【技術實現步驟摘要】
本公開涉及微流控，尤其涉及一種微流控裝置。
技術介紹
1、微流控(micro-fluidic)技術是一種以在微米或更小尺度空間對流體進行操控為主要特征的技術。該技術已經與化學、生物學、工程學和物理學等諸學科形成交叉，展示出了廣泛的應用前景。液滴微流控技術，因其具有流體操作簡便、高單分散性、小型化、低成本、高靈敏度、高通量等優點，目前已受到廣泛的關注。微流控技術主要是利用介電潤濕的原理，通過調整微流控芯片的上基板與下基板之間的電場，改變液滴表面與固體之間的表面張力，從而改變兩者之間的接觸角，從而實現液滴的操作與控制。
2、現有技術中，微流控裝置存在高通量與高精度注樣的需求難以同時滿足的問題。
技術實現思路
1、為了解決上述技術問題或者至少部分地解決上述技術問題，本公開提供了一種微流控裝置，可兼容實現高通量與高精度注樣的需求。
2、本公開提供了一種微流控裝置，包括：層疊設置的第一基板、第二基板和第三基板，第二基板位于第一基板和第三基板之間；沿垂直于第一基板所在平面的方向，第一基板和第二基板之間包括第一間隔，第二基板與第三基板之間包括第二間隔；第二基板包括至少一個第一通孔，沿垂直于第二基板所在平面的方向，第一通孔貫穿第二基板；第一間隔與第二間隔通過第一通孔連通。
3、本公開提供的技術方案與現有技術相比具有如下優點：
4、本公開提供的微流控裝置包括層疊設置的第一基板、第二基板和第三基板。其中，沿垂直于第一基板所在平面的方向，第一基板和第二基板
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1.一種微流控裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的微流控裝置，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的微流控裝置，其特征在于，
5.根據權利要求4所述的微流控裝置，其特征在于，
6.根據權利要求4所述的微流控裝置，其特征在于，
7.根據權利要求3所述的微流控裝置，其特征在于，
8.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
9.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
10.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
11.根據權利要求10所述的微流控裝置，其特征在于，
12.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
13.根據權利要求1所述的微流控裝置，其特征在于，
14.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
15.根據權利要求14所述的微流控裝置，其特征在于，
16.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
...【技術特征摘要】
1.一種微流控裝置，其特征在于，包括：
2.根據權利要求1所述的微流控裝置，其特征在于，
3.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
4.根據權利要求3所述的微流控裝置，其特征在于，
5.根據權利要求4所述的微流控裝置，其特征在于，
6.根據權利要求4所述的微流控裝置，其特征在于，
7.根據權利要求3所述的微流控裝置，其特征在于，
8.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
9.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
10.根據權利要求2所述的微流控裝置，其特征在于，
11.根據...
【專利技術屬性】
技術研發人員：章凱迪，林柏全，張東莉，朱清三，潘俊濤，
申請(專利權)人：上海天馬微電子有限公司，
類型：發明
國別省市：
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