【技術實現(xiàn)步驟摘要】
本申請涉及膜片閥，尤其是涉及一種高溫氣體的膜片閥。
技術介紹
1、膜片閥作為一種重要的流體控制設備，它通過膜片的變形來控制閥門的開啟和關閉；其膜片不僅將介質(zhì)與大氣隔開，還通過自身的變形來調(diào)節(jié)閥門的開度。膜片閥具有密封性好、可靠性高、死區(qū)小、適用范圍廣等特點。因此得到了廣泛運用。例如，在高純氣體系統(tǒng)中，膜片閥能夠有效地隔離介質(zhì)與大氣，防止污染，同時其結構設計和材料選擇也確保了其在高壓、真空、高低溫環(huán)境下的穩(wěn)定性和耐用性。膜片閥的應用不僅限于發(fā)動機系統(tǒng)，還廣泛應用于其他需要精確控制和隔離的工業(yè)和科學領域，例如在半導體和光伏產(chǎn)業(yè)中，膜片閥用于高溫氣體的關斷功能等。
2、隨著半導體和光伏材料制造技術的發(fā)展，對膜片閥的工作環(huán)境要求也越來越高，特別是在高溫條件下，膜片閥的應用需確保在長時間穩(wěn)定工作的同時，能夠有效避免高溫對閥門零部件的損害。
3、參照圖1所示，相關技術中的膜片閥包括閥體10、位于閥體10內(nèi)的活塞組件20和膜片30；閥體10上開設有相連通的流體進入通道11和流體排出通道12，閥體10內(nèi)位于流體進入通道11和流體排出通道12之間設置有用于安裝膜片30的形變空腔13，通過活塞組件20推動膜片30變形來封堵流體進入通道11與流體排出通道12的連通；為了保證密封性，活塞組件20與閥體10內(nèi)壁之間設置有若干密封圈40。
4、在高溫工況下，由于高溫氣體的流通路徑距離膜片閥的活塞組件及密封圈距離較近，高溫熱傳導后容易對這些零部件造成損壞，從而影響閥門的功能和使用壽命。
技術實現(xiàn)
1、為了提高膜片閥在高溫工況下的使用壽命，本申請?zhí)峁┮环N高溫氣體的膜片閥。
2、本申請?zhí)峁┑囊环N高溫氣體的膜片閥采用如下的技術方案：
3、一種高溫氣體的膜片閥，包括閥體，所述閥體包括驅(qū)動部和流體流通部；所述驅(qū)動部和流體流通部相固連；
4、所述閥體的驅(qū)動部內(nèi)設置有安裝腔，所述安裝腔內(nèi)設置有活塞組件，所述活塞組件與所述安裝腔的內(nèi)壁之間設置有若干組密封圈；
5、所述閥體的流體流通部一側(cè)開設有進氣通道，所述閥體的流體流通部另一側(cè)開設有出氣通道；所述進氣通道和出氣通道相連通；
6、所述進氣通道與出氣通道之間設置有膜片；所述活塞組件能夠推動所述膜片產(chǎn)生形變用于封堵所述進氣通道與出氣通道之間的連通；
7、所述驅(qū)動部和流體流通部之間設置有用于阻隔所述流體流通部內(nèi)的熱量向所述驅(qū)動部內(nèi)傳導的阻熱結構。
8、通過采用上述技術方案，該高溫氣體的膜片閥能夠在高溫工況下有效阻隔熱傳導，從而保護驅(qū)動部及內(nèi)部的活塞組件和密封圈免受高溫損害。具體來說，通過在驅(qū)動部和流體流通部之間設置阻熱結構，可以顯著降低流體流通部內(nèi)流通的高溫氣體的熱量向驅(qū)動部傳導的影響。活塞組件與安裝腔內(nèi)壁之間的多組密封圈增強了整體的密封性能，使得膜片能夠在高溫環(huán)境下可靠地封堵進氣通道與出氣通道之間的連通，確保了膜片閥在高溫條件下的長期穩(wěn)定運行和更長的使用壽命。
9、可選的，所述活塞組件包括滑動設置在所述驅(qū)動部內(nèi)的第一活塞和第二活塞，所述閥體的驅(qū)動部一端可拆卸的連接有端蓋，所述第一活塞朝向所述端蓋的一側(cè)與所述端蓋之間設置有彈性件；所述第一活塞的另一側(cè)與所述第二活塞的一端相抵靠，所述第二活塞的另一端朝向所述閥體的流體流通部方向延伸并用于推動所述膜片產(chǎn)生形變。
10、通過采用上述技術方案，彈性件能夠推動第一活塞朝向膜片方向移動，第一活塞推動第二活塞朝向膜片方向移動，第二活塞推動膜片產(chǎn)生形變，進而可靠地控制膜片的變形，實現(xiàn)閥門的有效啟閉。
11、可選的，所述阻熱結構包括設置在所述第二活塞朝向所述流體流通部一端的延長桿，所述延長桿的一端與所述第二活塞相固連且兩者分體制造；所述閥體的流體流通部設置有連通腔，所述進氣通道和出氣通道分別與所述連通腔相連通，所述膜片安裝在所述連通腔內(nèi)且所述膜片能夠貼靠在所述進氣通道與連通腔相連處并封堵所述進氣通道的端口，所述膜片背離所述進氣通道的一側(cè)設置有第三活塞，所述延長桿的另一端與所述第三活塞相連接或相抵靠。
12、通過采用上述技術方案，延長桿增加了高溫氣體流通路徑與閥體的驅(qū)動部之間的距離，并且延長桿與第二活塞分體制造，這樣有效阻止流體流通部內(nèi)流通的高溫氣體的熱量傳遞至驅(qū)動部，保護驅(qū)動部及內(nèi)部的活塞組件和密封圈免受高溫損害，提升閥門的整體使用壽命。
13、可選的，所述進氣通道與所述連通腔相連通的端口位于所述連通腔底部中間位置，所述出氣通道與所述連通腔相連通的端口位于所述連通腔底部一側(cè)位置；所述連通腔底部中間位于所述進氣通道的端口外圍設置有環(huán)形卡槽，所述環(huán)形卡槽內(nèi)嵌設有環(huán)形密封墊，所述膜片的側(cè)面能夠與所述環(huán)形密封墊的側(cè)面相抵靠密封。
14、通過采用上述技術方案，使得膜片的側(cè)面能夠與環(huán)形密封墊的側(cè)面相抵靠密封，從而提高了膜片與連通腔之間的密封性能，增強了閥門在高溫氣體環(huán)境下的密封效果，降低了高溫氣體泄露的風險。
15、可選的，所述驅(qū)動部朝向所述流體流通部的一端螺接有延長螺帽，所述流體流通部朝向所述驅(qū)動部的一端與所述延長螺帽的端部之間通過鎖緊螺母相固連；所述延長桿穿設于所述延長螺帽和鎖緊螺母內(nèi)。
16、通過采用上述技術方案，驅(qū)動部與流體流通部之間通過延長螺帽和鎖緊螺母固連，延長桿穿設于延長螺帽和鎖緊螺母內(nèi)，有效阻隔熱傳導，防止高溫氣體導致驅(qū)動部受損，提高膜片閥在高溫工況下的使用壽命。
17、可選的，所述流體流通部與所述鎖緊螺母之間固設有環(huán)形的活塞墊圈；所述膜片的四周被夾持在所述活塞墊圈與所述連通腔的側(cè)壁之間，所述第三活塞滑動設置在所述活塞墊圈中部。
18、通過采用上述技術方案，活塞墊圈能夠增強膜片四周的夾持密封效果，有效防止高溫氣體泄漏。同時，第三活塞在活塞墊圈中部的滑動設置，使得膜片在受力時更加均勻，進一步提升了膜片閥在高溫工況下的密封性和穩(wěn)定性。
19、可選的，作為另一種方案，所述阻熱結構包括所述第二活塞上的延長部，所述延長部伸向所述膜片方向；所述驅(qū)動部朝向所述流體流通部的一端具有連接筒，所述連接筒上螺接有鎖緊螺母且所述流體流通部與所述驅(qū)動部通過所述鎖緊螺母相固連，所述延長部外周面與所述連接筒的內(nèi)壁之間間隔設置有兩組所述密封圈；所述鎖緊螺母以及連接筒上開設有冷卻液通道。
20、通過采用上述技術方案，延長部的設計使得高溫氣體的熱量難以傳遞至驅(qū)動部，更重要的是，鎖緊螺母和連接筒上的冷卻液通道通過注入冷卻液，能夠?qū)崿F(xiàn)對零部件的有效降溫，阻隔熱量的傳導，從而保護驅(qū)動部內(nèi)的易損件免受高溫損害，提升整個膜片閥在高溫工況下的使用壽命和穩(wěn)定性。
21、可選的，所述冷卻液通道沿所述鎖緊螺母的軸向分布有若干組，所述冷卻液通道由所述鎖緊螺母的外周面延伸至所述連接筒的內(nèi)部，所述冷卻液通道在所述連接筒內(nèi)壁上的端口位于所述連接筒內(nèi)兩組密封圈之間。
22、通過采用上述技術方案，使冷卻液能夠在鎖緊螺母和連接筒的若干組冷卻液通道流動，實現(xiàn)本文檔來自技高網(wǎng)...
【技術保護點】
1.一種高溫氣體的膜片閥，包括閥體(10)，所述閥體(10)包括驅(qū)動部(14)和流體流通部(15)；所述驅(qū)動部(14)和流體流通部(15)相固連；
2.根據(jù)權利要求1所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述活塞組件(20)包括滑動設置在所述驅(qū)動部(14)內(nèi)的第一活塞(21)和第二活塞(22)，所述閥體(10)的驅(qū)動部(14)一端可拆卸的連接有端蓋(16)，所述第一活塞(21)朝向所述端蓋(16)的一側(cè)與所述端蓋(16)之間設置有彈性件(60)；所述第一活塞(21)的另一側(cè)與所述第二活塞(22)的一端相抵靠，所述第二活塞(22)的另一端朝向所述閥體(10)的流體流通部(15)方向延伸并用于推動所述膜片(30)產(chǎn)生形變。
3.根據(jù)權利要求2所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述阻熱結構(70)包括設置在所述第二活塞(22)朝向所述流體流通部(15)一端的延長桿(71)，所述延長桿(71)的一端與所述第二活塞(22)相固連且兩者分體制造；所述閥體(10)的流體流通部(15)設置有連通腔(153)，所述進氣通道(151)和出氣通道(152)分別與所述連通腔(15
4.根據(jù)權利要求3所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述進氣通道(151)與所述連通腔(153)相連通的端口位于所述連通腔(153)底部中間位置，所述出氣通道(152)與所述連通腔(153)相連通的端口位于所述連通腔(153)底部一側(cè)位置；所述連通腔(153)底部中間位于所述進氣通道(151)的端口外圍設置有環(huán)形卡槽(154)，所述環(huán)形卡槽(154)內(nèi)嵌設有環(huán)形密封墊(80)，所述膜片(30)的側(cè)面能夠與所述環(huán)形密封墊(80)的側(cè)面相抵靠密封。
5.根據(jù)權利要求3所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述驅(qū)動部(14)朝向所述流體流通部(15)的一端螺接有延長螺帽(72)，所述流體流通部(15)朝向所述驅(qū)動部(14)的一端與所述延長螺帽(72)的端部之間通過鎖緊螺母(73)相固連；所述延長桿(71)穿設于所述延長螺帽(72)和鎖緊螺母(73)內(nèi)。
6.根據(jù)權利要求5所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述流體流通部(15)與所述鎖緊螺母(73)之間固設有環(huán)形的活塞墊圈(90)；所述膜片(30)的四周被夾持在所述活塞墊圈(90)與所述連通腔(153)的側(cè)壁之間，所述第三活塞(50)滑動設置在所述活塞墊圈(90)中部。
7.根據(jù)權利要求2所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述阻熱結構(70)包括所述第二活塞(22)上的延長部(74)，所述延長部(74)伸向所述膜片(30)方向；所述驅(qū)動部(14)朝向所述流體流通部(15)的一端具有連接筒(142)，所述連接筒(142)上螺接有鎖緊螺母(73)且所述流體流通部(15)與所述驅(qū)動部(14)通過所述鎖緊螺母(73)相固連，所述延長部(74)外周面與所述連接筒(142)的內(nèi)壁之間間隔設置有兩組所述密封圈(40)；所述鎖緊螺母(73)以及連接筒(142)上開設有冷卻液通道(75)。
8.根據(jù)權利要求7所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述冷卻液通道(75)沿所述鎖緊螺母(73)的軸向分布有若干組，所述冷卻液通道(75)由所述鎖緊螺母(73)的外周面延伸至所述連接筒(142)的內(nèi)部，所述冷卻液通道(75)在所述連接筒(142)內(nèi)壁上的端口位于所述連接筒(142)內(nèi)兩組密封圈(40)之間。
9.根據(jù)權利要求2或3或7所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述端蓋(16)側(cè)面上具有朝向所述安裝腔(141)內(nèi)部的安裝筒(161)，所述第一活塞(21)包括第一活塞桿(211)和固設在第一活塞桿(211)端部的第一活塞盤(212)，所述第一活塞桿(211)滑動插設在所述安裝筒(161)內(nèi)；所述第一活塞桿(211)的外周面與所述安裝筒(161)的內(nèi)壁之間設置有一組所述密封圈(40)，所述第一活塞盤(212)的外周面與所述安裝腔(141)腔壁之間設置有一組所述密封圈(40)，所述第一活塞桿(211)外還套設有墊套(100)。
10.根據(jù)權利要求9所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述第二活塞(22)包括第二活塞桿(221)和固設在第二活塞桿(221)中部的第二活塞盤(222)，所述第二活塞桿(221)的一端與所述第一活塞(21)相抵靠，所述第...
【技術特征摘要】
1.一種高溫氣體的膜片閥，包括閥體(10)，所述閥體(10)包括驅(qū)動部(14)和流體流通部(15)；所述驅(qū)動部(14)和流體流通部(15)相固連；
2.根據(jù)權利要求1所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述活塞組件(20)包括滑動設置在所述驅(qū)動部(14)內(nèi)的第一活塞(21)和第二活塞(22)，所述閥體(10)的驅(qū)動部(14)一端可拆卸的連接有端蓋(16)，所述第一活塞(21)朝向所述端蓋(16)的一側(cè)與所述端蓋(16)之間設置有彈性件(60)；所述第一活塞(21)的另一側(cè)與所述第二活塞(22)的一端相抵靠，所述第二活塞(22)的另一端朝向所述閥體(10)的流體流通部(15)方向延伸并用于推動所述膜片(30)產(chǎn)生形變。
3.根據(jù)權利要求2所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述阻熱結構(70)包括設置在所述第二活塞(22)朝向所述流體流通部(15)一端的延長桿(71)，所述延長桿(71)的一端與所述第二活塞(22)相固連且兩者分體制造；所述閥體(10)的流體流通部(15)設置有連通腔(153)，所述進氣通道(151)和出氣通道(152)分別與所述連通腔(153)相連通，所述膜片(30)安裝在所述連通腔(153)內(nèi)且所述膜片(30)能夠貼靠在所述進氣通道(151)與連通腔(153)相連處并封堵所述進氣通道(151)的端口，所述膜片(30)背離所述進氣通道(151)的一側(cè)設置有第三活塞(50)，所述延長桿(71)的另一端與所述第三活塞(50)相連接或相抵靠。
4.根據(jù)權利要求3所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述進氣通道(151)與所述連通腔(153)相連通的端口位于所述連通腔(153)底部中間位置，所述出氣通道(152)與所述連通腔(153)相連通的端口位于所述連通腔(153)底部一側(cè)位置；所述連通腔(153)底部中間位于所述進氣通道(151)的端口外圍設置有環(huán)形卡槽(154)，所述環(huán)形卡槽(154)內(nèi)嵌設有環(huán)形密封墊(80)，所述膜片(30)的側(cè)面能夠與所述環(huán)形密封墊(80)的側(cè)面相抵靠密封。
5.根據(jù)權利要求3所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述驅(qū)動部(14)朝向所述流體流通部(15)的一端螺接有延長螺帽(72)，所述流體流通部(15)朝向所述驅(qū)動部(14)的一端與所述延長螺帽(72)的端部之間通過鎖緊螺母(73)相固連；所述延長桿(71)穿設于所述延長螺帽(72)和鎖緊螺母(73)內(nèi)。
6.根據(jù)權利要求5所述的高溫氣體的膜片閥，其特征在于，所述流體流通部(15)與所述...
【專利技術屬性】
技術研發(fā)人員：劉家樂，楊文，
申請(專利權)人：上海皓固機械工業(yè)有限公司，
類型：發(fā)明
國別省市：
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