【技術實現步驟摘要】
本技術屬于晶圓輸送，具體涉及一種下料裝置。
技術介紹
1、在晶元清洗完畢后，晶圓清洗裝置的內部所安裝的機械臂將清洗完畢后的晶圓從清洗艙室中取出并將其放置在花籃里，等待花籃滿籃后進行下一步的工序，由于晶圓在清洗的過程中需要處于水平狀態，對花籃要求也處于水平狀態，在下料時，由于沒有下料裝置，花籃的開口始終朝向清洗裝置，作業人員不便于接觸到花籃的開口處，造成搬運不便的問題；同時工作人員直接對平放的花籃進行搬運會導致花籃內晶圓掉落的問題出現，損壞晶圓，造成損失；
2、因此，為了解決花籃在下料時由于處于水平狀態導致搬運不便的問題以及作業人員直接對平放的花籃進行搬運導致花籃內晶圓掉落的問題，亟需一種下料裝置。
技術實現思路
1、本技術的目的是提供一種下料裝置。
2、為了解決上述技術問題，本技術提供了一種下料裝置，包括：底架，所述底架的頂部轉動設置有托盤，所述托盤的上部設置有卡設組件，所述卡設組件適于卡設花籃；傾斜副，所述傾斜副包括驅動件和聯動組件；所述驅動件設置在所述底架內，所述聯動組件的一端與所述托盤的下部連接，所述聯動組件的另一端與所述驅動件的活動端連接；其中所述驅動件的活動端驅動聯動組件一端活動時，所述聯動組件的另一端驅動所述托盤在所述底架上傾斜。
3、進一步地，所述聯動組件包括一對第一連桿、一對第二連桿和一對滑動支撐座；所述第一連桿的一端與所述驅動件的活動端鉸接，所述第一連桿的另一端穿過所述底架的上部且伸出端與所述第二連桿的中部鉸接；所述滑動支撐座設
4、進一步地，所述第二連桿的一端設置有滾輪，所述滾輪滾動設置在所述滑動缺口內。
5、進一步地，所述托盤的下部設置有一對聯動塊；所述第二連桿的另一端設置有第一聯動柱，所述第一聯動柱轉動設置在所述第一聯動塊內。
6、進一步地，所述第二連桿的中部轉動設置有第二聯動柱，所述第一連桿的端部與所述第二聯動柱鉸接。
7、進一步地，所述驅動件為氣缸，所述活動端設置在所述氣缸的活塞桿的端部，所述活動端設置有第三聯動柱，所述第一連桿的另一端與所述第三聯動柱鉸接；其中所述氣缸的活塞桿收縮時，所述托盤由水平狀態向傾斜狀態轉動。
8、進一步地，所述底架包括底板和頂板，所述底板和所述頂板之間設置有若干支撐柱，所述氣缸設置在所述頂板的下部。
9、進一步地，所述頂板的上部設置有一對支撐塊，所述支撐塊的側壁設置有支撐孔；所述托盤的下部設置有一對鉸接塊，所述鉸接塊的內側設置有鉸接柱，其中所述鉸接柱轉動設置在所述支撐孔內。
10、進一步地，所述頂板的上部設置有至少兩個緩沖器，其中當所述托盤處于水平狀態時，所述緩沖器的活動端適于抵持所述托盤的下部。
11、進一步地，所述卡設組件包括一對抵持塊和一對限位塊，所述抵持塊鏡像設置在所述托盤的上部，所述花籃的上部適于被所述抵持塊抵持；所述限位塊鏡像設置在所述托盤的上部，所述限位塊相向設置有限位缺口，所述花籃的下部適于被所述限位缺口卡設。
12、本技術的有益效果：
13、通過設置傾斜副，當晶圓清洗完后，驅動件通過驅動聯動組件運動從而帶動托盤在所述底架上轉動傾斜一定的角度，使花籃處于傾斜狀態，便于工作人員進行花籃的搬運工作，加快了工作效率；同時，有效避免作業人員直接對平放的花籃進行搬運導致花籃內晶圓掉落的問題出現，損壞晶圓，避免了損失。
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1.一種下料裝置，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的下料裝置，其特征在于，
3.如權利要求2所述的下料裝置，其特征在于，
4.如權利要求3所述的下料裝置，其特征在于，
5.如權利要求4所述的下料裝置，其特征在于，
6.如權利要求5所述的下料裝置，其特征在于，
7.如權利要求6所述的下料裝置，其特征在于，
8.如權利要求7所述的下料裝置，其特征在于，
9.如權利要求8所述的下料裝置，其特征在于，
10.如權利要求1所述的下料裝置，其特征在于，
【技術特征摘要】
1.一種下料裝置，其特征在于，包括：
2.如權利要求1所述的下料裝置，其特征在于，
3.如權利要求2所述的下料裝置，其特征在于，
4.如權利要求3所述的下料裝置，其特征在于，
5.如權利要求4所述的下料裝置，其特征在于，
【專利技術屬性】
技術研發人員：左國軍，蔡嘉雄，孫偉，
申請(專利權)人：創微微電子常州有限公司，
類型：新型
國別省市：
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