【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體清洗，具體是涉及一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構。
技術介紹
1、半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。半導體生產包括清洗、氧化、化學氣相淀積、金屬化、光刻、刻蝕、摻雜等，半導體的清洗去除雜質，半導體清洗以及清洗后的甩干具有重要的意義。
2、中國專利cn201420190299.7公開了一種安裝于用于清洗半導體芯片的清洗機的卡扣，包括支撐板和夾緊裝置，支撐板上設置有盲孔和u型槽，盲孔內設置有磁鐵，夾緊裝置由旋轉板和固定桿組成，旋轉板通過轉軸旋轉安裝于u型槽的兩個側壁上，旋轉板與u型槽相對的側壁的頂端設置有的凹槽，固定桿穿過u型槽且設置在旋轉板上；支撐板上設置有兩個u型槽，兩個u型槽內均設置有夾緊裝置。本技術的有益效果是：承載能力大、夾緊待清洗芯片固定環牢固、使用方便、能有效避免在高速旋轉過程中芯片飛出，造成產品和人員的傷害。
3、但是在實際使用過程中，上述文件提供的卡扣裝置通過磁鐵的磁力來進行裝夾零件，磁力把把控非常嚴格，磁力過小不足以對抗告訴旋轉帶來的離心力會導致零件飛出，造成經濟損失甚至人員傷亡，磁力過大會導致拆裝需要克服磁力做工，導致裝夾效率低下。
技術實現思路
1、為解決上述技術問題，提供一種用于半導體清洗機的快
2、為達到以上目的，本專利技術采用的技術方案為：
3、一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，包括箱體，所述箱體的內部兩側均固定安裝有支撐板，兩側所述支撐板相互靠近的一側均通過伸縮機構與連接座固定連接，所述連接座的外側設置有夾持機構，所述箱體的內部頂端通過移動機構與框體和活動板連接，且所述框體的內部設置有噴頭機構，所述活動板的內部固定安裝有第一筒件，所述第一筒件的內部滑動連接有第二筒件，所述第二筒件的內部滑動連接有第三筒件，且所述第三筒件的內部滑動連接有第四筒件，所述第一筒件、第二筒件、第三筒件和第四筒件之間通過升降機構連接，所述第四筒件的底端固定安裝有清理板。
4、優選的，所述伸縮機構包括固定板，所述固定板固定安裝在支撐板的內側，所述固定板的周表面通過軸承轉動連接有端面齒輪，且所述固定板上固定連接有四組固定座，所述固定座的內部轉動連接有轉動桿，所述轉動桿的一端固定連接有與端面齒輪嚙合的傳動齒輪，且所述轉動桿的另一端固定連接有第一連接臂，所述第一連接臂遠離轉動桿的一端與第二連接臂轉動連接，所述第二連接臂遠離第一連接臂的一端轉動連接在連接座的外側。
5、優選的，所述支撐板的內側還固定連接有電機安裝板，所述電機安裝板上固定安裝有傳動電機，所述傳動電機的輸出端貫穿電機安裝板的側面，并與其中一個所述傳動齒輪的外側中部固定連接。
6、優選的，所述夾持機構包括第一固定塊、第一螺紋桿和活動板，所述連接座外側的上下對稱位置處均固定連接有兩組第一固定塊，且兩組所述第一固定塊的內部均與導向桿固定連接，所述導向桿的兩端均焊接有連接板，所述連接座的外側中部轉動連接有轉動板，所述導向桿外表面的兩端分別滑動連接有傳動板和活動板，所述轉動板的兩端均轉動連接有連桿，且兩組所述連桿遠離轉動板的一端分別轉動連接在傳動板和活動板的外側表面，且所述傳動板和活動板的外側均通過連接件與第一夾持板固定連接。
7、優選的，所述連接座的外側還固定連接有第二固定塊，所述第二固定塊和其中一個所述連接板之間轉動連接有第一螺紋桿，所述活動板螺紋連接于第一螺紋桿的表面，且其中一個所述連接板的外側中部固定安裝有步進電機，所述第一螺紋桿的一端固定連接在步進電機的輸出端。
8、優選的，兩個所述第一夾持板相互靠近的一側均固定安裝有兩組安裝座，兩組所述安裝座相互遠離的一側均固定安裝有電動推桿，且所述電動推桿的輸出端貫穿安裝座的外側，并與第二夾持板固定連接，兩組所述第二夾持板的內側固定連接有若干組橡膠軟盤。
9、優選的，所述升降機構包括伺服電機，所述伺服電機固定安裝在第一筒件的內壁，所述第一筒件的內壁還固定連接有橫板，所述第一螺紋桿的一端固定連接在第一伺服電機的輸出端，且所述第一螺紋桿另一端轉動連接于橫板的內部，所述升降件螺紋連接在第一螺紋桿的外表面上，所述第一筒件的內壁還固定連接有第一固定軸，所述第一固定軸的外表面轉動連接有第一轉動臂和第二轉動臂，且所述第四筒件的內壁固定連接有第二固定軸，所述第二固定軸的外表面轉動連接有第三轉動臂和第四轉動臂，所述伸縮件的一側兩端分別與第一轉動臂和第二轉動臂轉動連接，且所述伸縮件的另一側兩端分別與第三轉動臂和第四轉動臂轉動連接，所述升降件與伸縮件連接。
10、優選的，所述第二筒件、第三筒件上均開設有限位槽，所述伸縮件上設置有限位桿，且所述限位桿滑動連接于限位槽的內部。
11、優選的，所述包括第一步進電機和第二步進電機，所述第一步進電機和第二步進電機分別固定安裝在框體的右側和背部，所述第一步進電機的輸出端延伸至框體的內部，并與第一支撐架固定連接，所述第一支撐架的內部兩側均轉動連接有轉軸，兩組所述轉軸相互靠近的一端均與噴頭固定連接，所述噴頭的左側安裝有連接桿，所述連接桿轉動連接于第二支撐架的內部，且所述第二支撐架固定連接在第二步進電機的輸出端。
12、優選的，所述移動機構包括第二螺紋桿，所述第二螺紋桿設置有兩組并分別轉動連接在箱體的內部兩側，所述框體和活動板均螺紋連接在第二螺紋桿的外表面上，且所述第二螺紋桿的一端延伸至箱體的外部，并與第一錐齒輪固定連接，所述箱體的右側頂端固定安裝有雙軸電機，所述雙軸電機的兩輸出端均固定連接有與第一錐齒輪嚙合的第二錐齒輪。
13、與現有技術相比，本專利技術提供了一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，具備以下有益效果：
14、本專利技術通過伸縮機構和夾持機構的配合使用，可實現對不同大小的半導體板進行夾持固定，通過移動機構和噴頭機構進行噴灑清洗液，且噴灑角度可調，噴灑范圍更廣，對半導體板表面進行全面清洗，且清洗后的水掉落在箱體的內部底端，箱體的內部底端安裝有過濾板，對清洗后的水進行過濾，又通過箱體左側底端的水泵作用，可實現對水資源的循環利用；接著通過移動機構和升降機構的配合使用，實現了對清洗后的半導體板表面存留的水份擦去，方便快捷，滿足了工作人員的需求。
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1.一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于，包括箱體(1)，所述箱體(1)的內部兩側均固定安裝有支撐板(101)，兩側所述支撐板(101)相互靠近的一側均通過伸縮機構(2)與連接座(102)固定連接，所述連接座(102)的外側設置有夾持機構(3)，所述箱體(1)的內部頂端通過移動機構(6)與框體(104)和活動板(105)連接，且所述框體(104)的內部設置有噴頭機構(5)，所述活動板(105)的內部固定安裝有第一筒件(106)，所述第一筒件(106)的內部滑動連接有第二筒件(107)，所述第二筒件(107)的內部滑動連接有第三筒件(108)，且所述第三筒件(108)的內部滑動連接有第四筒件(109)，所述第一筒件(106)、第二筒件(107)、第三筒件(108)和第四筒件(109)之間通過升降機構(4)連接，所述第四筒件(109)的底端固定安裝有清理板(110)。
2.根據權利要求1所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述伸縮機構(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)固定安裝在支撐板(101)的內側，所述固定板(201)的周表面通
3.根據權利要求2所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述支撐板(101)的內側還固定連接有電機安裝板，所述電機安裝板上固定安裝有傳動電機(209)，所述傳動電機(209)的輸出端貫穿電機安裝板的側面，并與其中一個所述傳動齒輪(206)的外側中部固定連接。
4.根據權利要求2所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述夾持機構(3)包括第一固定塊(301)、第一螺紋桿(305)和活動板(306)，所述連接座(102)外側的上下對稱位置處均固定連接有兩組第一固定塊(301)，且兩組所述第一固定塊(301)的內部均與導向桿(302)固定連接，所述導向桿(302)的兩端均焊接有連接板(303)，所述連接座(102)的外側中部轉動連接有轉動板(310)，所述導向桿(302)外表面的兩端分別滑動連接有傳動板(308)和活動板(306)，所述轉動板(310)的兩端均轉動連接有連桿(311)，且兩組所述連桿(311)遠離轉動板(310)的一端分別轉動連接在傳動板(308)和活動板(306)的外側表面，且所述傳動板(308)和活動板(306)的外側均通過連接件與第一夾持板(309)固定連接。
5.根據權利要求4所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述連接座(102)的外側還固定連接有第二固定塊(304)，所述第二固定塊(304)和其中一個所述連接板(303)之間轉動連接有第一螺紋桿(305)，所述活動板(306)螺紋連接于第一螺紋桿(305)的表面，且其中一個所述連接板(303)的外側中部固定安裝有步進電機(307)，所述第一螺紋桿(305)的一端固定連接在步進電機(307)的輸出端。
6.根據權利要求4所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：兩個所述第一夾持板(309)相互靠近的一側均固定安裝有兩組安裝座(312)，兩組所述安裝座(312)相互遠離的一側均固定安裝有電動推桿(313)，且所述電動推桿(313)的輸出端貫穿安裝座(312)的外側，并與第二夾持板(314)固定連接，兩組所述第二夾持板(314)的內側固定連接有若干組橡膠軟盤(315)。
7.根據權利要求1所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述升降機構(4)包括伺服電機(401)，所述伺服電機(401)固定安裝在第一筒件(106)的內壁，所述第一筒件(106)的內壁還固定連接有橫板(403)，所述第一螺紋桿(402)的一端固定連接在第一伺服電機(401)的輸出端，且所述第一螺紋桿(402)另一端轉動連接于橫板(403)的內部，所述升降件(406)螺紋連接在第一螺紋桿(402)的外表面上，所述第一筒件(106)的內壁還固定連接有第一固定軸，所述第一固定軸的外表面轉動連接有第一轉動臂(404)和第二轉動臂(405)，且所述第四筒件(109)的內壁固定連接有第二固定軸，所述第二固定軸的外表面轉動連接有第...
【技術特征摘要】
1.一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于，包括箱體(1)，所述箱體(1)的內部兩側均固定安裝有支撐板(101)，兩側所述支撐板(101)相互靠近的一側均通過伸縮機構(2)與連接座(102)固定連接，所述連接座(102)的外側設置有夾持機構(3)，所述箱體(1)的內部頂端通過移動機構(6)與框體(104)和活動板(105)連接，且所述框體(104)的內部設置有噴頭機構(5)，所述活動板(105)的內部固定安裝有第一筒件(106)，所述第一筒件(106)的內部滑動連接有第二筒件(107)，所述第二筒件(107)的內部滑動連接有第三筒件(108)，且所述第三筒件(108)的內部滑動連接有第四筒件(109)，所述第一筒件(106)、第二筒件(107)、第三筒件(108)和第四筒件(109)之間通過升降機構(4)連接，所述第四筒件(109)的底端固定安裝有清理板(110)。
2.根據權利要求1所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述伸縮機構(2)包括固定板(201)，所述固定板(201)固定安裝在支撐板(101)的內側，所述固定板(201)的周表面通過軸承(202)轉動連接有端面齒輪(203)，且所述固定板(201)上固定連接有四組固定座(204)，所述固定座(204)的內部轉動連接有轉動桿(205)，所述轉動桿(205)的一端固定連接有與端面齒輪(203)嚙合的傳動齒輪(206)，且所述轉動桿(205)的另一端固定連接有第一連接臂(207)，所述第一連接臂(207)遠離轉動桿(205)的一端與第二連接臂(208)轉動連接，所述第二連接臂(208)遠離第一連接臂(207)的一端轉動連接在連接座(102)的外側。
3.根據權利要求2所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述支撐板(101)的內側還固定連接有電機安裝板，所述電機安裝板上固定安裝有傳動電機(209)，所述傳動電機(209)的輸出端貫穿電機安裝板的側面，并與其中一個所述傳動齒輪(206)的外側中部固定連接。
4.根據權利要求2所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述夾持機構(3)包括第一固定塊(301)、第一螺紋桿(305)和活動板(306)，所述連接座(102)外側的上下對稱位置處均固定連接有兩組第一固定塊(301)，且兩組所述第一固定塊(301)的內部均與導向桿(302)固定連接，所述導向桿(302)的兩端均焊接有連接板(303)，所述連接座(102)的外側中部轉動連接有轉動板(310)，所述導向桿(302)外表面的兩端分別滑動連接有傳動板(308)和活動板(306)，所述轉動板(310)的兩端均轉動連接有連桿(311)，且兩組所述連桿(311)遠離轉動板(310)的一端分別轉動連接在傳動板(308)和活動板(306)的外側表面，且所述傳動板(308)和活動板(306)的外側均通過連接件與第一夾持板(309)固定連接。
5.根據權利要求4所述的一種用于半導體清洗機的快速裝夾機構，其特征在于：所述連接座(102)的外側還固定連接有第二固定塊(304)，所述第二固定塊(304)和其中一個所述連接板(303)之間轉動連接有第一螺紋桿(305)，所述活動板(306)螺紋連接于第一螺紋桿(305)的表面，且其中一個所述連接板(303)的外側...
【專利技術屬性】
技術研發人員：壽浙瓊，陳浩，張峰，顧凱峰，吳城墾，張羽豐，柴曉程，馮磊，
申請(專利權)人：浙江晶睿電子科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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