【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)涉及薄膜沉積，具體涉及氣體噴淋組件及薄膜沉積裝置。
技術(shù)介紹
1、薄膜沉積是晶圓加工制造中重要的一環(huán)，其通過(guò)薄膜沉積設(shè)備在晶圓表面形成薄膜。化學(xué)氣相薄膜沉積設(shè)備是其中的一種，其通過(guò)將晶圓放置在反應(yīng)腔室內(nèi)，將反應(yīng)氣體通過(guò)氣體分配盤(pán)進(jìn)入反應(yīng)腔，并使用射頻裝置將反應(yīng)氣體等離子化，反應(yīng)腔內(nèi)的加熱盤(pán)提供晶圓反應(yīng)所需的溫度，使晶圓上沉積薄膜。
2、現(xiàn)有技術(shù)中，薄膜沉積裝置中的氣體噴淋頭是一個(gè)關(guān)鍵組件。氣體噴淋頭的作用是將氣體均勻地噴灑在晶圓表面，以確保氣體薄膜均勻地沉積在表面上。在噴淋板上設(shè)置定位柱使噴淋板與蓋板緊密結(jié)合，然而，由于在噴淋板上布置多個(gè)定位柱，可能會(huì)干擾到噴淋板上噴淋孔的布局，進(jìn)而影響晶圓表面的薄膜沉積均勻性。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、有鑒于此，本技術(shù)提供了一種氣體噴淋組件及薄膜沉積裝置，以解決定位柱影響噴淋板上噴淋孔的布局，進(jìn)而影響晶圓表面薄膜沉積均勻性的問(wèn)題。
2、第一方面，本技術(shù)提供了一種氣體噴淋組件，包括：
3、蓋板，開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣孔和至少一個(gè)貫穿所述蓋板兩側(cè)的通孔；
4、噴淋板，與所述蓋板密封連接且之間留有與所述進(jìn)氣孔連通的空腔，所述噴淋板上開(kāi)設(shè)有若干個(gè)與所述空腔連通的噴淋孔；
5、定位柱，至少設(shè)有一個(gè)，與所述通孔一一對(duì)應(yīng)設(shè)置，所述定位柱具有連接端和安裝端，所述連接端設(shè)于所述噴淋板上，所述安裝端焊接設(shè)于所述通孔內(nèi)，所述定位柱上設(shè)有用于支撐所述蓋板的支撐部，所述支撐部設(shè)于所述連接端與所述安裝端之間并一端延伸至所述連接
6、有益效果：此氣體噴淋組件，將蓋板蓋設(shè)在噴淋板上，定位柱的連接端設(shè)置在噴淋板上，蓋板上開(kāi)設(shè)有與定位柱一一對(duì)應(yīng)的通孔，使定位柱的安裝端插入對(duì)應(yīng)的通孔內(nèi)，從而實(shí)現(xiàn)了噴淋板與蓋板的精確定位，簡(jiǎn)化了裝配過(guò)程，提高了裝配效率和精度，避免了錯(cuò)位帶來(lái)的工藝誤差。通過(guò)在定位柱上設(shè)置支撐部，由支撐部來(lái)支撐蓋板，避免焊接后蓋板因自身受力不均而導(dǎo)致的變形問(wèn)題。由于支撐部的一端延伸至連接端，并且定位柱連接端的軸向橫截面的面積小于定位柱支撐部的軸向橫截面的面積，不僅保證了定位柱的自身強(qiáng)度，還減小了定位柱連接端在噴淋板上的占用面積，從而增加了定位柱周邊噴淋孔的數(shù)量，使得定位柱周邊區(qū)域的氣體通過(guò)流量與其他區(qū)域的氣體通過(guò)流量相一致，有效提升了晶圓表面薄膜沉積的均勻性，并保證蓋板與噴淋板之間的結(jié)合強(qiáng)度，提高了氣體噴淋組件的性能和使用壽命。
7、晶圓在進(jìn)行薄膜沉積時(shí)，氣體通過(guò)進(jìn)氣孔進(jìn)入至空腔內(nèi)，然后再通過(guò)噴淋板的噴淋孔均勻地噴灑在晶圓表面，以確保氣體薄膜均勻地沉積在晶圓表面上。
8、在一種可選的實(shí)施方式中，所述支撐部的外表面設(shè)有傾斜面，自所述連接端至所述安裝端方向，所述支撐部的軸向橫截面的面積逐漸變大。
9、有益效果：通過(guò)在支撐部的外表面設(shè)置傾斜面，有助于均勻地分布支撐部所承受的應(yīng)力，減小局部應(yīng)力集中，并且隨著軸向橫截面面積的逐漸增大，支撐部的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度得到增強(qiáng)，使定位柱能夠承受更大的載荷，避免定位柱發(fā)生斷裂或變形。
10、在一種可選的實(shí)施方式中，所述支撐部呈圓臺(tái)狀。
11、有益效果：圓臺(tái)形狀的支撐部在軸向上具有逐漸增大的橫截面，能夠增加支撐部的承載能力，使得支撐部能夠承受更大的力而不發(fā)生變形，同時(shí)圓臺(tái)狀的支撐部便于生產(chǎn)和制造。
12、在一種可選的實(shí)施方式中，所述定位柱的外表面與所述通孔內(nèi)壁之間留有間隙形成焊接槽，所述焊接槽內(nèi)適于容納焊料。
13、有益效果：將定位柱外表面與通孔內(nèi)壁的之間設(shè)有間隙以形成焊接槽，操作人員在對(duì)定位柱和通孔進(jìn)行焊接時(shí)，可以將焊料填充至焊接槽內(nèi)，進(jìn)而對(duì)定位柱的外表面與通孔的內(nèi)壁進(jìn)行充分焊接，增加了焊接面，進(jìn)而增強(qiáng)了焊接強(qiáng)度，提高了蓋板和噴淋板連接的質(zhì)量和可靠性，避免定位柱與通孔焊接處因焊料不足而發(fā)生斷裂的問(wèn)題。
14、在一種可選的實(shí)施方式中，所述定位柱的外表面與所述支撐部之間設(shè)有第一圓角。
15、有益效果：通過(guò)在定位柱的外表面與支撐部之間設(shè)有第一圓角，將定位柱的安裝端安裝在通孔內(nèi)時(shí)，第一圓角抵接在通孔的底部，進(jìn)而對(duì)通孔的底部進(jìn)行密封，能夠有效阻止焊接槽內(nèi)的焊料從通孔掉入至空腔內(nèi)。
16、在一種可選的實(shí)施方式中，所述通孔包括裝配段和安裝段，所述定位柱設(shè)于所述裝配段內(nèi)，所述安裝段的孔徑大于所述裝配段的孔徑。
17、有益效果：將通孔的安裝段孔徑設(shè)置的大于裝配段孔徑，在焊接定位柱時(shí)，將定位柱安裝在裝配段內(nèi)，提供充足的焊接空間，以便于對(duì)定位柱的安裝端或外表面進(jìn)行焊接操作。
18、在一種可選的實(shí)施方式中，所述安裝端設(shè)于所述裝配段與所述安裝段之間。
19、有益效果：將安裝端設(shè)置在裝配段和安裝段之間，在對(duì)定位柱進(jìn)行焊接固定時(shí)，可以將定位柱的安裝端的端面與裝配段和安裝段之間形成的階梯面焊接在一起，進(jìn)一步確保定位柱在通孔內(nèi)焊接牢固。
20、在一種可選的實(shí)施方式中，所述定位柱的所述連接端與所述噴淋板的連接處設(shè)有第二圓角。
21、有益效果：在定位柱連接端與噴淋板的連接處設(shè)置第二圓角，通過(guò)第二圓角進(jìn)行過(guò)渡，防止定位柱的連接端應(yīng)力集中而導(dǎo)致定位柱變形，延長(zhǎng)定位柱和噴淋板的使用壽命。
22、在一種可選的實(shí)施方式中，所述定位柱設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述定位柱與所述噴淋板為一體成型設(shè)置。
23、有益效果：多個(gè)定位柱設(shè)置在噴淋板上，可以為蓋板提供均勻的支撐點(diǎn)，確保了整個(gè)蓋板和噴淋板在安裝和工作時(shí)的穩(wěn)定性，減少了因受力不均而引起的變形或偏移位。通過(guò)將定位柱與噴淋板一體化成型設(shè)置，可以確保定位柱與噴淋板之間無(wú)接合縫隙，結(jié)構(gòu)連續(xù)無(wú)弱點(diǎn)，大大增強(qiáng)了整體的機(jī)械強(qiáng)度和抗扭轉(zhuǎn)力，適合承受高溫、振動(dòng)等惡劣工況，延長(zhǎng)了噴淋結(jié)構(gòu)的使用壽命。
24、第二方面，本技術(shù)還提供了一種薄膜沉積裝置，包括：
25、腔室；
26、氣體噴淋組件，所述噴淋板設(shè)于所述腔室內(nèi)。
27、有益效果：此薄膜沉積裝置，將噴淋板設(shè)置在腔室內(nèi)，通過(guò)噴淋板的噴淋孔均勻地將氣體噴灑在晶圓表面上，進(jìn)行薄膜沉積。由于支撐部的一端延伸至連接端，并且定位柱連接端的軸向橫截面的面積小于定位柱支撐部的軸向橫截面的面積，不僅保證了定位柱的自身強(qiáng)度，還減小了定位柱連接端在噴淋板上的占用面積，從而增加了定位柱周邊噴淋孔的數(shù)量，使得定位柱周邊區(qū)域的氣體通過(guò)流量與其他區(qū)域的氣體通過(guò)流量相一致，有效提升了晶圓表面薄膜沉積的均勻性。
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1.一種氣體噴淋組件，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述支撐部(403)的外表面設(shè)有傾斜面(4031)，自所述連接端(401)至所述安裝端(402)方向，所述支撐部(403)的軸向橫截面的面積逐漸變大。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述支撐部(403)呈圓臺(tái)狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面與所述通孔(102)內(nèi)壁之間留有間隙形成焊接槽(5)，所述焊接槽(5)內(nèi)適于容納焊料。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面與所述支撐部(403)之間設(shè)有第一圓角(404)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述通孔(102)包括裝配段(1021)和安裝段(1022)，所述定位柱(4)設(shè)于所述裝配段(1021)內(nèi)，所述安裝段(1022)的孔徑大于所述裝配段(1021)的孔徑。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述安裝端(402)設(shè)于
8.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述定位柱(4)的所述連接端(401)與所述噴淋板(2)的連接處設(shè)有第二圓角(405)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述定位柱(4)設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述定位柱(4)與所述噴淋板(2)為一體成型設(shè)置。
10.一種薄膜沉積裝置，其特征在于，包括：
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種氣體噴淋組件，其特征在于，包括：
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述支撐部(403)的外表面設(shè)有傾斜面(4031)，自所述連接端(401)至所述安裝端(402)方向，所述支撐部(403)的軸向橫截面的面積逐漸變大。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述支撐部(403)呈圓臺(tái)狀。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面與所述通孔(102)內(nèi)壁之間留有間隙形成焊接槽(5)，所述焊接槽(5)內(nèi)適于容納焊料。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的氣體噴淋組件，其特征在于，所述定位柱(4)的外表面與所述支撐部(403)之間設(shè)有第一圓角(404)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的氣...
【專(zhuān)利技術(shù)屬性】
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