【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及真空計(jì)量，具體地，涉及一種電容薄膜真空規(guī)。
技術(shù)介紹
1、電容薄膜真空規(guī)作為一種真空氣壓測(cè)量設(shè)備，通常利用合金膜片作為電容的一個(gè)電極，與陶瓷上的金屬鍍層形成平面電容。當(dāng)合金膜片兩側(cè)壓力發(fā)生變化時(shí)，膜片與金屬鍍層之間的距離發(fā)生改變，從而改變電容值。通過(guò)對(duì)電容值的測(cè)量來(lái)實(shí)現(xiàn)被測(cè)空間內(nèi)壓力的測(cè)量。
2、然而，電容薄膜真空規(guī)的測(cè)量精度易受環(huán)境溫度影響。為減少環(huán)境溫度對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，部分電容薄膜真空規(guī)內(nèi)會(huì)設(shè)置有加熱器。但現(xiàn)有的加熱器對(duì)電容薄膜真空規(guī)的溫度補(bǔ)償效果較差，影響電容薄膜真空規(guī)的檢測(cè)精度。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了至少部分地解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，根據(jù)本專利技術(shù)的一個(gè)方面，提供一種電容薄膜真空規(guī)。該電容薄膜真空規(guī)包括主體和溫度調(diào)節(jié)組件，其中，溫度調(diào)節(jié)組件包括貼合設(shè)置在主體外側(cè)的柔性加熱件，柔性加熱件具有與主體貼合的柔性貼合層以及設(shè)置于柔性貼合層背離主體一側(cè)的加熱層，加熱層用于加熱主體至預(yù)定溫度。
2、本申請(qǐng)?zhí)峁┑碾娙荼∧ふ婵找?guī)，柔性貼合層的柔軟度更高，可以更好地適應(yīng)各種曲面結(jié)構(gòu)，使柔性加熱件整體更好地貼合在主體上。這樣，與主體的各處均有較好的接觸，加熱層的溫度可以更好的傳遞到主體，以使電容薄膜真空規(guī)處于更適宜的溫度下，保證測(cè)量的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。尤其是在電容薄膜真空規(guī)的體積日益減小的趨勢(shì)下，柔性加熱件可以較好的適用于體積更小的主體以及其曲面結(jié)構(gòu)上。并且，相對(duì)于金屬加熱件直接與主體接觸，柔性加熱層還能夠具有一定程度的保溫作用，使主體更好的穩(wěn)定在預(yù)定
3、示例性地，溫度調(diào)節(jié)組件還包括與加熱層電連接的控制件，控制件控制加熱層加熱主體至預(yù)定溫度后持續(xù)加熱以使主體保持在預(yù)定溫度。
4、示例性地，溫度調(diào)節(jié)組件還包括溫度傳感器，溫度傳感器用于檢測(cè)主體的工作溫度，控制件與溫度傳感器電連接并根據(jù)工作溫度控制加熱層的加熱溫度。
5、示例性地，溫度傳感器設(shè)置于主體背離柔性加熱件的一側(cè)。
6、示例性地，溫度傳感器包括熱電阻溫度傳感器。
7、示例性地，溫度調(diào)節(jié)組件還包括保險(xiǎn)件，保險(xiǎn)件用于檢測(cè)加熱層的加熱溫度并在加熱溫度高于預(yù)定閾值時(shí)斷開(kāi)以使加熱層斷電。
8、示例性地，保險(xiǎn)件設(shè)置于柔性加熱件背離主體的一側(cè)并與柔性加熱件彼此貼合。
9、示例性地，柔性加熱件還包括第一隔離層，第一隔離層設(shè)置于柔性貼合層與加熱層之間。
10、示例性地，柔性加熱件還包括第二隔離層，第二隔離層設(shè)置于加熱層背離主體的一側(cè)。
11、示例性地，加熱層包括鎳鉻合金電阻絲。
12、在
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
中引入了一系列簡(jiǎn)化形式的概念，這將在具體實(shí)施方式部分中進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。本
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
部分并不是限定要試圖限定出所要求保護(hù)的技術(shù)方案的關(guān)鍵特征和必要技術(shù)特征，更不是限定試圖確定所要求保護(hù)的技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
13、以下結(jié)合附圖，詳細(xì)說(shuō)明本專利技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)和特征。
本文檔來(lái)自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種電容薄膜真空規(guī)，包括主體(110)和溫度調(diào)節(jié)組件(120)，其中，所述溫度調(diào)節(jié)組件(120)包括貼合設(shè)置在所述主體(110)外側(cè)的柔性加熱件(1210)，所述柔性加熱件(1210)具有與所述主體(110)貼合的柔性貼合層(1211)以及設(shè)置于所述柔性貼合層(1211)背離所述主體(110)一側(cè)的加熱層(1212)，所述加熱層(1212)用于加熱所述主體(110)至預(yù)定溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)組件(120)還包括與所述加熱層(1212)電連接的控制件，所述控制件控制所述加熱層(1212)加熱所述主體(110)至所述預(yù)定溫度后持續(xù)加熱以使所述主體(110)保持在所述預(yù)定溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)組件(120)還包括溫度傳感器(1220)，所述溫度傳感器(1220)用于檢測(cè)所述主體(110)的工作溫度，所述控制件與所述溫度傳感器(1220)電連接并根據(jù)所述工作溫度控制所述加熱層(1212)的加熱溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述溫度傳感器(1220)包括熱電阻溫度傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)組件(120)還包括保險(xiǎn)件(1230)，所述保險(xiǎn)件(1230)用于檢測(cè)所述加熱層(1212)的加熱溫度并在所述加熱溫度高于預(yù)定閾值時(shí)斷開(kāi)以使所述加熱層(1212)斷電。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述保險(xiǎn)件(1230)設(shè)置于所述柔性加熱件(1210)背離所述主體(110)的一側(cè)并與所述柔性加熱件(1210)彼此貼合。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述柔性加熱件(1210)還包括第一隔離層，所述第一隔離層設(shè)置于所述柔性貼合層(1211)與所述加熱層(1212)之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述柔性加熱件(1210)還包括第二隔離層，所述第二隔離層設(shè)置于所述加熱層(1212)背離所述主體(110)的一側(cè)。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述加熱層(1212)包括鎳鉻合金電阻絲。
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種電容薄膜真空規(guī)，包括主體(110)和溫度調(diào)節(jié)組件(120)，其中，所述溫度調(diào)節(jié)組件(120)包括貼合設(shè)置在所述主體(110)外側(cè)的柔性加熱件(1210)，所述柔性加熱件(1210)具有與所述主體(110)貼合的柔性貼合層(1211)以及設(shè)置于所述柔性貼合層(1211)背離所述主體(110)一側(cè)的加熱層(1212)，所述加熱層(1212)用于加熱所述主體(110)至預(yù)定溫度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)組件(120)還包括與所述加熱層(1212)電連接的控制件，所述控制件控制所述加熱層(1212)加熱所述主體(110)至所述預(yù)定溫度后持續(xù)加熱以使所述主體(110)保持在所述預(yù)定溫度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述溫度調(diào)節(jié)組件(120)還包括溫度傳感器(1220)，所述溫度傳感器(1220)用于檢測(cè)所述主體(110)的工作溫度，所述控制件與所述溫度傳感器(1220)電連接并根據(jù)所述工作溫度控制所述加熱層(1212)的加熱溫度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的電容薄膜真空規(guī)，其特征在于，所述溫度傳感器(1220)設(shè)置于所述主體(110)背離所述...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：孫小孟，張心強(qiáng)，郜晨希，徐亞輝，蘇濤，張沙，林琳，鄭旭，閆明，劉瑞琪，李超波，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：中國(guó)科學(xué)院微電子研究所，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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