【技術實現步驟摘要】
本技術涉及直拉法生產單晶硅,尤其是涉及一種測量籽晶直徑和熔接位置的結構。
技術介紹
1、目前行業內采用直拉法生產單晶硅的制造過程中,籽晶熔接基本采用人工操作的方式,也有廠家基于熔體硅液的導電性在籽晶接觸硅液后通過檢測提拉頭與下軸的電壓變化來判定是否熔接合適,但是由于電壓數字變化較小且容易受干擾信號的影響,使得電壓變化的判定誤差較大,容易造成熔接失敗的問題。
技術實現思路
1、針對上述情況,本技術提供一種測量籽晶直徑和熔接位置的結構,旨在解決目前基于熔體硅液的導電性在籽晶接觸硅液后通過檢測提拉頭與下軸的電壓變化來判定是否熔接合適,但是由于電壓數字變化較小且容易受干擾信號的影響,使得電壓變化的判定誤差較大,容易造成熔接失敗的技術問題。
2、為實現上述目的,本技術提供如下技術方案:
3、本技術提供一種測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其主要可以包括:
4、單晶爐體,具有用于盛放硅液的坩堝;
5、夾持件,用于夾持籽晶;
6、提拉頭,與夾持件連接;提拉頭傳動連接有伺服電機,伺服電機用于升降籽晶;
7、ccd攝相機,用于測量籽晶的直徑;
8、單晶爐控制系統;
9、其中:伺服電機能夠記錄籽晶位置,并將該籽晶位置記錄于單晶爐控制系統;單晶爐控制系統的輸入端與ccd攝相機的輸出端連接、輸出端與伺服電機的控制端連接;
10、夾持件包括:
11、夾頭本體,下端沿其軸向開設有與籽晶匹配的連接
12、限位板,與夾頭本體橫向插接;籽晶上設有與限位板匹配的插孔;
13、限位機構,用于限制限位板橫向移動。
14、在本技術的一些實施例中,ccd攝相機位于單晶爐體外。
15、在本技術的一些實施例中,ccd攝相機水平設置。
16、在本技術的一些實施例中,提拉頭通過提拉線與伺服電機傳動連接。
17、在本技術的一些實施例中,夾頭本體的材質包括石墨。
18、在本技術的一些實施例中,限位板的一端露出夾頭本體并開設有通孔;限位機構包括:
19、固定塊,固定在夾頭本體的外壁上;
20、限位桿,與固定塊縱向插接;限位桿的下端能夠與通孔相插接,限位桿的頂部具有凸塊。
21、在本技術的一些實施例中,限位板朝向插孔的一端具有楔形部,插孔的一側內壁傾斜設置并能夠與楔形部的傾斜面相接觸。
22、在本技術的一些實施例中,還包括活動設置的墊塊,墊塊用于墊高凸塊。
23、在本技術的一些實施例中,凸塊的下部側壁向內收縮。
24、在本技術的一些實施例中,墊塊呈半環形。
25、本技術實施例至少具有如下優點或有益效果:
26、一、本技術實施例一方面通過單晶爐控制系統和提拉頭上的伺服電機記錄新籽晶(即未使用過的籽晶)的位置,另一方面利用ccd測徑技術測量新籽晶的直徑大小,從而通過檢測籽晶熔接位置及直徑這兩種方式的結合來確保籽晶熔接成功。
27、二、通過夾持件的設置,方便籽晶的拆裝。
28、本技術的其他特征和優點將在隨后的說明書中闡述,并且,部分地從說明書中變得明顯,或者通過實施本技術而了解。
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1.一種測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述CCD攝相機位于所述單晶爐體外。
3.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述CCD攝相機水平設置。
4.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述提拉頭通過提拉線與所述伺服電機傳動連接。
5.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述夾頭本體的材質包括石墨。
6.根據權利要求1~5任一項所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述限位板的一端露出所述夾頭本體并開設有通孔;所述限位機構包括:
7.根據權利要求6所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述限位板朝向所述插孔的一端具有楔形部,所述插孔的一側內壁傾斜設置并能夠與所述楔形部的傾斜面相接觸。
8.根據權利要求6所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,還包括活動設置的墊塊,所述墊塊用于墊高所述凸塊。
9.根據
10.根據權利要求8所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述墊塊呈半環形。
...【技術特征摘要】
1.一種測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,包括:
2.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述ccd攝相機位于所述單晶爐體外。
3.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述ccd攝相機水平設置。
4.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述提拉頭通過提拉線與所述伺服電機傳動連接。
5.根據權利要求1所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其特征在于,所述夾頭本體的材質包括石墨。
6.根據權利要求1~5任一項所述的測量籽晶直徑和熔接位置的結構,其...
【專利技術屬性】
技術研發人員:羅才軍,劉要普,李國華,袁夢,
申請(專利權)人:四川永祥光伏科技有限公司,
類型:新型
國別省市:
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