【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及晶圓清洗，尤其涉及一種再生晶圓高效清洗設備。
技術介紹
1、將再生晶圓集中放置于片盒內進行集中清潔能夠提高晶圓清潔的效率，通過設置翻轉結構能夠在清潔的過程中晶圓整體的位置，能夠解決集中清潔中存在清潔死角的問題。
2、傳統的集中式清潔的過程中需要將容納晶圓的片盒鎖緊固定于預定的安裝平臺表面，傳統的片盒以及相應的鎖緊結構較為簡單，在前期安裝的過程中需要單個穩固地安裝于預定的安裝平臺表面，耗費時間較長，同樣地，在拆卸的過程中需要安裝相反的步驟進行，在片盒拆卸的過程中耗費了大量時間，影響了再生晶圓集中清潔的效率。
技術實現思路
1、針對上述問題，本專利技術提供一種再生晶圓高效清洗設備，該專利技術簡化了片盒安裝拆卸的過程，提高了晶圓集中清潔的效率。
2、為解決上述問題，本專利技術所采用的技術方案是：
3、一種再生晶圓高效清洗設備，包括第一承載主體，所述第一承載主體內部轉動連接有第二承載主體,第二承載主體可拆卸連接有多個用于容納晶圓的片盒，所述片盒與第二承載主體之間安裝有鎖緊裝置，所述第二承載主體上端固定有兩條條形限位凸起，所述條形限位凸起內側開有條形限位槽；所述片盒包括兩個對稱布置的限位主體，所述限位主體下端開有兩條與兩個條形限位凸起相適配的限位開口，兩個所述限位開口之間安裝有可伸縮的液壓鎖緊裝置，所述液壓鎖緊裝置包括兩個可伸出的液壓鎖緊末端，所述液壓鎖緊末端的末端與條形限位槽相適配，兩個所述液壓鎖緊末端之間安裝有彈性元件，通過所述彈性元件控
4、優選地，所述液壓鎖緊裝置包括液壓鎖緊底座，所述液壓鎖緊底座內部形成有安裝腔室，所述安裝腔室內壁密封滑動連接有兩個安裝活塞，所述液壓鎖緊末端安裝于對應的安裝活塞外側，所述安裝活塞末端貫穿液壓鎖緊底座并且與之密封滑動連接，所述安裝活塞外側形成有控制腔室，所述液壓觸控裝置與控制腔室連通。
5、優選地，所述彈性元件安裝于兩個安裝活塞之間的位置，所述安裝腔室內壁還安裝有限位塊，所述限位塊位于安裝活塞移動路徑上，通過所述限位塊控制安裝活塞極限收縮位置。
6、優選地，所述液壓觸控裝置包括液壓觸控底座以及液壓觸控末端，所述液壓觸控底座和液壓觸控末端之間形成有容納控制油液的容納腔室，所述容納腔室與控制腔室連通。
7、優選地，所述控制腔室與液壓觸控裝置之間安裝有用于輸送控制油液的泵送管組，所述泵送管組包括內置單向閥的第一泵送管道，還包括內置控制閥的第二泵送管道。
8、優選地，所述控制閥為觸控閥，所述控制閥安裝于限位主體外壁靠近液壓觸控裝置一側。
9、優選地，兩個限位主體之間相對滑動，且兩個限位主體之間安裝有導向桿。
10、優選地，所述條形限位槽內壁固定有可伸縮的限位板，所述限位板與所述液壓鎖緊末端錯開布置，其中液壓鎖緊末端伸出后控制限位板伸出將液壓鎖緊末端抵緊。
11、優選地，所述第二承載主體上端安裝有限位組件，所述限位組件包括第一液壓伸縮桿，所述條形限位槽內壁還安裝有第二液壓伸縮桿，所述第二液壓伸縮桿與所述第一液壓伸縮桿連通。
12、本專利技術的有益效果為：
13、與現有技術相比較，通過上述結構設計，在鎖緊的過程中通過彈性元件能夠控制兩側的液壓鎖緊末端自動伸出與條形限位凸起進行鎖緊限位，無需人工進行鎖緊操作，提高了鎖緊的效果以及效率；同時，在夾持上料的過程中機械手能夠自動夾持液壓觸控裝置調整控制油液的流動，在夾持的過程中實現自動控制，能夠與液壓鎖緊裝置相配合，完成了自動鎖緊控制；本專利技術無需內置電氣鎖緊元件，避免了電氣結構長期處于清潔液體內產生損壞，并且也無需人工手動進行鎖緊，極大地提高了再生晶圓清潔的效率。
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1.一種再生晶圓高效清洗設備，包括第一承載主體（100），所述第一承載主體（100）內部轉動連接有第二承載主體（200）,第二承載主體（200）可拆卸連接有多個用于容納晶圓（800）的片盒（300），所述片盒（300）與第二承載主體（200）之間安裝有鎖緊裝置，其特征在于：
2.根據權利要求1所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述液壓鎖緊裝置（500）包括液壓鎖緊底座（510），所述液壓鎖緊底座（510）內部形成有安裝腔室，所述安裝腔室內壁密封滑動連接有兩個安裝活塞（520），所述液壓鎖緊末端（530）安裝于對應的安裝活塞（520）外側，所述安裝活塞（520）末端貫穿液壓鎖緊底座（510）并且與之密封滑動連接，所述安裝活塞（520）外側形成有控制腔室（5201），所述液壓觸控裝置（400）與控制腔室（5201）連通。
3.根據權利要求2所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述彈性元件（540）安裝于兩個安裝活塞（520）之間的位置，所述安裝腔室內壁還安裝有限位塊，所述限位塊位于安裝活塞（520）移動路徑上，通過所述限位塊控制安裝活塞（52
4.根據權利要求2所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述液壓觸控裝置（400）包括液壓觸控底座（410）以及液壓觸控末端（420），所述液壓觸控底座（410）和液壓觸控末端（420）之間形成有容納控制油液的容納腔室，所述容納腔室與控制腔室（5201）連通。
5.根據權利要求2所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述控制腔室（5201）與液壓觸控裝置（400）之間安裝有用于輸送控制油液的泵送管組，所述泵送管組包括內置單向閥的第一泵送管道，還包括內置控制閥（600）的第二泵送管道。
6.根據權利要求5所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述控制閥（600）為觸控閥，所述控制閥（600）安裝于限位主體（320）外壁靠近液壓觸控裝置（400）一側。
7.根據權利要求1所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，兩個限位主體（320）之間相對滑動，且兩個限位主體（320）之間安裝有導向桿（330）。
8.根據權利要求1所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述條形限位槽（211）內壁固定有可伸縮的限位板，所述限位板與所述液壓鎖緊末端（530）錯開布置，其中液壓鎖緊末端（530）伸出后控制限位板伸出將液壓鎖緊末端（530）抵緊。
9.根據權利要求8所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述第二承載主體（200）上端安裝有限位組件（700），所述限位組件（700）包括第一液壓伸縮桿（710），所述條形限位槽（211）內壁還安裝有第二液壓伸縮桿，所述第二液壓伸縮桿與所述第一液壓伸縮桿（710）連通。
...【技術特征摘要】
1.一種再生晶圓高效清洗設備，包括第一承載主體（100），所述第一承載主體（100）內部轉動連接有第二承載主體（200）,第二承載主體（200）可拆卸連接有多個用于容納晶圓（800）的片盒（300），所述片盒（300）與第二承載主體（200）之間安裝有鎖緊裝置，其特征在于：
2.根據權利要求1所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述液壓鎖緊裝置（500）包括液壓鎖緊底座（510），所述液壓鎖緊底座（510）內部形成有安裝腔室，所述安裝腔室內壁密封滑動連接有兩個安裝活塞（520），所述液壓鎖緊末端（530）安裝于對應的安裝活塞（520）外側，所述安裝活塞（520）末端貫穿液壓鎖緊底座（510）并且與之密封滑動連接，所述安裝活塞（520）外側形成有控制腔室（5201），所述液壓觸控裝置（400）與控制腔室（5201）連通。
3.根據權利要求2所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述彈性元件（540）安裝于兩個安裝活塞（520）之間的位置，所述安裝腔室內壁還安裝有限位塊，所述限位塊位于安裝活塞（520）移動路徑上，通過所述限位塊控制安裝活塞（520）極限收縮位置。
4.根據權利要求2所述的一種再生晶圓高效清洗設備，其特征在于，所述液壓觸控裝置（400）包括液壓觸控底座（410）以及液壓觸控末端（420），所述液壓觸控底座（410）和液壓觸控末端（42...
【專利技術屬性】
技術研發人員：王剛，馮校亮，邵毅，
申請(專利權)人：安徽富樂德長江半導體材料股份有限公司，
類型：發明
國別省市：
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