【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本專利技術(shù)涉及半導(dǎo)體產(chǎn)品制作，尤其涉及一種磨輪修整裝置和磨輪修整方法。
技術(shù)介紹
1、硅片雙面立式研磨機(jī)更換新磨輪初期，連續(xù)加工生產(chǎn)的硅片表面磨輪印記較重，硅片損傷層厚度超過7μm，容易在硅片表面造成劃傷且硅片翹曲度波動(dòng)大，不能很好的滿足后段工序的要求。
2、雙面立式研磨機(jī)加工硅片時(shí)，硅片豎立在研磨室中，設(shè)備左右主軸連接的磨輪豎立在硅片兩側(cè)，左右磨輪旋轉(zhuǎn)的同時(shí)會(huì)向靠近硅片的方向進(jìn)給，從而將旋轉(zhuǎn)的硅片磨削減薄至規(guī)定的厚度。雙面立式研磨機(jī)用磨輪一般由磨輪牙齒和圓盤形的金屬載體兩大部分構(gòu)成，磨輪牙齒粘附在圓盤一圈，新磨輪牙齒表面有釉層存在，新磨輪牙齒表面還可能有毛刺存在。
3、硅片雙面立式研磨機(jī)的加工原理及新磨輪牙齒特點(diǎn)造成了雙面立式研磨機(jī)在新磨輪使用初期容易造成硅片表面不良，硅片翹曲度波動(dòng)大的問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決上述技術(shù)問題，本專利技術(shù)提供一種磨輪修整裝置和磨輪修整方法，解決研磨輪的牙齒導(dǎo)致研磨硅片不良的問題。
2、為了達(dá)到上述目的，本專利技術(shù)實(shí)施例采用的技術(shù)方案是：一種磨輪修整裝置，用于對(duì)雙面研磨設(shè)備中的兩個(gè)研磨輪的牙齒進(jìn)行修整，包括：
3、第一修整輪和第二修整輪，用于分別對(duì)兩個(gè)研磨輪的牙齒進(jìn)行修整；
4、移動(dòng)結(jié)構(gòu)，用于控制所述第一修整輪或所述第二修整輪移動(dòng)；
5、修整結(jié)構(gòu)，用于向所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)發(fā)送指令，以控制所述第一修整輪或所述第二修整輪對(duì)對(duì)應(yīng)的研磨輪的牙齒進(jìn)行修整。
6、可選的，所述第
7、可選的，所述第一修整輪的中心和所述第二修整輪的中心均設(shè)置第一通孔，所述第一分隔件中心設(shè)置第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔相配合以供固定螺絲穿過。
8、可選的，所述第一修整輪遠(yuǎn)離所述第二修整輪的一側(cè)設(shè)置第二分隔件，所述第二分隔件的中心設(shè)置第三通孔，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔相配合以供固定螺絲穿過。
9、可選的，所述第一分隔件和所述第二分隔件的結(jié)構(gòu)相同，所述第一分隔件包括疊置的第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)，所述第二凸臺(tái)的截面積小于所述第二凸臺(tái)的截面積，且所述第一分隔件的所述第二凸臺(tái)能夠插設(shè)于所述第二修整輪的所述第一通孔內(nèi)，所述第二分隔件的所述第二凸臺(tái)能夠插設(shè)于所述第一修整輪的所述第一通孔內(nèi)。
10、可選的，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述第二修整輪遠(yuǎn)離所述第一修整輪的一側(cè)，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括殼體，和設(shè)置于所述殼體內(nèi)的驅(qū)動(dòng)部和傳動(dòng)部，所述傳動(dòng)部與所述修整輪傳動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述修整輪進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
11、可選的，所述傳動(dòng)部包括傳動(dòng)齒輪，所述固定螺絲復(fù)用為與所述傳動(dòng)齒輪傳動(dòng)連接的傳動(dòng)軸。
12、可選的，所述殼體和所述第二修整輪之間設(shè)置第三分隔件。
13、可選的，在所述修整輪的軸向方向上，所述第一修整輪的厚度大于第一尺寸且小于第二尺寸，所述第一尺寸為所述牙齒的寬度，所述第二尺寸為所述牙齒的寬度和相鄰所述牙齒之間的間隙值的兩倍的和。
14、可選的，所述第一修整輪和所述第二修整輪的材質(zhì)均為陶瓷。
15、本專利技術(shù)實(shí)施例還提供一種磨輪修整方法，采用上述的磨輪修整裝置進(jìn)行修整，
16、所述第一修整輪和所述第二修整輪疊置設(shè)置為一整體結(jié)構(gòu)；
17、所述磨輪修整方法包括：
18、所述第一修整輪和所述第二修整輪疊置設(shè)置為一整體結(jié)構(gòu)；
19、所述磨輪修整方法包括：
20、使得所述第一修整輪與所述第一研磨輪的待研磨的牙齒相接觸；
21、對(duì)研磨輪的牙齒進(jìn)行修整；
22、使得所述第一修整輪返回初始位置；
23、使得所述第二修整輪與對(duì)應(yīng)的研磨輪的待研磨的牙齒相接觸；
24、對(duì)研磨輪的牙齒進(jìn)行修整。
25、本專利技術(shù)的有益效果是：本專利技術(shù)的磨輪修整裝置，對(duì)雙面研磨設(shè)備中的研磨輪的牙齒進(jìn)行修整，避免由研磨輪的牙齒對(duì)硅片造成的損傷，提高產(chǎn)品良率。
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1.一種磨輪修整裝置，用于對(duì)雙面研磨設(shè)備中的兩個(gè)研磨輪的牙齒進(jìn)行修整，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一修整輪和所述第二修整輪疊置為一整體結(jié)構(gòu)，且所述第一修整輪和所述第二修整輪之間設(shè)置第一分隔件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一修整輪的中心和所述第二修整輪的中心均設(shè)置第一通孔，所述第一分隔件中心設(shè)置第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔相配合以供固定螺絲穿過。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一修整輪遠(yuǎn)離所述第二修整輪的一側(cè)設(shè)置第二分隔件，所述第二分隔件的中心設(shè)置第三通孔，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔相配合以供固定螺絲穿過。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一分隔件和所述第二分隔件的結(jié)構(gòu)相同，所述第一分隔件包括疊置的第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)，所述第二凸臺(tái)的截面積小于所述第二凸臺(tái)的截面積，且所述第一分隔件的所述第二凸臺(tái)能夠插設(shè)于所述第二修整輪的所述第一通孔內(nèi)，所述第二分隔件的所述第二凸臺(tái)能夠插設(shè)于所述第一修整輪的
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括設(shè)置于所述第二修整輪遠(yuǎn)離所述第一修整輪的一側(cè)，所述移動(dòng)結(jié)構(gòu)包括殼體，和設(shè)置于所述殼體內(nèi)的驅(qū)動(dòng)部和傳動(dòng)部，所述傳動(dòng)部與所述修整輪傳動(dòng)連接，以帶動(dòng)所述修整輪進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述傳動(dòng)部包括傳動(dòng)齒輪，所述固定螺絲復(fù)用為與所述傳動(dòng)齒輪傳動(dòng)連接的傳動(dòng)軸。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述殼體和所述第二修整輪之間設(shè)置第三分隔件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨輪修整裝置，其特征在于，在所述修整輪的軸向方向上，所述第一修整輪的厚度大于第一尺寸且小于第二尺寸，所述第一尺寸為所述牙齒的寬度，所述第二尺寸為所述牙齒的寬度和相鄰所述牙齒之間的間隙值的兩倍的和。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一修整輪和所述第二修整輪的材質(zhì)均為陶瓷。
11.一種磨輪修整方法，其特征在于，采用權(quán)利要求1-10任一項(xiàng)所述的磨輪修整裝置進(jìn)行修整，
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種磨輪修整裝置，用于對(duì)雙面研磨設(shè)備中的兩個(gè)研磨輪的牙齒進(jìn)行修整，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一修整輪和所述第二修整輪疊置為一整體結(jié)構(gòu)，且所述第一修整輪和所述第二修整輪之間設(shè)置第一分隔件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一修整輪的中心和所述第二修整輪的中心均設(shè)置第一通孔，所述第一分隔件中心設(shè)置第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔相配合以供固定螺絲穿過。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一修整輪遠(yuǎn)離所述第二修整輪的一側(cè)設(shè)置第二分隔件，所述第二分隔件的中心設(shè)置第三通孔，所述第一通孔、所述第二通孔、所述第三通孔相配合以供固定螺絲穿過。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的磨輪修整裝置，其特征在于，所述第一分隔件和所述第二分隔件的結(jié)構(gòu)相同，所述第一分隔件包括疊置的第一凸臺(tái)和第二凸臺(tái)，所述第二凸臺(tái)的截面積小于所述第二凸臺(tái)的截面積，且所述第一分隔件的所述第二凸臺(tái)能夠插設(shè)于所述第二修整輪的所述第一通孔內(nèi)，所述第二分隔件的所述第二凸臺(tái)能夠插...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：張寧軒，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：西安奕斯偉材料科技股份有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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