本發明專利技術公開了一種驅動組件、晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法，涉及半導體技術領域，驅動組件至少包括驅動集成部，所述驅動集成部包括多個并列排布設置的直驅電機，且具有多個傳動層級高度；其中，所述驅動集成部的其中一個所述直驅電機驅動所述第一臂繞第二臂的肘部回轉中心旋轉，另外的所述直驅電機分別驅動至少兩個末端執行器繞第一臂的腕部回轉中心在不同的高度上進行相對旋轉。本發明專利技術用于在晶圓搬運過程中對末端驅動器進行驅動，驅動組件在晶圓搬運過程中用于提供驅動力，驅動組件至少解決了電機縱向重疊占用空間較大的技術問題；晶圓搬運裝置用于搬運晶圓，晶圓搬運裝置至少解決了末端執行器轉動角度受限制，傳片節拍效率較低的技術問題。
【技術實現步驟摘要】
本專利技術涉及半導體，尤其涉及一種驅動組件、晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法。
技術介紹
1、大氣機械手是晶圓在生產制造中，晶圓在設備間傳輸的重要構件，用于抓取和轉移晶圓，廣泛應用于集成電路制造行業。
2、現有技術中，通過線路控制機械手中的末端執行機構對晶圓進行抓取，因此在末端執行機構轉動過程中，線路會發生纏繞，尤其是對于存在多個末端執行機構的情況下，在末端執行機構轉動過程中，末端執行機構的轉動角度受到限制，在搬運過程中會耗費更多的時間。
3、因此，有必要提供一種新的驅動組件、晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法，以解決現有技術中存在的上述問題。
技術實現思路
1、本專利技術的目的在于提供一種驅動組件、晶圓搬運裝置及晶圓搬運方法，至少解決了如下技術問題：
2、1、驅動組件解決了現有技術中電機縱向重疊占用空間較大的技術問題；
3、2、晶圓搬運裝置解決了現有技術中末端執行器轉動角度受限制，傳片節拍效率較低的問題；
4、3、晶圓搬運方法解決了現有技中需要采用減速機，阻尼較大，控制不方便的問題。
5、為實現上述目的，本專利技術的技術方案如下：
6、第一方面，本專利技術公開一種驅動組件，應用于晶圓搬運裝置，所述晶圓搬運裝置包括第一臂、第二臂和至少兩個可發生相對轉動的末端執行器，所述驅動組件設置在所述第二臂的肩部關節處，所述驅動組件包括驅動集成部，所述驅動集成部包括多個并列排布設置的直驅電機，且具有多個傳動層級高度；
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p>7、其中，所述驅動集成部的其中一個所述直驅電機驅動所述第一臂繞第二臂的肘部回轉中心旋轉，另外的所述直驅電機分別驅動至少兩個末端執行器繞第一臂的腕部回轉中心在不同的高度上進行相對旋轉。8、通過采用上述技術方案，多個直驅電機集成并且并列排布設置，并且多個直驅電機具有多個傳動層級高度，有效改善了電機縱向重疊占用空間較大的問題，在驅動方式上減小了縱向空間的占用，同時采用直驅電機在水平方向上集成的安裝方式，減小了整體的厚度。
9、可選的，多個所述直驅電機的驅動端在軸向上具有多個傳動層級高度，且其中任意一個所述驅動端的傳動層級高度與其他所述驅動端的傳動層級高度之間具有高度差；
10、和/或，
11、每個所述直驅電機的驅動端均同步連接有肩部帶輪，多個所述肩部帶輪具有多個傳動層級高度，且其中任意一個所述肩部帶輪的傳動層級高度與其他所述肩部帶輪的傳動層級高度之間具有高度差。
12、通過采用上述技術方案，可以選用多個直驅電機具有多個傳動層級高度，也可以選用多個肩部帶輪具有多個傳動層級高度，或者多個直驅電機與多個肩部帶輪均具有多個傳動層級高度，以此來保證直驅電機在不同的傳動層級高度進行輸出，使多個直驅電機的輸入過程不會相互產生干涉。
13、可選的，多個所述直驅電機的驅動端在軸向上具有同一個傳動層級高度，每個所述直驅電機的驅動端均同步連接有肩部帶輪，多個所述肩部帶輪在軸向上具有多個傳動層級高度，且其中任意一個所述肩部帶輪的傳動層級高度與其他所述肩部帶輪的傳動層級高度之間具有高度差。
14、通過采用上述技術方案，任意一個肩部帶輪的傳動層級高度與其他肩部帶輪的傳動層級高度之間具有高度差，使多個肩部帶輪均置于不同的傳動層級高度上，在多個直驅電機驅動過程中，多個置于不同傳動層級高度的肩部帶輪之間不會相互干涉。
15、第二方面，本專利技術公開一種晶圓搬運裝置，包括主支撐體、驅動組件；以及
16、第一臂，一端轉動設置于所述主支撐體；
17、至少兩同軸設置且可發生相對轉動的末端執行器，轉動設置于所述第一臂另一端，每個所述末端執行器可沿順時針或逆時針方向持續無限回轉；
18、執行器旋轉單元，連接于所述末端執行器并用于帶動所述末端執行器轉動；執行器旋轉單元至少包括同軸設置的第一轉動筒和第二轉動筒，所述第一轉動筒與所述第二轉動筒均具有輸入端和輸出端，所述第一轉動筒的輸入端a1與所述第二轉動筒的輸入端a2均連接于所述直驅電機；
19、第一傳動件，兩端分別連接于執行器旋轉單元、末端執行器的轉軸；
20、工作狀態，所述直驅電機帶動所述第一轉動筒的輸入端a1轉動，所述第一轉動筒的輸出端b1與所述第一傳動件連接，所述第一轉動筒的輸入端a1轉動帶動所述第一轉動筒的輸出端b1轉動，使其中一所述末端執行器轉動；所述直驅電機帶動所述第二轉動筒的輸入端a2轉動，所述第二轉動筒的輸出端b2與所述第一傳動件連接，所述第二轉動筒的輸入端a2轉動帶動所述第二轉動筒的輸出端b2轉動，使另一所述末端執行器轉動。
21、通過采用上述技術方案，執行器旋轉單元通過第一傳動件帶動末端執行器轉動，轉動過程中末端執行器的轉動角度不會受到限制，能有效提高傳片節拍，節省時間，同時在本方案中無需采用減速機，具有阻尼小，控制方便的優點，即末端執行器可在直驅電機的帶動下，沿順時針或逆時針方向持續無限回轉，解決了現有技術中末端執行器轉動角度受限制，傳片節拍效率較低的問題，便于晶圓搬運過程的進行。
22、可選的，所述第一轉動筒穿設于所述第二轉動筒，所述第一轉動筒的輸入端a1與所述第一轉動筒的輸出端a2均置于所述第二轉動筒外部；所述第一轉動筒與所述第二轉動筒之間設置有第一軸承，所述第一軸承的內圈抵接于所述第一轉動筒外壁，外圈抵接于所述第二轉動筒內壁。
23、通過采用上述技術方案，第一轉動筒穿設在第二轉動筒內部，且第一轉動筒的輸入端a3與第一轉動筒的輸出端b3均置于第二轉動筒外部，便于對第一轉動筒、第二轉動筒的單獨控制，第一轉動筒的轉動與第二轉動筒的轉動之間不會發生干涉，便于控制末端執行器轉動過程的進行。
24、可選的，所述主支撐體上設置有至少兩個第二傳動件、所述直驅電機，所述第一驅動件用于帶動所述第二傳動件運動；其中一第二傳動件一端連接于所述第一轉動筒的輸入端a1，另一端連接于所述直驅電機；另一第二傳動件一端連接于所述第二轉動筒的輸入端a2，另一端連接于所述直驅電機。
25、通過采用上述技術方案，第一驅動件用于帶動第一轉動筒和第二轉動筒轉動，兩第一驅動件分別通過第二傳動件連接于第一轉動筒的輸入端a1和第二轉動筒的輸入端a2，同時由于第一轉動筒的輸入端a1置于第二轉動筒的外部，因此兩第二傳動件的運動不會發生干涉，此時兩個第一驅動件的高度分別與第一轉動筒的輸入端a1高度、第二轉動筒的輸入端a2高度對應。
26、可選的，還包括帶動件，所述帶動件轉動設置于所述主支撐體，并與所述第二轉動筒呈同軸設置，所述帶動件具有輸入端a3和輸出端b3，所述帶動件的輸出端b3固定設置于所述第一臂；
27、工作狀態，所述帶動件的輸入端a3轉動，帶動所述帶動件的輸出端b3轉動，以帶動所述第一臂轉動。
28、通過采用上述技術方案，帶動件控制第一臂轉動，在工作時，第一臂與末端執行器配合轉動，增大了末端執行器的行程，便于晶圓的搬運。...
【技術保護點】
1.一種驅動組件，應用于晶圓搬運裝置，所述晶圓搬運裝置包括第一臂(110)、第二臂(200)和至少兩個可發生相對轉動的末端執行器(120)，其特征在于，所述驅動組件設置在所述第二臂(200)的肩部關節處，所述驅動組件包括驅動集成部，所述驅動集成部包括多個并列排布設置的直驅電機(150)，且具有多個傳動層級高度；
2.根據權利要求1所述的驅動組件，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的驅動組件，其特征在于，多個所述直驅電機(150)的驅動端在軸向上具有同一個傳動層級高度，每個所述直驅電機(150)的驅動端均同步連接有肩部帶輪(170)，多個所述肩部帶輪(170)在軸向上具有多個傳動層級高度，且其中任意一個所述肩部帶輪(170)的傳動層級高度與其他所述肩部帶輪(170)的傳動層級高度之間具有高度差。
4.一種晶圓搬運裝置，其特征在于，包括主支撐體(100)、權利要求1-3任一所述的驅動組件；以及
5.根據權利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述第一轉動筒(131)穿設于所述第二轉動筒(132)，所述第一轉動筒(131)的輸入端A1與所述第一轉動筒(131)的輸出端B1均置于所述第二轉動筒(132)外部；所述第一轉動筒(131)與所述第二轉動筒(132)之間設置有第一軸承(133)，所述第一軸承(133)的內圈抵接于所述第一轉動筒(131)外壁，外圈抵接于所述第二轉動筒(132)內壁。
6.根據權利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述主支撐體(100)上設置有至少兩個第二傳動件(160)，所述直驅電機(150)用于帶動所述第二傳動件(160)運動；其中一第二傳動件(160)一端連接于所述第一轉動筒(131)的輸入端A1，另一端連接于所述直驅電機(150)；另一第二傳動件(160)一端連接于所述第二轉動筒(132)的輸入端A2，另一端連接于所述直驅電機(150)。
7.根據權利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包括帶動件(134)，所述帶動件(134)轉動設置于所述主支撐體(100)，并與所述第二轉動筒(132)呈同軸設置，所述帶動件(134)具有輸入端A3和輸出端B3，所述帶動件(134)的輸出端B3固定設置于所述第一臂(110)；
8.根據權利要求7所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述第二轉動筒(132)穿設于所述帶動件(134)，所述第二轉動筒(132)的輸出端B2與輸入端A2均置于所述帶動件(134)外部，所述帶動件(134)與所述第二轉動筒(132)之間設置第二軸承(135)，所述第二軸承(135)的內圈抵接于所述第二轉動筒(132)外壁，外圈抵接于所述帶動件(134)內壁。
9.根據權利要求7所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述主支撐體(100)上設置有第三傳動件(180)，所述直驅電機(150)用于帶動所述第三傳動件(180)運動，所述第三傳動件(180)一端連接于所述直驅電機(150)，另一端連接于所述帶動件(134)的輸入端A3。
10.根據權利要求4-9任一所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述主支撐體(100)端部具有第二臂(200)，所述第一臂(110)一端轉動設置于第二臂(200)遠離所述主支撐體(100)的端部，另一端轉動設置有所述末端執行器(120)。
11.根據權利要求10所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述主支撐體(100)底部設置有用于帶動所述主支撐體(100)沿水平方向轉動的驅動器(190)。
12.根據權利要求11所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包括供氣組件，供氣組件包括主供應結構(400)和傳輸組件(410)；所述傳輸組件(410)包括供氣管路(411)和傳輸部(500)，所述供氣管路(411)兩端分別連通于主供應結構(400)和傳輸部(500)；
13.根據權利要求12所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包括供電組件，所述供電組件的供電線路(412)電連接于所述末端執行器(120)上的電路元件。
14.一種晶圓搬運方法，包含權利要求13所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，包括以下步驟：
...
【技術特征摘要】
1.一種驅動組件，應用于晶圓搬運裝置，所述晶圓搬運裝置包括第一臂(110)、第二臂(200)和至少兩個可發生相對轉動的末端執行器(120)，其特征在于，所述驅動組件設置在所述第二臂(200)的肩部關節處，所述驅動組件包括驅動集成部，所述驅動集成部包括多個并列排布設置的直驅電機(150)，且具有多個傳動層級高度；
2.根據權利要求1所述的驅動組件，其特征在于，
3.根據權利要求1所述的驅動組件，其特征在于，多個所述直驅電機(150)的驅動端在軸向上具有同一個傳動層級高度，每個所述直驅電機(150)的驅動端均同步連接有肩部帶輪(170)，多個所述肩部帶輪(170)在軸向上具有多個傳動層級高度，且其中任意一個所述肩部帶輪(170)的傳動層級高度與其他所述肩部帶輪(170)的傳動層級高度之間具有高度差。
4.一種晶圓搬運裝置，其特征在于，包括主支撐體(100)、權利要求1-3任一所述的驅動組件；以及
5.根據權利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述第一轉動筒(131)穿設于所述第二轉動筒(132)，所述第一轉動筒(131)的輸入端a1與所述第一轉動筒(131)的輸出端b1均置于所述第二轉動筒(132)外部；所述第一轉動筒(131)與所述第二轉動筒(132)之間設置有第一軸承(133)，所述第一軸承(133)的內圈抵接于所述第一轉動筒(131)外壁，外圈抵接于所述第二轉動筒(132)內壁。
6.根據權利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，所述主支撐體(100)上設置有至少兩個第二傳動件(160)，所述直驅電機(150)用于帶動所述第二傳動件(160)運動；其中一第二傳動件(160)一端連接于所述第一轉動筒(131)的輸入端a1，另一端連接于所述直驅電機(150)；另一第二傳動件(160)一端連接于所述第二轉動筒(132)的輸入端a2，另一端連接于所述直驅電機(150)。
7.根據權利要求4所述的晶圓搬運裝置，其特征在于，還包括帶動件(134)，所述帶動件(134)轉動設置于所述...
【專利技術屬性】
技術研發人員：朱玉東，常志勇，孟君燕，溫寧，
申請(專利權)人：中科芯微智能裝備沈陽有限公司，
類型：發明
國別省市：
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