一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器制造技術(shù)

本申請(qǐng)為一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，屬于濕度傳感器領(lǐng)域，它包括絕緣基底，絕緣基底上表面水平設(shè)有多個(gè)條形槽，多個(gè)條形槽平行間隔設(shè)置，各條形槽為長(zhǎng)條形且兩端延伸至絕緣基底的邊緣，條形槽內(nèi)附著有第一濕敏薄膜，絕緣基底上方設(shè)有叉指電極，叉指電極的上方附著有第二濕敏薄膜，通過(guò)在基底上設(shè)置條形槽，并在基底及叉指電極上附著濕敏薄膜，條形槽能夠增加氧化石墨烯濕敏薄膜的面積，其上的含氧官能團(tuán)很容易吸附水分子，為水分子提供大量的吸附位點(diǎn)，因此提高濕度敏感性，提高濕度傳感器的靈敏度和精度，且加快響應(yīng)速度。

【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】

本技術(shù)涉及濕度傳感器領(lǐng)域，尤其涉及一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器。

技術(shù)介紹

1、可穿戴濕度傳感器在便攜式醫(yī)療設(shè)備和健康監(jiān)測(cè)領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用前景，由于呼吸頻率幾乎是與心率相關(guān)的，呼出氣體可以反應(yīng)人體的新陳代謝和健康狀況，這種無(wú)創(chuàng)方法可以監(jiān)測(cè)隱藏癥狀和診斷疾病。目前用于可穿戴的濕度傳感器一般是電學(xué)式濕度傳感器，其基于濕敏材料在不同環(huán)境濕度下與水汽發(fā)生反應(yīng)進(jìn)而導(dǎo)致傳感器的電導(dǎo)率或電容等電學(xué)參數(shù)變化，從電參數(shù)的變化識(shí)別濕度的大小，但此濕度傳感器測(cè)試精度差，濕度滯遲大，且濕度測(cè)量范圍小，濕度敏感在檢測(cè)健康狀況和新陳代謝狀況時(shí)，快速、靈敏的反饋濕度對(duì)于檢測(cè)結(jié)構(gòu)起著非常重要的作用，因此亟需一種快速相應(yīng)、高靈敏度的濕度傳感器。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、現(xiàn)有的可穿戴的濕度傳感器不僅測(cè)試精度差、靈敏度低，濕度遲滯大，而且響應(yīng)速度慢，本申請(qǐng)至少一個(gè)方面或一個(gè)目的能夠解決上述問(wèn)題，具體設(shè)計(jì)了一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其具體采用的技術(shù)方案為：

2、一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，包括絕緣基底，絕緣基底上表面水平設(shè)有多個(gè)條形槽，多個(gè)條形槽平行間隔設(shè)置，各條形槽為長(zhǎng)條形且兩端延伸至絕緣基底的邊緣，條形槽內(nèi)附著有第一濕敏薄膜，絕緣基底上方設(shè)有叉指電極，叉指電極的上方附著有第二濕敏薄膜。

3、優(yōu)選的，濕敏薄膜為氧化石墨烯薄膜。

4、優(yōu)選的，叉指電極為反蛋白石結(jié)構(gòu)石墨烯叉指電極。

5、優(yōu)選的，叉指電極包括基體，基體上通過(guò)導(dǎo)電銀漿固定設(shè)有兩個(gè)銅線引腳。

6、優(yōu)選的，基體采用陶瓷基材。

7、優(yōu)選的，絕緣基底為石英或陶瓷基底。

8、上述石墨烯濕度傳感器具有超薄結(jié)構(gòu)，尺寸微小，適用于便攜式電子器件，另外，3d石墨烯骨架結(jié)構(gòu)電極具有有序排列的孔洞，作為骨架結(jié)構(gòu)可以精準(zhǔn)調(diào)控，在基底上設(shè)置條形槽，并在基底及叉指電極上附著濕敏薄膜，條形槽能夠增加氧化石墨烯濕敏薄膜的面積，其上的含氧官能團(tuán)很容易吸附水分子，為水分子提供大量的吸附位點(diǎn)，因此提高濕度敏感性，提高濕度傳感器的靈敏度和精度，且加快響應(yīng)速度。

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【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】

1.一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，包括絕緣基底，所述絕緣基底上表面水平設(shè)有多個(gè)條形槽，多個(gè)所述條形槽平行間隔設(shè)置，各所述條形槽為長(zhǎng)條形且兩端延伸至所述絕緣基底的邊緣，所述條形槽內(nèi)附著有第一濕敏薄膜，所述絕緣基底上方設(shè)有叉指電極，所述叉指電極的上方附著有第二濕敏薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，所述第一濕敏薄膜和所述第二濕敏薄膜為氧化石墨烯薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，所述叉指電極為反蛋白石結(jié)構(gòu)石墨烯叉指電極。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，所述叉指電極包括基體，所述基體上通過(guò)導(dǎo)電銀漿固定設(shè)有兩個(gè)銅線引腳。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，所述基體采用陶瓷基材。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，所述絕緣基底為石英或陶瓷基底。

【技術(shù)特征摘要】

1.一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，包括絕緣基底，所述絕緣基底上表面水平設(shè)有多個(gè)條形槽，多個(gè)所述條形槽平行間隔設(shè)置，各所述條形槽為長(zhǎng)條形且兩端延伸至所述絕緣基底的邊緣，所述條形槽內(nèi)附著有第一濕敏薄膜，所述絕緣基底上方設(shè)有叉指電極，所述叉指電極的上方附著有第二濕敏薄膜。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于反蛋白石結(jié)構(gòu)的高靈敏度濕度傳感器，其特征在于，所述第一濕敏薄膜和所述第二濕敏薄膜為氧化石墨烯薄膜。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種基于反...

【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：朱聰聰，劉桐，郝恩強(qiáng)，曹羽希，王旭杰，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：太原科技大學(xué)，
類(lèi)型：新型
國(guó)別省市：