【技術(shù)實(shí)現(xiàn)步驟摘要】
本技術(shù)屬于物料支撐裝置，特別涉及一種浮動(dòng)支撐。
技術(shù)介紹
1、在進(jìn)行硅晶棒切割工作時(shí)，一般會(huì)沿硅晶棒的軸線方向，在硅晶棒的正下方均布多個(gè)支撐裝置用于承托硅晶棒將硅晶棒精確移動(dòng)至切割位置進(jìn)行切割。
2、目前，市面上通常使用鎖緊氣缸配合相應(yīng)的移動(dòng)機(jī)構(gòu)用作支撐裝置承托硅晶棒并移動(dòng)，但在實(shí)際使用過程中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)所支撐的物料為直徑變化量波動(dòng)小(即近似于圓柱狀)的長(zhǎng)硅晶棒時(shí)，如說明書附圖1所示，放置在支撐組件上的硅晶棒的軸線與硅晶棒的輸送方向相對(duì)平行，硅棒切斜影響小，在加工誤差允許范圍內(nèi)；當(dāng)所支撐的物料為直徑變化量波動(dòng)大(即近似于兩端尺寸不一致的圓臺(tái)狀)的短硅晶棒時(shí)，如說明書附圖2所示，因常規(guī)使用的支撐組件，如鎖緊氣缸，頂升接觸到硅棒后即停止，無法對(duì)硅棒的傾斜程度進(jìn)行感知并進(jìn)一步調(diào)整，從而使放置在支撐組件上的硅晶棒的軸線易與硅晶棒的輸送方向形成夾角，使得實(shí)際加工時(shí)只能達(dá)到說明書附圖2和附圖3中的承托狀態(tài)，而無法實(shí)現(xiàn)說明書附圖4和附圖5中的理想承托效果，導(dǎo)致所截出的截面亦與硅晶棒的軸線形成夾角，即截出的截面為橢圓形，棒料切斜影響大，進(jìn)而對(duì)硅晶棒后續(xù)的加工精度造成嚴(yán)重影響。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本技術(shù)所要解決的技術(shù)問題是：如何提供一種在支撐物料的同時(shí)，能夠?qū)ξ锪衔恢眠M(jìn)行感知并調(diào)整物料，進(jìn)而解決物料被切斜的浮動(dòng)支撐。
2、為了解決上述技術(shù)問題，本技術(shù)采用的技術(shù)方案為：
3、一種浮動(dòng)支撐，包括伸縮裝置和微動(dòng)感應(yīng)器，所述伸縮裝置的活動(dòng)端彈性連接有活動(dòng)塊；
4、
5、所述伸縮裝置的活動(dòng)端設(shè)有與凹陷結(jié)構(gòu)相適配的凸塊；
6、所述凹陷結(jié)構(gòu)和凸塊之間預(yù)設(shè)間距形成間隙；
7、所述微動(dòng)感應(yīng)器的感應(yīng)端設(shè)置在間隙內(nèi)。
8、進(jìn)一步地，所述凹陷結(jié)構(gòu)與凸塊的接觸面，以及凸塊與凹陷結(jié)構(gòu)的接觸面均為球面。
9、進(jìn)一步地，所述間隙的變化方向與伸縮裝置的伸縮方向相平行。
10、進(jìn)一步地，所述伸縮裝置的活動(dòng)端設(shè)有支撐塊；
11、所述支撐塊為空心結(jié)構(gòu)；
12、所述活動(dòng)塊與支撐塊彈性連接；
13、所述凸塊設(shè)置在支撐塊上，且凸塊與凹陷結(jié)構(gòu)相對(duì)設(shè)置；
14、所述微動(dòng)感應(yīng)器設(shè)置在支撐塊的內(nèi)部；
15、所述微動(dòng)感應(yīng)器的感應(yīng)端貫穿凸塊并朝向凹陷結(jié)構(gòu)設(shè)置。
16、進(jìn)一步地，所述微動(dòng)感應(yīng)器的感應(yīng)端的一部分外露在凸塊的外側(cè)；
17、所述微動(dòng)感應(yīng)器的感應(yīng)端的外露部分設(shè)置在凸塊的最高處。
18、進(jìn)一步地，還包括至少兩個(gè)彈性元件；
19、所述彈性元件周向均布在凸塊的外側(cè)；
20、所述活動(dòng)塊通過彈性元件與支撐塊彈性連接；
21、所述彈性元件的伸縮方向與伸縮裝置的伸縮方向相平行。
22、進(jìn)一步地，還包括密封圈；
23、所述支撐塊的外側(cè)周向設(shè)有限位件；
24、所述活動(dòng)塊為一端封閉一端開口的蓋狀結(jié)構(gòu)；
25、所述活動(dòng)塊的開口端朝向支撐塊設(shè)置；
26、所述限位件的外側(cè)壁與活動(dòng)塊的內(nèi)側(cè)壁滑動(dòng)連接；
27、所述密封圈設(shè)置在活動(dòng)塊的內(nèi)部；
28、所述密封圈、活動(dòng)塊和限位件構(gòu)成密封結(jié)構(gòu)。
29、進(jìn)一步地，沿所述伸縮裝置的伸縮方向，密封圈的兩端分別與活動(dòng)塊的封閉端以及限位件的厚度方向的一端相抵觸；
30、沿垂直于所述伸縮裝置的伸縮方向，密封圈的兩端分別與活動(dòng)塊的內(nèi)側(cè)壁以及支撐塊的外側(cè)壁相抵觸。
31、進(jìn)一步地，所述活動(dòng)塊的開口端設(shè)有卡接件；
32、在所述伸縮裝置的伸縮方向上，限位件設(shè)置在密封圈和卡接件之間；
33、沿所述伸縮裝置的伸縮方向，卡接件可靠近或遠(yuǎn)離限位件；
34、當(dāng)所述活動(dòng)塊移動(dòng)至遠(yuǎn)離支撐塊的最遠(yuǎn)處時(shí)，卡接件與限位件的厚度方向的另一端相抵觸。
35、進(jìn)一步地，所述伸縮裝置包括支撐板、螺紋伸縮桿組和電機(jī)；
36、所述螺紋伸縮桿組和電機(jī)分設(shè)在支撐板的厚度方向的兩側(cè)；
37、所述支撐塊與螺紋伸縮桿組的活動(dòng)端相連；
38、所述電機(jī)與螺紋伸縮桿組的活動(dòng)端傳動(dòng)連接，以帶動(dòng)支撐塊沿螺紋伸縮桿組的軸向往復(fù)移動(dòng)。
39、本技術(shù)的有益效果在于：本技術(shù)提供的浮動(dòng)支撐，利用凹陷結(jié)構(gòu)和凸塊能夠相互定心配合的效果，并將微動(dòng)感應(yīng)器設(shè)置在凹陷結(jié)構(gòu)和凸塊之間的間隙中，即可減小微動(dòng)感應(yīng)器的觸發(fā)失誤率，從而使微動(dòng)感應(yīng)器能夠?qū)佑|到的棒料位置進(jìn)行精準(zhǔn)反饋，以為棒料位置調(diào)整提供結(jié)構(gòu)上的支持，進(jìn)而補(bǔ)償物料頂升行程，達(dá)到解決硅棒尤其短棒容易切斜的問題。
本文檔來自技高網(wǎng)...【技術(shù)保護(hù)點(diǎn)】
1.一種浮動(dòng)支撐，包括伸縮裝置和微動(dòng)感應(yīng)器，其特征在于，所述伸縮裝置的活動(dòng)端彈性連接有活動(dòng)塊；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述凹陷結(jié)構(gòu)與凸塊的接觸面，以及凸塊與凹陷結(jié)構(gòu)的接觸面均為球面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述間隙的變化方向與伸縮裝置的伸縮方向相平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述伸縮裝置的活動(dòng)端設(shè)有支撐塊；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述微動(dòng)感應(yīng)器的感應(yīng)端的一部分外露在凸塊的外側(cè)；
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，還包括至少兩個(gè)彈性元件；
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，還包括密封圈；
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，沿所述伸縮裝置的伸縮方向，密封圈的兩端分別與活動(dòng)塊的封閉端以及限位件的厚度方向的一端相抵觸；
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述活動(dòng)塊的開口端設(shè)有卡接件；
10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述伸縮
...【技術(shù)特征摘要】
1.一種浮動(dòng)支撐，包括伸縮裝置和微動(dòng)感應(yīng)器，其特征在于，所述伸縮裝置的活動(dòng)端彈性連接有活動(dòng)塊；
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述凹陷結(jié)構(gòu)與凸塊的接觸面，以及凸塊與凹陷結(jié)構(gòu)的接觸面均為球面。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述間隙的變化方向與伸縮裝置的伸縮方向相平行。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述伸縮裝置的活動(dòng)端設(shè)有支撐塊；
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的浮動(dòng)支撐，其特征在于，所述微動(dòng)感應(yīng)器的感應(yīng)端的一部分外露在凸塊...
【專利技術(shù)屬性】
技術(shù)研發(fā)人員：肖起韓，李海威，李波，楊華英，林光展，陳釩，張博，何德鏡，吳立雄，謝美春，
申請(qǐng)(專利權(quán))人：福建天石源智能裝備有限公司，
類型：新型
國(guó)別省市：
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