【技術實現步驟摘要】
本申請涉及納米壓印，尤其涉及一種納米壓印裝置及納米壓印方法。
技術介紹
1、納米壓印技術是制作增強現實衍射光波導中表面浮雕結構的主流技術之一。它通過壓印轉移的方式把母版上的表面浮雕結構大批量、低成本的復制到玻璃晶圓上，從而制造出衍射光波導。但是現有的納米壓印過程中程涉及施加壓力和滾動施壓，在這過程中柔性軟膜的張力會影響柔性軟膜的形變，從而影響翻印出的微結構的效果，因此柔性軟膜的張力控制非常重要，但由于柔性軟膜的張力不便于控制，往往導致壓印的效果不盡如人意。
技術實現思路
1、本申請實施例提供了一種納米壓印裝置及納米壓印方法，能夠通過控制壓印過程中柔性軟膜不受張力影響發生形變，提升納米壓印的結構轉印效果。
2、一種納米壓印裝置，用于柔性軟膜的微結構轉印，所述納米壓印裝置包括；
3、軟膜固定組件、軟膜張力調節組件、壓印輥以及壓印平臺；其中，所述柔性軟膜具有第一端和第二端，所述第一端與所述軟膜固定組件連接，所述第二端與所述軟膜張力調節組件連接，所述軟膜張力調節組件的高度可調，以使所述柔性軟膜的張力隨著所述軟膜張力調節組件的移動發生變化；所述柔性軟膜位于所述壓印輥和所述壓印平臺之間，且所述壓印輥能夠在所述柔性軟膜的延伸方向上來回移動；在壓印前，所述軟膜張力調節組件位于第一高度，以使所述柔性軟膜的張力滿足所述柔性軟膜拉緊；在壓印過程中，所述軟膜張力調節組件位于第二高度，以使所述柔性軟膜的張力保持為零。
4、可實施地，所述納米壓印裝置還包括導向輪，所述柔性軟
5、可實施地，所述軟膜固定組件的滾動輪以及所述軟膜張力調節組件的滾動輪，用于滾動選取所述柔性軟膜，并在選取完成后，將所述柔性軟膜的第一端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上，所述柔性軟膜的第二端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上。
6、可實施地，所述軟膜張力調節組件上設置有傳感器與驅動件，所述傳感器用于檢測所述柔性軟膜的對齊狀態，所述驅動件用于在所述柔性軟膜的對齊狀態不滿足對齊條件時，帶動所述軟膜張力調節組件移動以調節所述柔性軟膜的對齊狀態。
7、可實施地，所述納米壓印裝置還包括第一輔助輪和第二輔助輪，所述第一輔助輪用于輔助所述柔性軟膜的釋放，第二輔助輪用于輔助所述柔性軟膜的回收。
8、一種納米壓印方法，采用上述所述的納米壓印裝置，所述納米壓印方法包括：
9、在晶圓具有微結構的一面形成壓印膠層后置于所述壓印平臺上；
10、將所述軟膜張力調節組件調節至第一高度，以使所述柔性軟膜的張力滿足所述柔性軟膜拉緊；
11、將所述軟膜張力調節組件調節至第二高度，并控制所述壓印輥對所述柔性軟膜施加壓力，使所述柔性軟膜上的壓印膠層和所述壓印平臺上晶圓的微結構接觸；并繼續控制所述壓印輥沿遠離所述軟膜固定組件的方向滾動對所述柔性軟膜施壓，以使所述晶圓上的微結構轉印至所述壓印膠層上并轉移至所述柔性軟膜上；其中，在壓印過程中，所述柔性軟膜的張力保持為零。
12、可實施地，所述納米壓印方法還包括：
13、控制所述軟膜固定組件的滾動輪以及所述軟膜張力調節組件的滾動輪滾動，以選取所述柔性軟膜，并在選取完成后，將所述柔性軟膜的第一端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上，所述柔性軟膜的第二端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上。
14、可實施地，所述納米壓印方法還包括：
15、在所述柔性軟膜朝向所述壓印平臺的一面涂覆增粘材料；
16、去除所述柔性軟膜后，具有微結構的所述壓印膠層留在所述柔性軟膜上。
17、一種納米壓印方法，采用上述所述的納米壓印裝置，所述納米壓印方法包括：
18、在晶圓上形成壓印膠層后置于所述壓印平臺上；
19、將所述軟膜張力調節組件調節至第一高度，以使所述柔性軟膜的張力滿足所述柔性軟膜拉緊；
20、將所述軟膜張力調節組件調節至第二高度，并控制所述壓印輥對所述柔性軟膜施加壓力，使所述柔性軟膜和所述晶圓上的壓印膠接觸；并繼續控制所述壓印輥沿遠離所述軟膜固定組件的方向滾動對所述柔性軟膜施壓，使得所述柔性軟膜上的微結構轉印至所述壓印膠上；
21、其中，在壓印過程中，所述柔性軟膜的張力保持為零。
22、可實施地，所述納米壓印方法還包括：在壓印前，通過所述傳感器檢測所述柔性軟膜的對齊狀態，在所述柔性軟膜的對齊狀態不滿足對齊條件，通過所述驅動件帶動所述軟膜張力調節組件移動以調節所述柔性軟膜的對齊狀態。
23、本申請提供了一種納米壓印裝置及納米壓印方法，該納米壓印裝置包括軟膜固定組件、軟膜張力調節組件、壓印輥以及壓印平臺，其中，柔性軟膜的一端與軟膜固定組件連接，另一端與軟膜張力調節組件連接，且軟膜張力調節組件的高度可調，這樣便可通過軟膜張力調節組件的高度調節，使得在壓印前柔性軟膜處于拉緊狀態，便于柔性軟膜的傳動與形態保持，而在壓印過程中則保持柔性軟膜的張力為零，避免壓印過程中柔性軟膜受張力影響而發生形變，能夠提升納米壓印的結構轉印效果，使得微結構的翻印更加準確，一致性更好。
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1.一種納米壓印裝置，其特征在于，用于柔性軟膜的微結構轉印，所述納米壓印裝置包括；
2.根據權利要求1所述的納米壓印裝置，其特征在于，所述納米壓印裝置還包括導向輪，所述柔性軟膜自所述導向輪后依次繞過所述軟膜固定組件的滾動輪的上方和所述壓印輥的下方后與所述軟膜張力調節組件的滾動輪連接，并在所述軟膜固定組件的滾動輪的上方處與所述柔性軟膜的保護膜分離。
3.根據權利要求2所述的納米壓印裝置，其特征在于，所述軟膜固定組件的滾動輪以及所述軟膜張力調節組件的滾動輪，用于滾動選取所述柔性軟膜，并在選取完成后，將所述柔性軟膜的第一端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上，所述柔性軟膜的第二端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上。
4.根據權利要求3所述的納米壓印裝置，其特征在于，所述軟膜張力調節組件上設置有傳感器與驅動件，所述傳感器用于檢測所述柔性軟膜的對齊狀態，所述驅動件用于在所述柔性軟膜的對齊狀態不滿足對齊條件時，帶動所述軟膜張力調節組件移動以調節所述柔性軟膜的對齊狀態。
5.根據權利要求2所述的納米壓印裝置，其特征在于，所述納米壓印裝置還包括第一輔助輪
6.一種納米壓印方法，其特征在于，采用權利要求1-5中任一項所述的納米壓印裝置，所述納米壓印方法包括：
7.根據權利要求6所述的納米壓印方法，其特征在于，所述納米壓印方法還包括：
8.根據權利要求7所述的納米壓印方法，其特征在于，所述納米壓印方法還包括：
9.一種納米壓印方法，其特征在于，采用權利要求1-5中任一項所述的納米壓印裝置，所述納米壓印方法包括：
10.根據權利要求9所述納米壓印方法，其特征在于，所述納米壓印方法還包括：在壓印前，通過所述傳感器檢測所述柔性軟膜的對齊狀態，在所述柔性軟膜的對齊狀態不滿足對齊條件，通過所述驅動件帶動所述軟膜張力調節組件移動以調節所述柔性軟膜的對齊狀態。
...【技術特征摘要】
1.一種納米壓印裝置，其特征在于，用于柔性軟膜的微結構轉印，所述納米壓印裝置包括；
2.根據權利要求1所述的納米壓印裝置，其特征在于，所述納米壓印裝置還包括導向輪，所述柔性軟膜自所述導向輪后依次繞過所述軟膜固定組件的滾動輪的上方和所述壓印輥的下方后與所述軟膜張力調節組件的滾動輪連接，并在所述軟膜固定組件的滾動輪的上方處與所述柔性軟膜的保護膜分離。
3.根據權利要求2所述的納米壓印裝置，其特征在于，所述軟膜固定組件的滾動輪以及所述軟膜張力調節組件的滾動輪，用于滾動選取所述柔性軟膜，并在選取完成后，將所述柔性軟膜的第一端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上，所述柔性軟膜的第二端固定在所述軟膜固定組件的滾動輪上。
4.根據權利要求3所述的納米壓印裝置，其特征在于，所述軟膜張力調節組件上設置有傳感器與驅動件，所述傳感器用于檢測所述柔性軟膜的對齊狀態，所述驅動件用于在所述柔性軟膜的對齊狀態不滿足對齊條件時，帶動所述軟膜張力調節組件移動以調節...
【專利技術屬性】
技術研發人員：張秋閣，繆濤，張書薦，
申請(專利權)人：上海鯤游科技有限公司，
類型：發明
國別省市：
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