【技術實現步驟摘要】
本技術涉及晶圓存放，具體涉及一種片盒架。
技術介紹
1、晶圓在每次的工藝處理過程中都會受到污染，所以要進行清洗和干燥。而片盒作為晶圓的載具，也需要定期進行清洗和干燥。
2、為解決上述問題，申請號為202210318213.3的中國專利公開了一種便捷式片盒清洗機片盒專用架，上述公開的片盒專用架，包括固定架主體框架，所述固定架主體框架的內側設置有片盒主體放置區，所述片盒主體放置區的頂部兩側皆設置有片盒主體放置軌道，所述片盒主體放置區的下方設置有片盒盒蓋放置區，所述片盒盒蓋放置區的頂部兩側皆設置有片盒盒蓋傾斜軌道，所述片盒盒蓋放置區的一側設置有片盒盒蓋阻擋結構。申請號為201220255337.3的中國專利公開了一種晶片盒存放架，上述公開的晶片盒存放架，包括支架和位于支架下方的地腳，所述支架上方設有高效過濾器，所述支架的三面圍有防靜電軟簾，所述支架中間設有多組晶片盒固定槽，所述晶片盒固定槽內設有尼龍導條。
3、晶圓尺寸從最初的1.5英寸發展到現在的12英寸，很多晶圓廠同時生產多種尺寸的晶圓，不同尺寸的晶圓需要不同尺寸的片盒，而片盒的形狀也是多種多樣，而上述方案中的片盒架只能放置單一尺寸形狀的片盒，這意味著，采用具有上述片盒架機構的清洗機只能對單一規格的片盒進行清洗，如晶圓廠需要清洗不同規格的片盒時，就要購買不同型號的設備，進而就增加了生產成本。
技術實現思路
1、本技術是為了克服上述現有技術中的缺陷，提供一種片盒架，該片盒架幾乎可以兼容市場上所有不同尺寸不同形狀的
2、為了實現上述技術目的，本技術采用以下技術方案：一種片盒架，包括：旋轉架，旋轉架中空設置；掛架，掛架沿旋轉架周向分布有若干個；所述掛架包括轉軸和掛件，掛架通過轉軸與旋轉架轉動連接，掛件為板狀結構，掛件用于掛接內置片盒的模具。
3、本技術設計的片盒架利用板狀掛件與內置片盒的模具的掛接配合，當需要放置片盒時，將板狀掛件向旋轉架外部轉動，使板狀掛件位于旋轉架外側，然后將內置有片盒的模具掛接在板狀掛件上，再將掛件向旋轉架內部轉動，使模具位于旋轉架內，從而可利用旋轉架內部區域作為片盒儲存區域，無需再在片盒架上設計片盒固定放置區域，這意味著，片盒架結構可不受片盒尺寸形狀限制，幾乎可以兼容市場上所有不同尺寸不同形狀的片盒，當晶圓廠需要清洗不同類型的片盒時，只需設計與片盒對應的模具結構即可，無需采購新的設備，從而大大減少了晶圓廠的成本。
4、作為本技術的一種優選方案，各掛架中均設有兩組掛件，兩組掛件分別設置于轉軸的相對兩側。
5、作為本技術的一種優選方案，所述掛件包括若干沿片盒架高度方向布置的掛桿，所述模具形成有掛接部，掛接部掛接于掛桿上。
6、作為本技術的一種優選方案，所述掛架還包括上板和下板，上板和下板分別連接于所述掛件的相對兩端。
7、作為本技術的一種優選方案，所述旋轉架包括上轉盤、下轉盤和若干支撐柱，上轉盤和下轉盤連接于若干支撐柱相對兩端，若干支撐柱沿上轉盤和下轉盤的周向方向設置。
8、作為本技術的一種優選方案，所述轉軸的兩端分別與上轉盤和下轉盤轉動連接，且每個掛架均設置于相鄰的支撐柱之間。
9、作為本技術的一種優選方案，所述片盒架還包括用于限定所述掛架與旋轉架相對位置的定位件。在內置片盒的模具掛接于掛件上后，可利用定位件使掛架與旋轉架的相對位置固定，從而確保旋轉架在清洗機內高速旋轉清洗晶圓時，掛架能夠保持穩定。
10、作為本技術的一種優選方案，定位件包括下定位件，下定位件包括定位塊與旋鈕柱塞，下定位件中的定位塊設置于下轉盤上靠近掛架的一側，下定位件中的旋鈕柱塞適于穿過下板與定位塊配合。在需要掛接模具時，拉出旋鈕柱塞的旋鈕，使旋鈕柱塞前端從定位塊中縮回，此時掛架與旋轉架處于解鎖狀態，旋轉掛件至旋轉架外側，在掛件上掛接模具后再將掛件向旋轉架內部轉動，使模具位于旋轉架內，然后按壓旋鈕柱塞的旋鈕，使旋鈕柱塞前端凸出伸入定位塊中，此時掛架與旋轉架相對位置固定，掛架與旋轉架處于鎖定狀態，從而確保后續旋轉架在清洗機內高速旋轉清洗晶圓時，掛架能夠保持穩定。
11、作為本技術的一種優選方案，定位件還包括上定位件，上定位件包括定位塊與旋鈕柱塞，上定位件中的定位塊設置于上轉盤上靠近掛架的一側，上定位件中的旋鈕柱塞適于穿過上板與定位塊配合。
12、作為本技術的一種優選方案，同一掛架上的下定位件與上定位件錯位布置。通過錯位布置的下定位件和上定位件，可進一步提高掛架與旋轉架處于鎖定狀態時的旋轉穩定性。
13、作為本技術的一種優選方案，所述掛接部設置為掛接槽，掛接槽沿模具高度方向設置多個。通過設置多個沿模具高度方向的掛接槽有利于提升模具掛接的穩定性。
14、與現有技術相比，本技術的有益效果是：
15、1、通過設置在旋轉架上的若干掛架，每個掛架上的掛件在轉軸的作用下與旋轉架轉動連接，同時掛件為板狀結構，從而無需再在片盒架上設計片盒固定放置區，可直接在掛件上掛接模具并利用旋轉架中空的內部空間作為放置區，進而使得片盒架結構可不受片盒尺寸形狀限制，滿足了對不同尺寸規格的片盒的存放；
16、2、進一步的，通過在模具的掛接部上設置于掛桿相匹配的掛接槽，從而方便了模具的取放，進而便于片盒的存放，另外通過設置在上轉盤的上定位塊和下轉盤的下定位塊分別與相對應的上板的上旋鈕柱塞和下板的下旋鈕柱塞的配合，同時同一掛架上的上定位件與下定位件錯位設置，從而將掛架固定在旋轉架上，確保旋轉架在高速旋轉時，掛架能夠保持穩定。
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1.一種片盒架，其特征在于：包括：旋轉架(1)，旋轉架(1)中空設置；掛架(2)，掛架(2)沿旋轉架(1)周向分布有若干個；所述掛架(2)包括轉軸(202)和掛件(201)，掛架(2)通過轉軸(202)與旋轉架(1)轉動連接，掛件(201)為板狀結構，掛件(201)用于掛接內置片盒(3)的模具(4)。
2.根據權利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，各所述掛架(2)中均設有兩組掛件(201)，兩組掛件(201)分別設置于轉軸(202)的相對兩側。
3.根據權利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛件(201)包括若干沿片盒架高度方向布置的掛桿(2011)，所述模具(4)形成有掛接部(401)，掛接部(401)掛接于掛桿(2011)上。
4.根據權利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛架(2)還包括上板(203)和下板(204)，上板(203)和下板(204)分別連接于所述掛件(201)的相對兩端。
5.根據權利要求4所述的一種片盒架，其特征在于，所述旋轉架(1)包括上轉盤(101)、下轉盤(103)和若干支撐柱(102)，
6.根據權利要求5所述的一種片盒架，其特征在于，所述片盒架還包括用于限定所述掛架(2)與旋轉架(1)相對位置的定位件(5)。
7.根據權利要求6所述的一種片盒架，其特征在于，所述定位件(5)包括下定位件(501)，下定位件(501)包括下定位塊(5011)與下旋鈕柱塞(5012)，下定位件(501)中的下定位塊(5011)設置于下轉盤(103)上靠近掛架(2)的一側，下定位件(501)中的下旋鈕柱塞(5012)適于穿過下板(204)與下定位塊(5011)配合。
8.根據權利要求7所述的一種片盒架，其特征在于，所述定位件(5)還包括上定位件(502)，上定位件(502)包括上定位塊(5021)與上旋鈕柱塞(5022)，上定位件(502)中的上定位塊(5021)設置于上轉盤(101)上靠近掛架(2)的一側，上定位件(502)中的上旋鈕柱塞(5022)適于穿過上板(203)與上定位塊(5021)配合。
9.根據權利要求8所述的一種片盒架，其特征在于，同一所述掛架(2)上的下定位件(501)與上定位件(502)錯位布置。
10.根據權利要求3所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛接部(401)設置為掛接槽(4011)，掛接槽(4011)沿模具(4)高度方向設置多個。
...【技術特征摘要】
1.一種片盒架，其特征在于：包括：旋轉架(1)，旋轉架(1)中空設置；掛架(2)，掛架(2)沿旋轉架(1)周向分布有若干個；所述掛架(2)包括轉軸(202)和掛件(201)，掛架(2)通過轉軸(202)與旋轉架(1)轉動連接，掛件(201)為板狀結構，掛件(201)用于掛接內置片盒(3)的模具(4)。
2.根據權利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，各所述掛架(2)中均設有兩組掛件(201)，兩組掛件(201)分別設置于轉軸(202)的相對兩側。
3.根據權利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛件(201)包括若干沿片盒架高度方向布置的掛桿(2011)，所述模具(4)形成有掛接部(401)，掛接部(401)掛接于掛桿(2011)上。
4.根據權利要求1所述的一種片盒架，其特征在于，所述掛架(2)還包括上板(203)和下板(204)，上板(203)和下板(204)分別連接于所述掛件(201)的相對兩端。
5.根據權利要求4所述的一種片盒架，其特征在于，所述旋轉架(1)包括上轉盤(101)、下轉盤(103)和若干支撐柱(102)，上轉盤(101)和下轉盤(103)連接于若干支撐柱(102)相對兩端，若干支撐柱(102)沿上轉盤(101)和下轉盤(103)的周向方向設置。...
【專利技術屬性】
技術研發人員：李鵬，王鍇，請求不公布姓名，
申請(專利權)人：無錫琨圣芯成科技有限公司，
類型：新型
國別省市：
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