【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本公開涉及化學(xué)氣相沉積，特別地涉及一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積方法、系統(tǒng)、程序和存儲(chǔ)介質(zhì)。
技術(shù)介紹
1、碳化硅是一種具有代表性的陶瓷材料，由于其優(yōu)異的物理、化學(xué)和電學(xué)性能，因此在整個(gè)工業(yè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
2、近年來，隨著使用碳化硅材料的半導(dǎo)體加工部件的開發(fā)積極進(jìn)展，碳化硅材料的重要性日益增加。特別地，碳化硅材料由于其高等離子體耐受性而被廣泛用作半導(dǎo)體工藝部件中用于蝕刻工藝的部件。
3、用于半導(dǎo)體蝕刻工藝零件的碳化硅材料是制造碳化硅的傳統(tǒng)方法。由于用這種方法不能滿足質(zhì)量和性能，因此現(xiàn)有技術(shù)中，常常采用化學(xué)氣相沉積法制造。
4、在化學(xué)氣相沉積碳化硅的過程中，采用含si氣體如sih4、sicl2、sicl4和含c氣體如c2h2、ch4、c3h8等的混合物作為原料氣體，或采用ch3sicl3、ch3sih3，(ch3)3sih)等單一氣體作為原材料，進(jìn)行沉積。現(xiàn)有技術(shù)中，通過化學(xué)氣相沉積制造的碳化硅材料質(zhì)量?jī)?yōu)異，但生產(chǎn)率較低。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了解決或至少部分地解決上述技術(shù)問題，本公開提供了一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積方法、系統(tǒng)、程序和存儲(chǔ)介質(zhì)。
2、本公開的第一方面提供了一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積方法，包括如下步驟：
3、將設(shè)置有基材的第一反應(yīng)容器設(shè)置于第二工位，進(jìn)行化學(xué)氣相沉積反應(yīng)；
4、將設(shè)置有基材的第二反應(yīng)容器設(shè)置于第一工位，調(diào)節(jié)第三工位和第一工位的氣氛，使之與第二工位一致；
5、將反應(yīng)完畢的第一反應(yīng)容器移
6、可選地，在將反應(yīng)完畢的第一反應(yīng)容器移動(dòng)至第三工位的步驟之后，還包括：
7、對(duì)位于第三工位的第一反應(yīng)容器進(jìn)行熱處理，而后降低第三工位的溫度至室溫；
8、調(diào)節(jié)第三工位的氣氛至與外部環(huán)境一致；
9、取出第一反應(yīng)容器和第一反應(yīng)容器內(nèi)的反應(yīng)產(chǎn)物；
10、在第三反應(yīng)容器內(nèi)設(shè)置基材；
11、在將第二反應(yīng)容器移動(dòng)至第二工位的步驟之后，還包括：
12、調(diào)節(jié)第一工位的氣氛至與外部環(huán)境一致；
13、將第三反應(yīng)容器置入第一工位內(nèi)，以此循環(huán)。
14、可選地，第三反應(yīng)容器與第一反應(yīng)容器為同一個(gè)反應(yīng)容器。
15、可選地，在各個(gè)反應(yīng)容器設(shè)置于各個(gè)工位的步驟之后，還包括：
16、隔斷各個(gè)工位之間的空間連接，使各個(gè)工位的氣氛獨(dú)立；
17、使氣體支持裝置與所設(shè)置的反應(yīng)容器對(duì)接，從而為反應(yīng)容器提供反應(yīng)氣氛。
18、本公開的另一方面，還提供了一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積的控制方法，包括：
19、響應(yīng)于第一反應(yīng)容器在第二工位的第二就位信號(hào)，發(fā)出沉積開始信號(hào)，使第一反應(yīng)容器在第二工位內(nèi)開始進(jìn)行化學(xué)氣相沉積；
20、響應(yīng)于第二反應(yīng)容器在第一工位的第一就位信號(hào)，發(fā)出第一氣氛調(diào)節(jié)信號(hào)，使第一工位和第二工位的氣氛一致；
21、響應(yīng)于沉積反應(yīng)完畢信號(hào)，發(fā)出第二移動(dòng)信號(hào)，將反應(yīng)完畢的第一反應(yīng)容器移動(dòng)至第三工位，并將第二反應(yīng)容器移動(dòng)至第二工位。
22、可選地，還包括：
23、響應(yīng)于第一反應(yīng)容器在第三工位的第三就位信號(hào)，發(fā)出熱處理信號(hào)，對(duì)第一反應(yīng)容器進(jìn)行熱處理；
24、響應(yīng)于第三工位的熱處理完畢信號(hào)，發(fā)出復(fù)原信號(hào)，使第三工位的溫度降低至室溫，并調(diào)節(jié)第三工位的氣氛至與外部環(huán)境一致；
25、響應(yīng)于第一反應(yīng)容器從第三工位的移出信號(hào)，發(fā)出第二氣氛調(diào)節(jié)信號(hào)，使第三工位和第二工位的氣氛一致。
26、可選地，還包括：
27、響應(yīng)于第三反應(yīng)容器在第一工位的第一就位信號(hào)，發(fā)出第一氣氛調(diào)節(jié)信號(hào)，使第一工位和第二工位的氣氛一致；
28、響應(yīng)于第一反應(yīng)容器在第三工位的第三就位信號(hào)，發(fā)出第一移動(dòng)信號(hào)，將第三反應(yīng)容器移動(dòng)至第二工位。
29、可選地，響應(yīng)于第一反應(yīng)容器在第二工位的第二就位信號(hào)，發(fā)出沉積開始信號(hào)，使第一反應(yīng)容器在第二工位內(nèi)開始進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，還包括：
30、響應(yīng)于第一反應(yīng)容器在第二工位的第二就位信號(hào)，發(fā)出第二對(duì)接信號(hào)，使氣體支持裝置與第一反應(yīng)容器對(duì)接；
31、響應(yīng)于氣體支持裝置與第一反應(yīng)容器的對(duì)接完成信號(hào)，發(fā)出沉積開始信號(hào)，使第一反應(yīng)容器在第二工位內(nèi)開始進(jìn)行化學(xué)氣相沉積。
32、可選地，響應(yīng)于沉積反應(yīng)完畢信號(hào)，發(fā)出第二移動(dòng)信號(hào)，將反應(yīng)完畢的第一反應(yīng)容器移動(dòng)至第三工位，并將第二反應(yīng)容器移動(dòng)至第二工位，還包括：
33、響應(yīng)于沉積反應(yīng)完畢信號(hào)，打開各個(gè)工位之間的通道；
34、響應(yīng)于通道的打開信號(hào)，發(fā)出第二移動(dòng)信號(hào)，將反應(yīng)完畢的第一反應(yīng)容器移動(dòng)至第三工位，并將第二反應(yīng)容器移動(dòng)至第二工位；
35、響應(yīng)于第二反應(yīng)容器在第二工位的第二就位信號(hào)，發(fā)出通道的封閉信號(hào)，封閉各個(gè)工位之間的通道。
36、可選地，方法用于沉積碳化硅及其衍生物。
37、本公開的另一方面還提供了一種計(jì)算機(jī)程序，在被執(zhí)行時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)前述的方法步驟。
38、本公開的另一方面還提供了一種可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其內(nèi)設(shè)置有前述的計(jì)算機(jī)程序。
39、本公開的另一方面還提供了一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，包括：
40、主體裝置，具有第一工位、第二工位和第三工位；
41、第一反應(yīng)容器和第二反應(yīng)容器；第一反應(yīng)容器被設(shè)置于第二工位，第二反應(yīng)容器被設(shè)置于第一工位；
42、控制器，用于：響應(yīng)于第一反應(yīng)容器在第二工位的第二就位信號(hào)，發(fā)出沉積開始信號(hào)，使第一反應(yīng)容器在第二工位內(nèi)開始進(jìn)行化學(xué)氣相沉積；
43、響應(yīng)于第二反應(yīng)容器在第一工位的就位信號(hào)，發(fā)出第一氣氛調(diào)節(jié)信號(hào)，使第一工位和第二工位的氣氛一致；
44、響應(yīng)于沉積反應(yīng)完畢信號(hào)，發(fā)出第二移動(dòng)信號(hào)，將反應(yīng)完畢的第一反應(yīng)容器移動(dòng)至第三工位，并將第二反應(yīng)容器移動(dòng)至第二工位。
45、相比于現(xiàn)有技術(shù)而言，本公開的連續(xù)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備通過構(gòu)建獨(dú)立的第一工位和第三工位，可以將預(yù)處理、沉積反應(yīng)和熱處理這三個(gè)生產(chǎn)過程分配到不同的工位，實(shí)現(xiàn)了連續(xù)化的生產(chǎn)和加工。由于設(shè)置了傳輸裝置，因此可以在第一工位、第二工位、第三工位三個(gè)腔室之間移動(dòng)反應(yīng)容器。這顯著地提高了便利性。通過以上的設(shè)計(jì)，本公開所提供的連續(xù)式化學(xué)氣相沉積設(shè)備和方法，相比于現(xiàn)有技術(shù)的間歇式的設(shè)備和方法而言，能夠顯著地提高半導(dǎo)體材料在化學(xué)氣相沉積領(lǐng)域的生產(chǎn)效率。
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1.一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述將反應(yīng)完畢的所述第一反應(yīng)容器(4)移動(dòng)至第三工位(13)的步驟之后，還包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第三反應(yīng)容器(4)與所述第一反應(yīng)容器(4)為同一個(gè)反應(yīng)容器(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在各個(gè)反應(yīng)容器(4)設(shè)置于各個(gè)工位的步驟之后，還包括：
5.一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積的控制方法，其特征在于，包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，還包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，還包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述響應(yīng)于第一反應(yīng)容器(4)在所述第二工位(12)的第二就位信號(hào)，發(fā)出沉積開始信號(hào)，使所述第一反應(yīng)容器(4)在所述第二工位(12)內(nèi)開始進(jìn)行化學(xué)氣相沉積，還包括：
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述響應(yīng)于沉積反應(yīng)完畢信號(hào)，發(fā)出第二移動(dòng)信號(hào)，將反應(yīng)完畢的所述第一反應(yīng)容器(4)移動(dòng)至第三
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任意一項(xiàng)所述的方法，其特征在于，所述方法用于沉積碳化硅及其衍生物。
11.一種計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，所述計(jì)算機(jī)程序在被執(zhí)行時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)如權(quán)利要求5至10中任意一項(xiàng)所述的方法步驟。
12.一種可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其內(nèi)設(shè)置有權(quán)利要求11所述的計(jì)算機(jī)程序。
13.一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，其特征在于，包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積方法，其特征在于，包括如下步驟：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在所述將反應(yīng)完畢的所述第一反應(yīng)容器(4)移動(dòng)至第三工位(13)的步驟之后，還包括：
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述第三反應(yīng)容器(4)與所述第一反應(yīng)容器(4)為同一個(gè)反應(yīng)容器(4)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，在各個(gè)反應(yīng)容器(4)設(shè)置于各個(gè)工位的步驟之后，還包括：
5.一種連續(xù)式化學(xué)氣相沉積的控制方法，其特征在于，包括：
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，還包括：
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，還包括：
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述響應(yīng)于第一反應(yīng)容器(4)在所述第二...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：樸鐘熏，崔海珍，金錫津，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：蘇州精材半導(dǎo)體科技有限公司，
類型：發(fā)明
國(guó)別省市：
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