.根據權利要求7所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述第二分離腔體內間隔設置有第一隔板和第二隔板，所述第一隔板和第二隔板將所述第二分離腔體分隔成第一冷卻液室、第二冷卻液室以及渦旋冷凝室，所述渦旋冷凝組件設置在渦旋冷凝室內，所述冷凝單元的內腔分別連通第一冷卻液室和第二冷卻液室。
9.根據權利要求8所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述第二分離腔體上分別設置有冷卻液出口管和冷卻液進口管，所述冷卻液進口管高于冷卻液出口管。
10.根據權利要求3所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述冷凝板的上表面和下表面上均設置有回流槽。
...【技術特征摘要】
1.一種尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，包括從下至上連通設置的第一分離腔體和第二分離腔體；所述第一分離腔體中設置有第一筒體和第二筒體，所述第一筒體頂部開口且底部設置有排水閥，所述第一分離腔體和所述第一筒體之間形成第一流通通道，所述第二筒體套設在第一筒體內，所述第二筒體頂部和底部均開口，所述第一筒體和第二筒體之間形成第二流通通道，所述第二筒體內部形成第三流通通道，尾氣進入第一分離腔體后沿第一流通通道向上流通，之后進入第一筒體內并沿第二流通通道向下流通，進入第二筒體內并沿第三流通通道向上流通，最后進入第二分離腔體；所述第二分離腔體內設置有渦旋冷凝組件。
2.根據權利要求1所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述第一流通通道內設置有若干個文丘里管，尾氣進入第一分離腔體后進入所述文丘里管并向上流通。
3.根據權利要求1所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述第二筒體內設置有螺旋向上的冷凝板。
4.根據權利要求1所述的尾氣處理設備用水汽分離裝置，其特征在于，所述渦旋冷凝組件包括相對交錯設置的渦旋冷凝單元，所述渦旋冷凝單元的頂部和底部均設置有多孔纖維板，各所述渦旋冷凝單元之間形成供尾氣通過的第四流通通道。...
【專利技術屬性】
技術研發人員：崔漢博，杜全成，
申請(專利權)人：上海高笙集成電路設備有限公司，
類型：新型
國別省市：
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