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【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及芯片檢測,特別涉及一種芯片良率檢測方法及其系統、計算機設備、計算機可讀存儲介質。
技術介紹
1、芯片作為智能化設備的核心器件,其性能的好壞決定了智能化設備的工作性能。為了檢測芯片的性能,需要對芯片晶圓上的所有器件進行各種各樣測試,其中涉及到良率統計問題。由于晶圓上存在大量的器件,如果采用傳統方法進行人工檢測并統計良率,顯然工作量巨大,且統計結果的可靠性難以保證。目前,也有專門的檢測方法實現芯片良品率的自動檢測及統計,由于晶圓上器件進行測試時呈現的結果是波形圖,良率檢測前需要設定db值,為了保證設定的db值在波形圖上存在相應的頻率點,現有檢測方法設定的db值通常默認選取波形圖中最大db值或最小db值,但最大db值和最小db值會隨著器件生產工藝的波動而導致波動范圍較大,尤其是對于濾波器產品來說,最大值所對應的頻率往往波動較大,導致測試項目下的測試結果存在較大誤差,通用性較差,從而影響良率檢測及統計的可靠性。
技術實現思路
1、本專利技術要解決的技術問題是:克服現有技術中之不足,提供一種自動檢測及統計,通用性強,且良率檢測及統計的可靠性高的芯片良率檢測方法及其系統、計算機設備、計算機可讀存儲介質。
2、本專利技術解決其技術問題所采用的技術方案是:一種芯片良率檢測方法,步驟如下:
3、s1、識別晶圓上各器件的snp文件,將snp文件轉化為測試數據;
4、s2、自定義spec文件,spec文件的自定義內容包括db值、測試項、各測試項下的最大值
5、s3、讀取測試數據,根據spec文件定義的測試項相應計算各測試項下的測試值,并將測試值與對應測試項下的最大值和最小值比較,獲取各測試項的測試結果,根據各測試項的測試結果,來判定該器件是否合格;
6、s4、根據步驟s3中各器件的合格狀態來計算整片晶圓的良率,并輸出良率數據文件。
7、進一步地,所述db值的自定義規則如下:
8、獲取snp文件中的最大db值,設置預設db值,將最大db值和預設db值相加,得到自定義db值,若自定義db值在snp文件中存在對應的db值,則確定該db值所對應的頻率點;若自定義db值在snp文件中不存在對應的db值,則進行線性化處理。
9、進一步地,所述線性化處理的步驟如下:
10、以自定義db值為基點,在snp文件所轉化的測試數據中,依據測試項中定義的規則向低頻處/高頻處進行頻率點的搜尋,獲取到自定義db值的正負相鄰的兩個頻率點a和頻率點b,其中頻率點a的db值小于自定義db值,且頻率點b的db值大于自定義db值;以頻率點a和頻率點b為端點進行線性化,根據線性化函數計算出自定義db值所對應的頻率點。
11、進一步地,所述測試項包括最小插損、左肩頻率、右肩頻率、帶寬和中心頻率。
12、進一步地,所述步驟s3中測試項的測試值位于該測試項下最小值與最大值之間,則該測試項的測試結果為pass;否則,測試結果為fail。
13、進一步地,所述步驟s4中晶圓上器件的所有測試項的測試結果均為pass時,則該器件合格;否則,則該器件不合格。
14、一種芯片良率檢測系統,包括
15、數據轉換模塊,用于識別晶圓上各器件的snp文件,并將snp文件轉化為測試數據;
16、自定義模塊,用于定義spec文件中db值、測試項、各測試項下的最大值及最小值;
17、良率輸出模塊,用于根據spec文件定義的測試項相應計算各測試項下的測試值,并將測試值與對應測試項下的最大值和最小值比較,獲取各測試項的測試結果,根據各器件下所有測試項的測試結果判斷晶圓上各器件是否合格,再根據各器件的合格狀態來計算整片晶圓的良率,并輸出良率數據文件。
18、一種計算機設備,包括存儲器和處理器,所述存儲器內設置有計算機程序,所述處理器通過調用計算機程序執行上述芯片良率檢測方法。
19、一種計算機可讀存儲介質,其上存儲有計算機程序,所述計算機程序被處理器調用時執行上述芯片良率檢測方法。
20、本專利技術的有益效果是:
21、(1)本專利技術由spec文件自定義的測試項計算各測試項下的測試值,并將測試值與對應測試項下的最大值和最小值進行比較,獲取各測試項的測試結果,根據器件所有測試項的測試結果判斷該器件是否合格,最后根據各器件的合格狀態來計算整片晶圓的良率,并輸出良率數據文件,芯片良率的檢測及統計自動化,可靠性高。
22、(2)本專利技術中db值可以進行自定義,不再默認選取波形圖中最大db值或最小db值,具有可定制性,而且結合線性化的處理,保證自定義db值在波形圖上始終存在相應的頻率點,降低了波動幅度,減小了測試誤差,使計算結果更加精確,從而使良率結果更加準確。
23、(3)本專利技術中spec文件可以進行自定義,方便處理多種測試項,相同的snp文件可以進行多次模擬,得到不同spec文件下的良率數據,而且通過spec文件中不同字符的定義實現特定功能,比如不同的計算模式和不同db下的頻率值。
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1.一種芯片良率檢測方法,其特征在于,步驟如下:
2.根據權利要求1所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述dB值的自定義規則如下:
3.根據權利要求2所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述線性化處理的步驟如下:
4.根據權利要求1所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述測試項包括最小插損、左肩頻率、右肩頻率、帶寬和中心頻率。
5.根據權利要求1所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述步驟S3中測試項的測試值位于該測試項下最小值與最大值之間,則該測試項的測試結果為PASS;否則,測試結果為FAIL。
6.根據權利要求5所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述步驟S4中晶圓上器件的所有測試項的測試結果均為PASS時,則該器件合格;否則,則該器件不合格。
7.一種芯片良率檢測系統,其特征在于,包括
8.一種計算機設備,其特征在于,包括存儲器和處理器,所述存儲器內設置有計算機程序,所述處理器通過調用計算機程序執行權利要求1-6中任一所述芯片良率檢測方法。
9.一種計算機可讀存儲介質,其特征
...【技術特征摘要】
1.一種芯片良率檢測方法,其特征在于,步驟如下:
2.根據權利要求1所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述db值的自定義規則如下:
3.根據權利要求2所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述線性化處理的步驟如下:
4.根據權利要求1所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述測試項包括最小插損、左肩頻率、右肩頻率、帶寬和中心頻率。
5.根據權利要求1所述的芯片良率檢測方法,其特征在于,所述步驟s3中測試項的測試值位于該測試項下最小值與最大值之間,則該測試項的測試結果為pass;否則,測試結果為fa...
【專利技術屬性】
技術研發人員:孫亞軍,
申請(專利權)人:左藍微江蘇電子技術有限公司,
類型:發明
國別省市:
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