【技術實現步驟摘要】
【國外來華專利技術】
本專利技術大體上涉及疊加計量，且更特定來說，涉及一種用于允許疊加目標的緊湊節距設計的疊加計量的系統及方法。
技術介紹
1、減小特征大小及增加特征密度的需求導致對準確且高效疊加計量的需求增加。疊加計量是指樣本(例如但不限于半導體裝置)上的層的相對對準的測量。
2、疊加目標通常形成于晶片樣本的表面上且可包含具有在重疊層中具有各種節距的光柵結構的單元。晶片樣本通常安裝于平移載物臺上且經平移使得疊加目標循序移動到測量視場中。在采用移動及測量(mam)方法的典型計量系統中，樣本在每一測量期間是靜態的。然而，使平移載物臺在測量之前穩定所需的時間可能會負面地影響處理能力。
3、此外，各種來源可將誤差引入到疊加計量數據中。此外，晶片上的占用面積空間很有價值。
4、因此，期望提供用于消除上述缺陷的系統及方法。
技術實現思路
1、公開一種根據本公開的一或多個說明性實施例的疊加計量系統。在一個說明性實施例中，所述疊加計量系統可包含包括經配置以執行程序指令的一或多個處理器的控制器，所述程序指令引起所述一或多個處理器執行計量配方。在另一說明性實施例中，所述計量配方可包含從一或多個檢測器接收來自樣本(例如，晶片)的疊加目標的檢測信號及基于所述檢測信號確定所述疊加目標的一或多個疊加測量。在另一說明性實施例中，所述疊加目標可包含在所述樣本的單元的兩個或更多個層上的多層結構。在另一說明性實施例中，所述多層結構可包含每一層中的結構，所述結構在一或多個周期性方向上具有一或多個節距。在
2、應了解，前述一般描述及以下“具體實施方式”兩者僅為示范性及說明性，且不一定限制如所主張的本專利技術。并入于本說明書中且構成本說明書的部分的附圖說明本專利技術的實施例且連同一般描述一起用來說明本專利技術的原理。
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1.一種疊加計量系統，其包括：
2.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述樣本的所述掃描包括一或多個掃描方向上的一或多次掃描，其中所述一或多個掃描方向包括所述第一方向及所述第二方向。
3.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述樣本的所述掃描包括一或多個掃描方向上的一或多次掃描，其中所述一或多個掃描方向包括不同于所述第一方向及所述第二方向兩者的第三方向。
4.根據權利要求3所述的疊加計量系統，其中所述檢測信號包括對應于所述第一方向上的衍射級的第一檢測信號，以及對應于所述第二方向上的衍射級的第二檢測信號。
5.根據權利要求4所述的疊加計量系統，其中所述一或多個疊加測量的所述確定包括：
6.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個檢測器包括定位于光瞳平面中的至少一個檢測器。
7.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個檢測器包括至少一個二極管陣列傳感器。
8.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述照明光束的照明光瞳平面分布是圓形的。
9.根據權利要求1所述的疊
10.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述檢測信號包含與來自所述多層結構的一級衍射與零級衍射之間的重疊相關聯的時變干擾信號。
11.根據權利要求1所述的疊加計量系統，所述照明子系統進一步包括經配置以產生外部光束作為所述照明光束的部分的光束分離器，其中所述檢測信號包含與來自所述多層結構的一級衍射與所述外部光束之間的重疊相關聯的時變干擾信號。
12.一種疊加計量系統，其包括：
13.根據權利要求12所述的疊加計量系統，其中所述控制器進一步經配置以通過沿著一或多個掃描方向掃描所述樣本而執行所述計量配方，其中所述一或多個掃描方向包括所述第一方向及所述第二方向。
14.根據權利要求12所述的疊加計量系統，其中所述控制器進一步經配置以通過沿著一或多個掃描方向掃描所述樣本而執行所述計量配方，其中所述一或多個掃描方向包括不同于所述第一方向及所述第二方向兩者的第三方向。
15.根據權利要求12所述的疊加計量系統，其中所述一或多個檢測器包括定位于光瞳平面中的至少一個檢測器。
16.根據權利要求12所述的疊加計量系統，其中所述一或多個檢測器包括至少一個二極管陣列傳感器。
17.一種疊加計量目標，其包括：
18.根據權利要求17所述的疊加計量目標，其中所述多層結構包括：
19.根據權利要求17所述的疊加計量目標，其中所述多層結構包括：
20.根據權利要求19所述的疊加計量目標，其中所述多層結構包括：
21.根據權利要求20所述的疊加計量目標，其中所述多層結構經配置以沿著第三方向掃描，其中所述第三方向不同于所述第一方向及所述第二方向。
22.根據權利要求21所述的疊加計量目標，其中所述多層結構沿著所述第三方向具有掃描長度，所述掃描長度大于所述多層結構的寬度，其中正交于所述第三方向測量所述寬度。
23.根據權利要求17所述的疊加計量目標，其中所述多層結構經配置以沿著第三方向掃描，其中所述第三方向不同于所述第一方向及所述第二方向，其中所述第三方向與所述第一方向及所述第二方向相距45度，相差不超過10度。
24.根據權利要求17所述的疊加計量目標，其中所述多層結構進一步包括：
...【技術特征摘要】
【國外來華專利技術】
1.一種疊加計量系統，其包括：
2.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述樣本的所述掃描包括一或多個掃描方向上的一或多次掃描，其中所述一或多個掃描方向包括所述第一方向及所述第二方向。
3.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述樣本的所述掃描包括一或多個掃描方向上的一或多次掃描，其中所述一或多個掃描方向包括不同于所述第一方向及所述第二方向兩者的第三方向。
4.根據權利要求3所述的疊加計量系統，其中所述檢測信號包括對應于所述第一方向上的衍射級的第一檢測信號，以及對應于所述第二方向上的衍射級的第二檢測信號。
5.根據權利要求4所述的疊加計量系統，其中所述一或多個疊加測量的所述確定包括：
6.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個檢測器包括定位于光瞳平面中的至少一個檢測器。
7.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述一或多個檢測器包括至少一個二極管陣列傳感器。
8.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述照明光束的照明光瞳平面分布是圓形的。
9.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述照明光束的照明光瞳平面分布是環形的。
10.根據權利要求1所述的疊加計量系統，其中所述檢測信號包含與來自所述多層結構的一級衍射與零級衍射之間的重疊相關聯的時變干擾信號。
11.根據權利要求1所述的疊加計量系統，所述照明子系統進一步包括經配置以產生外部光束作為所述照明光束的部分的光束分離器，其中所述檢測信號包含與來自所述多層結構的一級衍射與所述外部光束之間的重疊相關聯的時變干擾信號。
12.一種疊加計量系統，其包括：
13.根據權利要求12所...
【專利技術屬性】
技術研發人員：Y·盧巴舍夫斯基，I·戈多爾，D·內格里，E·哈賈，
申請(專利權)人：科磊股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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